JPH0194687A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH0194687A JPH0194687A JP62253353A JP25335387A JPH0194687A JP H0194687 A JPH0194687 A JP H0194687A JP 62253353 A JP62253353 A JP 62253353A JP 25335387 A JP25335387 A JP 25335387A JP H0194687 A JPH0194687 A JP H0194687A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光出力を補正するレーザ装置に関するもの
である。 〔従来の技術〕 第５図は例えば特開昭６２−６９５７７号公報に示され
た従来のレーザ装置のブロック図であυ、第６図は、そ
の回路の動作を示すタイムチャートである。第５図にお
いて、〔１）はパルス発生器、（２）はレーザ発振ｆｉ
、（３）はレーザ光を一部反射するハーフミラ−１（４
）はハーフミラ−（３）によシ一部反射された光を透過
させる拡散板、（５）は拡散板（４）を透過してくるレ
ーザ光を受光し電気信号に変換する光電変換素子、（６
）は光電変［Ｌ素子（５）によシ変換された電気信号を
サンプルホールドするサンプルホールド回路、（７）は
サンプルホールド回路（６）の出力を積分する積分回路
、（８）ｉｌｔ積分回路（７）の出力と後述の基準［ａ
Ｅ％生器（９）の出力を比較するコンパレータ、（９）
は光膜定出力に対応する電圧を発生する基準電圧発生器
、αＯはナントゲート、卸は発振器指令を後述のｔ源（
２）に与えるトリガ回路、ａ２はレーザ発振器（２）に
電気エネルギーを与える電源、（ｔａＶ′ｉサンプルホ
ールド回路（６）をリセットする遅延回路であるＯ 例えば放電励起型エキシマレーザを用いて半導体プロセ
スにおける光リソグラフィを実行するステッパーを考え
た場合、従来ではステップとリピートサイクル毎に光出
力総計が一定となるような方式をとっていた。 その従来例のブロック図と動作のタイムチャートが第５
図と第６図に示されている。以下、動作について説明す
る。まず、電源面よシミ気エネルギーがレーザ発振器・
（２）に供給されレーザ発振器（２）の発振を引き起こ
し、レーザ光が出力される。このレーザ光出力がハーフ
ミラ−（３）により一部反射さね、拡散板（４）を介し
て光電変換素子（５） Ｋ入力される。入力後の光は光
電変換素子（５）で電気信号に変換され、この電気信号
はサンプル、ホールド回路（６）で一定期間保持される
。サンプル、ホールド回路（６）の出力信号Ｅ１は時間
間隔が一定のパルスで、その波高値はレーザ出力のピー
ク値Ｐ１に対応してパルス毎に異なった値となる（第６
図（ｂ） 、 （ｃ）参照）０サンプル、ホールド回路
（６）の出力信号は、積分器（７）に入力され、その出
力Ｅ８は、レーザ出力エネルギーの総和に比例したもの
である。この積分器（７）の出力を、基準電圧余生器（
９）にあらかじめ設定した基準レベルとコンパレータ（
８）で比較する。 積分器（７）の出力Ｔ！、８が基準レベルと一致したと
き、コンパレータの出力は０となシ、ナンドケートαＯ
が開かれてトリガ回路０］）、電源（２）の発振停止動
作によυ余振は停止される（第６図（ｅ） 、 （ｆ）
、 （ｇ）参照）。 次に、外部リセット端子α（イ）に信号が与えられると
積分器（７）の出力はＯとなろう以下、同様にして、総
照射エネ゛ルギー制御が一定のサイクルで繰シ返し実行
される（第６図（ｈ） 、 （ｅ）参照）。遅延回路ａ
３はサンプル、ホールド回路（６）をリセットするため
のものである（第６図（ｄ） 、 （ｃ）参照）。 以上のように光−出力のフィードバック址が設定された
基準レベルに到達した時点で、レーザ発振を停止するよ
うに構成していた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来のレーザ装置は以上のようＴ／ｃＷＩ！成されてい
るので、１回発振毎のレーザ光出力の再現性がとぼしく
、発振縁シ返し数の大小や発振効率の変動によシ数パー
セントから状況により１０パーセント以上の光出力の変
動がある。この変動値によシ加工される材料に悪影響を
およぼす恐れがあることや、光出力の大きさの大小によ
シ一定の発振〈シ返し数で、必要な総照射エネルギーが
得られず加工プロセス時間の設定が難しくなるなどの問
題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、１回発振毎のレーザ光出力の再現性をよくす
るとともに、一定の発振〈シ返し数で必要な総照射エネ
ルギーが得られるレーザ装置を得ることを目的とする９ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るレーザ装置は光出力の閉ループ制御を主
とし発振器の印加電圧制御を有し、単発の光出力設定に
合わせた漸増信号を発振毎に加算して光出力設定信号を
発生する光出力設定回路と、その設定回路と光出力フィ
ードバック信号の偏差を補正する演算回路と、光出力設
定から発振器の印加電圧を決める電圧設定回路と、上記
演算回路の出力と電圧設定回路の出力を加算回路で加え
合せ印加電圧設定としたものである。 〔作用〕 この発明におけるレーザ装置は、光出力設定回路出力信
号と光出力フィードバック信号の偏差を補正演算した出
力と光出力設定から発振器の印加電圧を決める電圧設定
回路の出力を夫々加えたものを印加電圧設定とし、発振
効率の変動による光出力変動をじん速に抑える。 〔発明の゛実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図におめで、■１）は単発の光出力設定に合わせたステ
ップ状の漸増信号を発振毎に加算して光出力設定信号を
一定化する光出力設定回路、＠は光出力設定から適当な
発振器印加電圧を゛設定する電圧設定回路、勾は光出力
設定回路の出力と光検出回路翰の出力の偏差から電圧設
定回路−の出力を補正演算する演算回路、（財）はフィ
ードバック制御等を用いて発振器の印加電圧を制御する
電圧制御回路、（至）ｉｌｔ発振器の印加電圧の範囲を
限定するリミッタ回路、（イ）はリミッタ回路（１）の
出力に相当する発振器の印加電圧を発生する電圧発生回
路、＠けレーザ発振器、＠は電源、翰はレーザ発振器（
支）からの光出力を検出し適当な信号に変換する光検出
回路、■は光出力設定回路（財）、電圧制御回路（ハ）
、光検出回路−を適当なタイミングで制御するタイミン
グ制御回路、＠は加算回路であるつ次に本発明の動作に
ついて説明する。まず、第２図をもとに本発明の考え方
を示す。第２図から単発の光出力と発振器の印加電圧の
間には、はぼ比例した特性（電気学会研究会資料：放電
研究会。 ＥＤ−８６−５３〜６５．１９８６年７月２４日１社団
法人骨電気学会、 ｒ ＡｒＦ 、 ＫｒＦ 、 Ｘ
ｅｃｌエキシマレーザの出力特性と放電パラメータ」第
１０７頁〜第１１６頁）がある。この図から次のことが
分かるワ
である。 〔従来の技術〕 第５図は例えば特開昭６２−６９５７７号公報に示され
た従来のレーザ装置のブロック図であυ、第６図は、そ
の回路の動作を示すタイムチャートである。第５図にお
いて、〔１）はパルス発生器、（２）はレーザ発振ｆｉ
、（３）はレーザ光を一部反射するハーフミラ−１（４
）はハーフミラ−（３）によシ一部反射された光を透過
させる拡散板、（５）は拡散板（４）を透過してくるレ
ーザ光を受光し電気信号に変換する光電変換素子、（６
）は光電変［Ｌ素子（５）によシ変換された電気信号を
サンプルホールドするサンプルホールド回路、（７）は
サンプルホールド回路（６）の出力を積分する積分回路
、（８）ｉｌｔ積分回路（７）の出力と後述の基準［ａ
Ｅ％生器（９）の出力を比較するコンパレータ、（９）
は光膜定出力に対応する電圧を発生する基準電圧発生器
、αＯはナントゲート、卸は発振器指令を後述のｔ源（
２）に与えるトリガ回路、ａ２はレーザ発振器（２）に
電気エネルギーを与える電源、（ｔａＶ′ｉサンプルホ
ールド回路（６）をリセットする遅延回路であるＯ 例えば放電励起型エキシマレーザを用いて半導体プロセ
スにおける光リソグラフィを実行するステッパーを考え
た場合、従来ではステップとリピートサイクル毎に光出
力総計が一定となるような方式をとっていた。 その従来例のブロック図と動作のタイムチャートが第５
図と第６図に示されている。以下、動作について説明す
る。まず、電源面よシミ気エネルギーがレーザ発振器・
（２）に供給されレーザ発振器（２）の発振を引き起こ
し、レーザ光が出力される。このレーザ光出力がハーフ
ミラ−（３）により一部反射さね、拡散板（４）を介し
て光電変換素子（５） Ｋ入力される。入力後の光は光
電変換素子（５）で電気信号に変換され、この電気信号
はサンプル、ホールド回路（６）で一定期間保持される
。サンプル、ホールド回路（６）の出力信号Ｅ１は時間
間隔が一定のパルスで、その波高値はレーザ出力のピー
ク値Ｐ１に対応してパルス毎に異なった値となる（第６
図（ｂ） 、 （ｃ）参照）０サンプル、ホールド回路
（６）の出力信号は、積分器（７）に入力され、その出
力Ｅ８は、レーザ出力エネルギーの総和に比例したもの
である。この積分器（７）の出力を、基準電圧余生器（
９）にあらかじめ設定した基準レベルとコンパレータ（
８）で比較する。 積分器（７）の出力Ｔ！、８が基準レベルと一致したと
き、コンパレータの出力は０となシ、ナンドケートαＯ
が開かれてトリガ回路０］）、電源（２）の発振停止動
作によυ余振は停止される（第６図（ｅ） 、 （ｆ）
、 （ｇ）参照）。 次に、外部リセット端子α（イ）に信号が与えられると
積分器（７）の出力はＯとなろう以下、同様にして、総
照射エネ゛ルギー制御が一定のサイクルで繰シ返し実行
される（第６図（ｈ） 、 （ｅ）参照）。遅延回路ａ
３はサンプル、ホールド回路（６）をリセットするため
のものである（第６図（ｄ） 、 （ｃ）参照）。 以上のように光−出力のフィードバック址が設定された
基準レベルに到達した時点で、レーザ発振を停止するよ
うに構成していた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来のレーザ装置は以上のようＴ／ｃＷＩ！成されてい
るので、１回発振毎のレーザ光出力の再現性がとぼしく
、発振縁シ返し数の大小や発振効率の変動によシ数パー
セントから状況により１０パーセント以上の光出力の変
動がある。この変動値によシ加工される材料に悪影響を
およぼす恐れがあることや、光出力の大きさの大小によ
シ一定の発振〈シ返し数で、必要な総照射エネルギーが
得られず加工プロセス時間の設定が難しくなるなどの問
題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、１回発振毎のレーザ光出力の再現性をよくす
るとともに、一定の発振〈シ返し数で必要な総照射エネ
ルギーが得られるレーザ装置を得ることを目的とする９ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るレーザ装置は光出力の閉ループ制御を主
とし発振器の印加電圧制御を有し、単発の光出力設定に
合わせた漸増信号を発振毎に加算して光出力設定信号を
発生する光出力設定回路と、その設定回路と光出力フィ
ードバック信号の偏差を補正する演算回路と、光出力設
定から発振器の印加電圧を決める電圧設定回路と、上記
演算回路の出力と電圧設定回路の出力を加算回路で加え
合せ印加電圧設定としたものである。 〔作用〕 この発明におけるレーザ装置は、光出力設定回路出力信
号と光出力フィードバック信号の偏差を補正演算した出
力と光出力設定から発振器の印加電圧を決める電圧設定
回路の出力を夫々加えたものを印加電圧設定とし、発振
効率の変動による光出力変動をじん速に抑える。 〔発明の゛実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図におめで、■１）は単発の光出力設定に合わせたステ
ップ状の漸増信号を発振毎に加算して光出力設定信号を
一定化する光出力設定回路、＠は光出力設定から適当な
発振器印加電圧を゛設定する電圧設定回路、勾は光出力
設定回路の出力と光検出回路翰の出力の偏差から電圧設
定回路−の出力を補正演算する演算回路、（財）はフィ
ードバック制御等を用いて発振器の印加電圧を制御する
電圧制御回路、（至）ｉｌｔ発振器の印加電圧の範囲を
限定するリミッタ回路、（イ）はリミッタ回路（１）の
出力に相当する発振器の印加電圧を発生する電圧発生回
路、＠けレーザ発振器、＠は電源、翰はレーザ発振器（
支）からの光出力を検出し適当な信号に変換する光検出
回路、■は光出力設定回路（財）、電圧制御回路（ハ）
、光検出回路−を適当なタイミングで制御するタイミン
グ制御回路、＠は加算回路であるつ次に本発明の動作に
ついて説明する。まず、第２図をもとに本発明の考え方
を示す。第２図から単発の光出力と発振器の印加電圧の
間には、はぼ比例した特性（電気学会研究会資料：放電
研究会。 ＥＤ−８６−５３〜６５．１９８６年７月２４日１社団
法人骨電気学会、 ｒ ＡｒＦ 、 ＫｒＦ 、 Ｘ
ｅｃｌエキシマレーザの出力特性と放電パラメータ」第
１０７頁〜第１１６頁）がある。この図から次のことが
分かるワ
【１）電圧が’ＶＱ以下では光出力が得られな
いことｏ（２）単発の光出力は発振器の印加電圧を制御
することによシ制御できること０また、発振器の印加電
圧が高くなると発振器内の放電が乱れ、また低くなシす
ぎると放電予備電離方式では、充分電離できず放電が乱
れて発振器にダメージを与えたシすることが一般に知ら
れてｂる。以上から、発振器にダメージを与えなりため
に発振器の印加電圧の範囲を限定しまた単発の光出力設
定に対応して初期発振器の印加電圧設定を決めることに
よシ光出力の変動を抑える回路構成を用いている。 以上をもとに実施例の第１図についての動作を第３図の
タイムチャートをもとに説明する。実施例では発振〈シ
返し周期を一定で光出力を発生する回路（適゛用してめ
る。実施例では、７回の発振で総照射エネルギーを得る
時を示して−る。単発の光出力設定を第２図ＰＱとする
。第３図の３０時点よシ最初の発振指令が外部からタイ
ミング制御回路へ与えられ、タイミング制御回路（１）
からの信号によシミ源（ハ）から発振器へ電圧が供給さ
れる。このとき、印加電圧の電圧設定信号（１０４）は
、電圧設定回路（イ）の出力（１０２）が第２図のｖｒ
発生する信号に相当する値Ｖｒｅ ｆ ＋光出力設定回
路（２）の出力（１０１）が０．演算回路−の出力（１
０３）が０となり、結局Ｖｒｅ ｆとなる。ｔ】時点で
レーザ発振器（社）に電圧供給が終わるＱ ｔ２時点で
タイミング制御回路（７）からレーザ発振Ｈ＠ＶＣ発振
信号が与えられてレーザ発振器（財）が発振する。発振
後、光検出回路−は、従来例の検出回路と同様に動作す
る。一方、光出力設定回路■Ｄの出力（１０１） ｄ、
単発の光出力ＰＱに相当する信号が出てくる。ｔ３−ｔ
４時点で次の電源供給となる。このとき、ｔ２時点の発
振による光出力（１０５）が光出力設定値ＰＯよシ小さ
かったため、演算回路−の出力（１０３）が＋δ１信号
を出力している。故にｔ３−ｔ４時点での電圧設定信号
（１０４） Ｖｉ、（Ｖｒｅｆ＋δ１）となシレーザ発
振ｉａａの印加電圧を上昇するように働き、光出力を補
正するよう働＜ＯｔＳ時点で２回目の発振がおこるＯこ
のとき光検出回路圀の出力（１０６）はＰｆとなる。光
出力設定回路ｅ℃の出力（１ｏ１）ハ、単発の光出力設
定ＦＱを加え、 ２ＰＱの値となる。Ｐｆの方が２Ｐ
Ｑよシ大きかったの〒、演算回路−の出力（１０３）Ｖ
ｉ−δ２信号となっている。故にｔ６−ｔ７時点での電
圧設定信号（ｘｏａ）は、（Ｖｒｅｆ−δ２）となシレ
ーザ発振器（財）の印加電圧を抑制するように働き、光
出力を補正するよう働く。以後、同様に動作してゆく。 第２図では七８時点から誤差なく光出力が得られた状態
を示している。１９時点において、外部よシ発振指令が
解除され、タイミング制御回路（７）によシ光検出回路
翰および光出力設定回路３℃の出力がリセットされ、次
の光出力制御にそなえる構成となっている。尚、印加電
圧範囲をリミッタ回路（ハ）によシ第３図のｖ１〜ｖ２
としておシ、急激な光出力変動があっても発振器にダメ
ージや異常な印加電圧とならない構成としているっまた
、単発の光出力設定が光出力制御途中で変更になっても
その分光出力設定に加算する方式となっておシ問題な一
〇発振くり返し周期が光出力制御途中で変更になっても
発振毎に光出力設定−値を加算するので問題ない。 以上よシ、発振効率の変動による光出力変動を迅速に抑
え、発振器に印加電圧によるダメージを与えない。 なお、上記実施例では、光出力回路として単発の光出力
設定に合わせたステップ信号を発振毎に加算して光出力
信号としていた。しかし発振くシ返し周期（ΔＴ）が一
定で光出力設定値（ΔＰ）が光出力制御中変わらな一場
合は、第４図のように光出力設定をランプ関数発生回路
０υに入力し、光検出回路−の出力に合わせ外部からの
タイミング信号によシ傾きがΔＰ／ΔＴであるランプ出
力を出す光出力設定回路としても上記と同様の効果が得
られる。 また、光出力総計（Ｐ）をランプ関数発生回路に入力し
て光出力制御期間（Ｔ）がわかっておれば、傾きＰ／Ｔ
であるランプ出力を出す光出力設定回路としてもより０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、演算回路の出力と電
圧設定回路の出力とを加算して印加電圧設定値を決定す
るので、光出力の再現性がよくなるという効果がある。
いことｏ（２）単発の光出力は発振器の印加電圧を制御
することによシ制御できること０また、発振器の印加電
圧が高くなると発振器内の放電が乱れ、また低くなシす
ぎると放電予備電離方式では、充分電離できず放電が乱
れて発振器にダメージを与えたシすることが一般に知ら
れてｂる。以上から、発振器にダメージを与えなりため
に発振器の印加電圧の範囲を限定しまた単発の光出力設
定に対応して初期発振器の印加電圧設定を決めることに
よシ光出力の変動を抑える回路構成を用いている。 以上をもとに実施例の第１図についての動作を第３図の
タイムチャートをもとに説明する。実施例では発振〈シ
返し周期を一定で光出力を発生する回路（適゛用してめ
る。実施例では、７回の発振で総照射エネルギーを得る
時を示して−る。単発の光出力設定を第２図ＰＱとする
。第３図の３０時点よシ最初の発振指令が外部からタイ
ミング制御回路へ与えられ、タイミング制御回路（１）
からの信号によシミ源（ハ）から発振器へ電圧が供給さ
れる。このとき、印加電圧の電圧設定信号（１０４）は
、電圧設定回路（イ）の出力（１０２）が第２図のｖｒ
発生する信号に相当する値Ｖｒｅ ｆ ＋光出力設定回
路（２）の出力（１０１）が０．演算回路−の出力（１
０３）が０となり、結局Ｖｒｅ ｆとなる。ｔ】時点で
レーザ発振器（社）に電圧供給が終わるＱ ｔ２時点で
タイミング制御回路（７）からレーザ発振Ｈ＠ＶＣ発振
信号が与えられてレーザ発振器（財）が発振する。発振
後、光検出回路−は、従来例の検出回路と同様に動作す
る。一方、光出力設定回路■Ｄの出力（１０１） ｄ、
単発の光出力ＰＱに相当する信号が出てくる。ｔ３−ｔ
４時点で次の電源供給となる。このとき、ｔ２時点の発
振による光出力（１０５）が光出力設定値ＰＯよシ小さ
かったため、演算回路−の出力（１０３）が＋δ１信号
を出力している。故にｔ３−ｔ４時点での電圧設定信号
（１０４） Ｖｉ、（Ｖｒｅｆ＋δ１）となシレーザ発
振ｉａａの印加電圧を上昇するように働き、光出力を補
正するよう働＜ＯｔＳ時点で２回目の発振がおこるＯこ
のとき光検出回路圀の出力（１０６）はＰｆとなる。光
出力設定回路ｅ℃の出力（１ｏ１）ハ、単発の光出力設
定ＦＱを加え、 ２ＰＱの値となる。Ｐｆの方が２Ｐ
Ｑよシ大きかったの〒、演算回路−の出力（１０３）Ｖ
ｉ−δ２信号となっている。故にｔ６−ｔ７時点での電
圧設定信号（ｘｏａ）は、（Ｖｒｅｆ−δ２）となシレ
ーザ発振器（財）の印加電圧を抑制するように働き、光
出力を補正するよう働く。以後、同様に動作してゆく。 第２図では七８時点から誤差なく光出力が得られた状態
を示している。１９時点において、外部よシ発振指令が
解除され、タイミング制御回路（７）によシ光検出回路
翰および光出力設定回路３℃の出力がリセットされ、次
の光出力制御にそなえる構成となっている。尚、印加電
圧範囲をリミッタ回路（ハ）によシ第３図のｖ１〜ｖ２
としておシ、急激な光出力変動があっても発振器にダメ
ージや異常な印加電圧とならない構成としているっまた
、単発の光出力設定が光出力制御途中で変更になっても
その分光出力設定に加算する方式となっておシ問題な一
〇発振くり返し周期が光出力制御途中で変更になっても
発振毎に光出力設定−値を加算するので問題ない。 以上よシ、発振効率の変動による光出力変動を迅速に抑
え、発振器に印加電圧によるダメージを与えない。 なお、上記実施例では、光出力回路として単発の光出力
設定に合わせたステップ信号を発振毎に加算して光出力
信号としていた。しかし発振くシ返し周期（ΔＴ）が一
定で光出力設定値（ΔＰ）が光出力制御中変わらな一場
合は、第４図のように光出力設定をランプ関数発生回路
０υに入力し、光検出回路−の出力に合わせ外部からの
タイミング信号によシ傾きがΔＰ／ΔＴであるランプ出
力を出す光出力設定回路としても上記と同様の効果が得
られる。 また、光出力総計（Ｐ）をランプ関数発生回路に入力し
て光出力制御期間（Ｔ）がわかっておれば、傾きＰ／Ｔ
であるランプ出力を出す光出力設定回路としてもより０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、演算回路の出力と電
圧設定回路の出力とを加算して印加電圧設定値を決定す
るので、光出力の再現性がよくなるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図は発
振器の特性を示す説明図、第３図は第１図の動作を示す
タイムチャート、第４図はこの発明の他の実施例を示す
構成図（、）及び説明図（ｂ）である。第５図は従来の
レーザ装置を示すＷ底口、第６図は第５図の動作を示す
タイムチャートである０図において、３９け光出力設定
回路、翰は電圧設定回路、＠は演算回路、（ハ）は電圧
制御回路、＠はレーザ発振器、＠は電源、翰は光検出回
路、ｃ（ＴＪは加算回路である。
振器の特性を示す説明図、第３図は第１図の動作を示す
タイムチャート、第４図はこの発明の他の実施例を示す
構成図（、）及び説明図（ｂ）である。第５図は従来の
レーザ装置を示すＷ底口、第６図は第５図の動作を示す
タイムチャートである０図において、３９け光出力設定
回路、翰は電圧設定回路、＠は演算回路、（ハ）は電圧
制御回路、＠はレーザ発振器、＠は電源、翰は光検出回
路、ｃ（ＴＪは加算回路である。
Claims (3)
- （１）レーザ発振器の光出力を閉ループ制御して上記レ
ーザ発振器の印加電圧を制御するようにしたものにおい
て、単発の光出力設定値に合わせた漸増信号を発振毎に
加算して光出力設定信号を発生する光出力設定回路と、
上記光出力のフィードバック信号と上記光出力設定信号
との偏差を補正する演算回路と、上記光出力設定値から
上記レーザ発振器の印加電圧を決定する電圧設定回路と
、この電圧設定回路の出力と上記演算回路の出力とを加
算して印加電圧設定値を決定する加算回路とを備えたレ
ーザ装置。 - （２）漸増信号はステップ状であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。 - （３）漸増信号はランプ関数状であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62253353A JPH0194687A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62253353A JPH0194687A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194687A true JPH0194687A (ja) | 1989-04-13 |
Family
ID=17250153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62253353A Pending JPH0194687A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0194687A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0541624A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | フアイバ形光増幅器 |
-
1987
- 1987-10-06 JP JP62253353A patent/JPH0194687A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0541624A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | フアイバ形光増幅器 |
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