JPH0195100U - - Google Patents

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JPH0195100U
JPH0195100U JP18990887U JP18990887U JPH0195100U JP H0195100 U JPH0195100 U JP H0195100U JP 18990887 U JP18990887 U JP 18990887U JP 18990887 U JP18990887 U JP 18990887U JP H0195100 U JPH0195100 U JP H0195100U
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JP
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vacuum container
neutralization cell
magnetic shield
injection device
ion source
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の中性粒子入射装置の一実施例
を示す断面図、第２図は第１図のＩ―Ｉ線に沿う
断面図、第３図は従来の中性粒子入射装置を示す
断面図である。 １……イオン源、２……中性化セル、３……中
性化セル磁気シールド、７……真空容器、１０…
…中性化セル容器、１１……中性化セル内層磁気
シールド、１２……中性化セル外層磁気シールド
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器と、該真空容器の外側に筒体を介して
    気密に取付けられたイオン源と、このイオン源か
    ら発射したイオンを中性化する中性化セルとを備
    えた中性粒子入射装置において、前記中性化セル
    に近接して取付ける高透磁率の磁気シールドを中
    性化セル用真空容器の内側に取付けると共に、該
    中性化セル用真空容器の外側に真空容器に密着し
    て中透磁率の磁気シールドを取付けたことを特徴
    とする中性粒子入射装置。
JP18990887U 1987-12-16 1987-12-16 Pending JPH0195100U (ja)

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