JPH0194256A - 湿度センサー - Google Patents
湿度センサーInfo
- Publication number
- JPH0194256A JPH0194256A JP25224887A JP25224887A JPH0194256A JP H0194256 A JPH0194256 A JP H0194256A JP 25224887 A JP25224887 A JP 25224887A JP 25224887 A JP25224887 A JP 25224887A JP H0194256 A JPH0194256 A JP H0194256A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- temp
- sensing element
- correcting
- sensitive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は各種の機器における湿度検知システム等に用
いる湿度センサーに関するものである。
いる湿度センサーに関するものである。
〈従来の技術〉
セラミック半導体を用いた湿度センサーは種々のものが
公知である。
公知である。
この公知の湿度センサーは湿度の変化により抵抗値が変
化するｉ湿索子を用いるものであるから抵抗値の変化を
測定する回路により湿度を知ることができる。
化するｉ湿索子を用いるものであるから抵抗値の変化を
測定する回路により湿度を知ることができる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
上記のような従来の湿度センサーに用いる感湿素子は温
度を感知すると同時に温度についての感度も併せもって
いるため、湿度と共に温度が変化する環境では温度の影
響を受けるために正確な湿度の検出ができないという問
題があった。
度を感知すると同時に温度についての感度も併せもって
いるため、湿度と共に温度が変化する環境では温度の影
響を受けるために正確な湿度の検出ができないという問
題があった。
このような問題を解決するためには、温度補正の必要が
あり、＠湿素子と温度係数が等しく、しかも湿度の影響
を受けないという特性の素子が必要であるが、そのよう
な素子を見つけ出すことは容易でなく、折角優れた感湿
素子を見つけたとしても、実用化に結びつけることが困
難であった。
あり、＠湿素子と温度係数が等しく、しかも湿度の影響
を受けないという特性の素子が必要であるが、そのよう
な素子を見つけ出すことは容易でなく、折角優れた感湿
素子を見つけたとしても、実用化に結びつけることが困
難であった。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、感湿素子と、該感湿素子と同じ材質の抵抗体
をガラス等の耐湿封入部材で封入した上で、該盛況素子
と熱容量を等しくしたものを温度補正素子とし、該感湿
素子と該温度補正素子とを直列に接続して、周囲温度の
変化による感湿素子の湿度誤差を該温度補正素子により
補正するようにしたものである。
たもので、感湿素子と、該感湿素子と同じ材質の抵抗体
をガラス等の耐湿封入部材で封入した上で、該盛況素子
と熱容量を等しくしたものを温度補正素子とし、該感湿
素子と該温度補正素子とを直列に接続して、周囲温度の
変化による感湿素子の湿度誤差を該温度補正素子により
補正するようにしたものである。
〈実施例〉
この本発明の実施例を添付図面の第１図ないし第３図に
もとづいて説明する。
もとづいて説明する。
第１図において、１は感湿素子、２は該感湿素子と同じ
材料からなる温度補正素子であり、何れも抵抗体である
が、その材料としては、例えば（Ｂａ Ｃｅ ）ｏ、ｙ
ｆ’Ｊｄ ｏ、＋ ０３を用いる。
材料からなる温度補正素子であり、何れも抵抗体である
が、その材料としては、例えば（Ｂａ Ｃｅ ）ｏ、ｙ
ｆ’Ｊｄ ｏ、＋ ０３を用いる。
このような素子は通常の窯業的な手法を用いて成形体と
し、１４５０℃で２時間焼成して、１ｏｍｍｘ１０ｍｔ
ｎ Ｘ １ ｒＲｔｎの焼成体を作り、この焼成体に電
極形成材料としてゐ○ｔペーストを塗布して８５０℃で
焼き付けた後、カットする。
し、１４５０℃で２時間焼成して、１ｏｍｍｘ１０ｍｔ
ｎ Ｘ １ ｒＲｔｎの焼成体を作り、この焼成体に電
極形成材料としてゐ○ｔペーストを塗布して８５０℃で
焼き付けた後、カットする。
実施例における該感湿素子１の寸法は、１．４１１＋１
１Ｘ １．４１ ｒＲｙ＋Ｘ １ ｒａｍである。
１Ｘ １．４１ ｒＲｙ＋Ｘ １ ｒａｍである。
又、同じ材料を０．１２５ｍｍ厚にスライスして、温度
補正素子２とする。その寸法は０．５ｒｔｒｔｎ Ｘ
０．５ｍｔｎｘ ０．１２５１１１＃Ｉのチップ状のも
のである。
補正素子２とする。その寸法は０．５ｒｔｒｔｎ Ｘ
０．５ｍｔｎｘ ０．１２５１１１＃Ｉのチップ状のも
のである。
該温度補正素子２は、第２図のようにガラスチューブ３
に封入して、該温度補正素子２の両端の電極には、該チ
ューブ３の両端から挿入したリード電極４．５を電気的
に接続する。
に封入して、該温度補正素子２の両端の電極には、該チ
ューブ３の両端から挿入したリード電極４．５を電気的
に接続する。
そして、このガラスチューブ３の両端を加熱溶融等の手
段により密封する。
段により密封する。
但し、ガラス以外の合成樹脂等の材料で密封してもよい
。感湿素子１の一方の電極に接続したリード電極６を該
リード電極５に接続する。
。感湿素子１の一方の電極に接続したリード電極６を該
リード電極５に接続する。
７は感湿素子１の他方の電極に接続したリード電極であ
る。
る。
第３図の回路図において、前記感湿素子１と温度補正素
子２とを直列に接続し、この画素子１．２に電源８から
一定の電圧を印加する。そして該温度補正素子２の両端
を電圧計９に接続することによって湿度を電圧の変化と
して検出する。
子２とを直列に接続し、この画素子１．２に電源８から
一定の電圧を印加する。そして該温度補正素子２の両端
を電圧計９に接続することによって湿度を電圧の変化と
して検出する。
〈効果〉
この発明は上記のように感湿素子と、該感湿素子と同じ
材質の抵抗体をガラス封入した上で、該感湿素子と熱容
量を等しくしたものを温度補正素子 ３ − 子とし、該感湿素子と、該温度補正素子とを直列に接続
して、周囲温度の変化による感湿素子の湿度誤差を該温
度補正素子により補償するようにしたものであり、感湿
素子と温度補正素子とは同じ材質の抵抗体を用いるもの
であるから、明らかに８定数は等しい。しかも温度補正
素子はガラス封入等の手段により、外部から遮断して大
気中の水蒸気の影響を全く受けないようにしたから、湿
度に対する感度がない。
材質の抵抗体をガラス封入した上で、該感湿素子と熱容
量を等しくしたものを温度補正素子 ３ − 子とし、該感湿素子と、該温度補正素子とを直列に接続
して、周囲温度の変化による感湿素子の湿度誤差を該温
度補正素子により補償するようにしたものであり、感湿
素子と温度補正素子とは同じ材質の抵抗体を用いるもの
であるから、明らかに８定数は等しい。しかも温度補正
素子はガラス封入等の手段により、外部から遮断して大
気中の水蒸気の影響を全く受けないようにしたから、湿
度に対する感度がない。
従って、感湿素子が受ける温度の影響は、温度補正素子
が完全に除去するので、周囲温度が変化してもその影響
を受けることなく、極めて高い精度の湿度測定が可能で
あり、ブリッジ回路を組む必要がなく、実施例に示すよ
うな簡単な直列回路によって湿度検出が可能である等の
効果がある。
が完全に除去するので、周囲温度が変化してもその影響
を受けることなく、極めて高い精度の湿度測定が可能で
あり、ブリッジ回路を組む必要がなく、実施例に示すよ
うな簡単な直列回路によって湿度検出が可能である等の
効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す要部の斜視図、第２
図は同上に用いる温度補正素子の拡大縦断側面図、第３
図は回路の一例を示す回路図である。 １・・・感湿素子 ２・・・温度補正素子３・
・・封入部材
図は同上に用いる温度補正素子の拡大縦断側面図、第３
図は回路の一例を示す回路図である。 １・・・感湿素子 ２・・・温度補正素子３・
・・封入部材
Claims (1)
- 感湿素子と、該感湿素子と同じ材質の抵抗体をガラス等
の耐湿封入部材で封入した上で、該感湿素子と熱容量を
等しくしたものを温度補正素子とし、該感湿素子と、該
温度補正素子とを直列に接続して、周囲温度の変化によ
る感湿素子の温度誤差を該温度補正素子により補正する
ようにしたことを特徴とする湿度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25224887A JPH0194256A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | 湿度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25224887A JPH0194256A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | 湿度センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194256A true JPH0194256A (ja) | 1989-04-12 |
Family
ID=17234577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25224887A Pending JPH0194256A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | 湿度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0194256A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848841A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Marcon Electronics Co Ltd | セラミツク感湿素子の温度補償回路 |
| JPS62223054A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 感湿素子並びにその製造方法 |
-
1987
- 1987-10-06 JP JP25224887A patent/JPH0194256A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848841A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Marcon Electronics Co Ltd | セラミツク感湿素子の温度補償回路 |
| JPS62223054A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 感湿素子並びにその製造方法 |
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