JPH0194609A - 半導体磁器物質 - Google Patents

半導体磁器物質

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Publication number
JPH0194609A
JPH0194609A JP25216487A JP25216487A JPH0194609A JP H0194609 A JPH0194609 A JP H0194609A JP 25216487 A JP25216487 A JP 25216487A JP 25216487 A JP25216487 A JP 25216487A JP H0194609 A JPH0194609 A JP H0194609A
Authority
JP
Japan
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semiconductor porcelain
grain boundary
based metallic
sintered body
sodium based
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Pending
Application number
JP25216487A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Kanda
修 神田
Tsutomu Sakashita
坂下 勉
Kouji Shibata
柴田 行治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Industries Ltd filed Critical Sumitomo Metal Industries Ltd
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Publication of JPH0194609A publication Critical patent/JPH0194609A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1272Semiconductive ceramic capacitors
    • H01G4/1281Semiconductive ceramic capacitors with grain boundary layer

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はチタン酸ストロンチウム等を主成分とした粒界
誘電体層型の半導体磁器コンデンサとして用いられる半
導体磁器物質に関する。
〔従来技術〕
一般に例えばチタン酸ストロンチウム(SrTiOs)
等を主体とする半導体磁器の結晶粒界に高絶縁層を形成
して構成される半導体磁器物質は誘電率が高く、また電
気的安定性に優れていることから、近時コンデンサとし
て広く利用されている。
ところで従来におけるこの種の半導体磁器物質は主成分
であるチタン酸ストロンチウムに、結晶粒の半導体化の
ための原子価制御剤として酸化ニオブ(Nb2O3) 
、酸化インドリウム(yzo*)等を、また焼結助剤と
して酸化ケイ素(SiOz)、酸化マンガン(MnOz
)等を夫々添加し、中性又は還元雰囲気中で焼結し、得
られた半導体磁器の結晶粒界に、拡散物質として酸化ビ
スマス(Bi2O3) 、酸化銅(CuO) 、酸化マ
ンガン(MnO2)等の混合物を熱拡散させることによ
り得ている(特公昭58−23922号)。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで拡散物質として用いる混合物はその成分がコン
デンサの電気的特性に大きな影響を及ぼすことは知られ
ているが、従来用いられている混合物である酸化ビスマ
ス(BiiOz)はコンデンサとしての誘電率(εap
p)、誘電正接(tanδ)について優れた特性が得ら
れる反面、絶縁抵抗率(ρapp)が低く、また酸化銅
(CuO)、或いは酸化マンガン(MnO,)は逆に絶
縁抵抗率(ρapp)について優れた特性が得られる反
面、誘電率(εapp)が低く、更にこれら各金属酸化
物の混合物を用いた場合にも平均的レベルの電気的特性
は得られるものの誘電率、誘電正接、絶縁抵抗率のいず
れにも十分な値が得られないという問題があった。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは誘電率、絶縁抵抗率を共に向上し得
て半導体磁器コンデンサに用いて好適な粒界誘電体層型
の半導体磁器物質を提供するにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明に係る半導体磁器物質は半導体磁器の結晶粒界に
酸化ビスマス(Btzoz)が20〜90モル%、及び
ナトリウム系金属化合物8ナトリウム系金属酸化物の1
種又は2種以上が80〜10モル%を含む組成物が拡散
して、前記結晶粒界に誘電体層が形成してなる。
〔作用〕
本発明にあってはこれによって誘電率、絶縁抵抗率のい
ずれも大幅な向上が可能となる。
〔実施例〕
次に本発明物質を用いて半導体磁器コンデンサを構成し
た場合につき、具体的数値を掲げて説明する。
主成分であるチタン酸ストロンチウム(SrTiOs)
及びチタン酸バリウム(BaTiOs)の夫々に、酸化
ニオブ(Nb2O3)を0.1〜2モル%、酸化マンガ
ン(MnO□)を0.1〜2モル%の各範囲で添加した
ものを原料として、直径10鶴、厚さ0.8 mの円板
状の素体を加圧成形し、次にこの円板状の素体を、水素
1〜15%、窒素99〜85%の還元雰囲気中で140
0〜1540℃で4〜10時間焼成して焼結体を得、更
にこの焼結体に拡散物質として後述する混合物を塗布し
、大気中で1000〜1350℃で1〜2時間焼成を行
い、その後焼結体の両面に、例えば銀ペーストを付着さ
せ800℃で焼付けて電極を形成し、半導体磁器コンデ
ンサを得た。
なお円板状の素体の焼結用還元雰囲気としては水素1〜
15%、窒素99〜85%に限らず、結晶粒が十分半導
体化され得る雰囲気であればよい。また電極材料につい
てもAgに限らずAl、その他の材料も用いられる。
拡散物質としては酸化ビスマス(BizO+)を20〜
90モル%、ナトリウム系金属化合物、ナトリウム系金
属酸化物のうちの1種又は2種以上が80〜10モル%
の混合物を用いた。ナトリウム系金属酸化物としては過
酸化ナトリウム(Na 、0□)等が、またナトリウム
系金属化合物としては炭酸ナトリウム(NazCO3)
、水素化ナトリウム(NaH) 、窒化ナトリウム(N
aJ)、硝酸ナトリウム(NaNOs) 、亜硝酸ナト
リウム(NaNO□)等が用いられる。
拡散物質である混合物の組成とこの混合物を用いて構成
した半導体磁器コンデンサの電気的特性との関係は表1
及び2に示すとおりである。
(以下余白) 表1 (以下余白) 表2 なお参照のため拡散物質として酸化マンガン(MnO□
)と酸化銅(Cub)との混合物を用いて作成した半導
体磁器コンデンサについての電気的特性。
の測定結果を表3及び4に示す。
表3 表1〜4中の誘電率(εapp)、誘電正接(tanδ
)は周波数1kHz、電圧IVを印加して測定した値を
、また絶縁抵抗率は25Vの直流電圧印加1分後の値を
測定し、この測定値に基づき算出した値である。
表1〜4から明らかな如く、拡散物質として酸化ビスマ
ス、炭酸ナトリウムの混合物を用いた本 。
発明物質利用のコンデンサにあっては、誘電率(εap
p)、絶縁抵抗率(ρapp)は酸化ビスマスが20〜
90モル%、炭酸ナトリウムが80〜lOモル%の範囲
では表3及び4に示す拡散物質を用いた場合と比較して
格段に優れていることが解る。これに対してNagCO
ffが5モル%以下、或いは90モル%以上の範囲では
誘電率(εapp)の低下が著しく、また絶縁抵抗率(
ρapp)も十分な値が得られていない。
更に酸化ビスマス(Bi2O3)、炭酸ナトリウム(N
a、CO,)各単独のものを拡散物質とした場合は誘電
率、絶縁抵抗率ともに十分な値ではない。
〔効果〕
以上の如(本発明物質にあっては、誘電率、絶縁抵抗率
等の電気的特性に格段の向上が図れ、しかも従来の工程
と同様の工程で作成することが出来るなど本発明は優れ
た効果を奏するものである。
特 許 出願人  住友金属工業株式会社代理人 弁理
士  河  野  登  夫手続補正書(自発) 昭和63年、1月14日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.半導体磁器の結晶粒界に酸化ビスマス(Bi_2O
    _3)が20〜90モル%、及びナトリウム系金属化合
    物,ナトリウム系金属酸化物の1種又は2種以上が80
    〜10モル%を含む組成物が拡散して、前記結晶粒界に
    誘電体層が形成してなることを特徴とする半導体磁器物
    質。
JP25216487A 1987-10-06 1987-10-06 半導体磁器物質 Pending JPH0194609A (ja)

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JP25216487A JPH0194609A (ja) 1987-10-06 1987-10-06 半導体磁器物質

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JPH0194609A true JPH0194609A (ja) 1989-04-13

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