JPH0195440A - カラーブラウン管の露光装置 - Google Patents
カラーブラウン管の露光装置Info
- Publication number
- JPH0195440A JPH0195440A JP25274587A JP25274587A JPH0195440A JP H0195440 A JPH0195440 A JP H0195440A JP 25274587 A JP25274587 A JP 25274587A JP 25274587 A JP25274587 A JP 25274587A JP H0195440 A JPH0195440 A JP H0195440A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- exposure
- sensor
- distance
- color cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーブラウン管製造の露光装置に関し、特
にそのパ゛ネルフェースプレート（以下、パネルと略す
。）の高さ定位置判定機構に関する。
にそのパ゛ネルフェースプレート（以下、パネルと略す
。）の高さ定位置判定機構に関する。
カラーブラウン管の露光装置は、フォトレジストを塗布
したパネルを露光装置に設置し、光源からの光で露光す
るための装置である。この露光装置には、パネルを露光
装置上の所定の露光位置にセットするパネル位置決め機
構が設けられている。従来、露光装置に用いられて来た
パネル位置決め機構は、第２図に示すように、パネル１
を載せる３ケ所のパネル受けパッド４と、パネル１の露
光位置を決める３組のパネル位置決めピン３と、エアシ
リンダー７．８により作動する２組のパネル固定装置５
．６とから成り、パネル固定装置５．６がパネル１をパ
ネル位置決めピン３に押し付けることによりパネル１を
露光装置にセットしていた。
したパネルを露光装置に設置し、光源からの光で露光す
るための装置である。この露光装置には、パネルを露光
装置上の所定の露光位置にセットするパネル位置決め機
構が設けられている。従来、露光装置に用いられて来た
パネル位置決め機構は、第２図に示すように、パネル１
を載せる３ケ所のパネル受けパッド４と、パネル１の露
光位置を決める３組のパネル位置決めピン３と、エアシ
リンダー７．８により作動する２組のパネル固定装置５
．６とから成り、パネル固定装置５．６がパネル１をパ
ネル位置決めピン３に押し付けることによりパネル１を
露光装置にセットしていた。
上述した従来の露光装置のパネル位置決め機構では、第
３図に示すようにパネル位置決めピン３の先端が半球状
となっており、かつ、パネル固定装置５と接触するパネ
ル面がθ角の傾斜を持っているためパネル固定装置５に
よりパネル１が押し付けられた際、パネルに上向きの力
が加わり、パネル１がパネル受けパッド４から離れ、露
光高さの定位置がズして不良を生じることがあった。し
かるに従来のパネル位置決め機構は、定位置ズレ不良を
判別する機能を持っていないことからパネルが露光高さ
定位置にセットされないまま露光されて不良を発生させ
ていた。また、パネルとパネル受けパッドとのズレは微
小なものであるから人間の目では確認することが困難で
あり、最終検査までその露光高さ定位置不良が発見でき
ず、その不良の続発を招き、カラーブラウン管の製造工
程において多大な損害を与えていた。
３図に示すようにパネル位置決めピン３の先端が半球状
となっており、かつ、パネル固定装置５と接触するパネ
ル面がθ角の傾斜を持っているためパネル固定装置５に
よりパネル１が押し付けられた際、パネルに上向きの力
が加わり、パネル１がパネル受けパッド４から離れ、露
光高さの定位置がズして不良を生じることがあった。し
かるに従来のパネル位置決め機構は、定位置ズレ不良を
判別する機能を持っていないことからパネルが露光高さ
定位置にセットされないまま露光されて不良を発生させ
ていた。また、パネルとパネル受けパッドとのズレは微
小なものであるから人間の目では確認することが困難で
あり、最終検査までその露光高さ定位置不良が発見でき
ず、その不良の続発を招き、カラーブラウン管の製造工
程において多大な損害を与えていた。
本発明は、パネル受けパッド、パネル位置決めピンおよ
びパネル固定装置を含むパネル位置決め機構を備えるカ
ラーブラウン管の露光装置において、露光装置テーブル
上面のパネル受けパッドの近傍に近接センナを設置して
パネルがパネル受けパッド上に正常に載っていることを
その近接センサで検出するようにしたことを特徴とする
。
びパネル固定装置を含むパネル位置決め機構を備えるカ
ラーブラウン管の露光装置において、露光装置テーブル
上面のパネル受けパッドの近傍に近接センナを設置して
パネルがパネル受けパッド上に正常に載っていることを
その近接センサで検出するようにしたことを特徴とする
。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例を示す断面図である。露光装置のテ
ーブル２上には、パネル位置決めピン３、パネル受けパ
ッド４およびパネル固定機構５が設置されており、さら
にパネル受けパッド４の横に近接センサ９が設けられて
いる。この近接センサ９は、発光部と受光部とを有して
おり、発光部から出射した光をパネル１の下面に照射し
、下面から反射した光を受光部の光位置検出素子上で受
け取めるように構成されている。パネル１の下面が変位
すると、反射光が光位置検出素子上を移動し、その移動
量に比例した電気信号を出力し、それにより近接センサ
９からパネル１の下面までの距離を測定するようになっ
ている。なお、この近接センサ９からパネル受けパッド
４の上面までの間隔はｈとなっている。
は本発明の一実施例を示す断面図である。露光装置のテ
ーブル２上には、パネル位置決めピン３、パネル受けパ
ッド４およびパネル固定機構５が設置されており、さら
にパネル受けパッド４の横に近接センサ９が設けられて
いる。この近接センサ９は、発光部と受光部とを有して
おり、発光部から出射した光をパネル１の下面に照射し
、下面から反射した光を受光部の光位置検出素子上で受
け取めるように構成されている。パネル１の下面が変位
すると、反射光が光位置検出素子上を移動し、その移動
量に比例した電気信号を出力し、それにより近接センサ
９からパネル１の下面までの距離を測定するようになっ
ている。なお、この近接センサ９からパネル受けパッド
４の上面までの間隔はｈとなっている。
次に動作について説明する。パネル１が露光装置テーブ
ル２のパネル受けパッド４に載せられ、パネル固定袋２
５により押されて所定の露光位置にセットされる。この
時近接センサ９が光を照射し、パネル１の下面が反射し
た光を受けて、パネル１の下面と近接センサ９の距離を
計測し、その距離がｈであることを検出して、その結果
を外部制御装置（図示せず）へ送る。このようにしてパ
ネル１が露光高さ定位置にセットされたことがわかる。
ル２のパネル受けパッド４に載せられ、パネル固定袋２
５により押されて所定の露光位置にセットされる。この
時近接センサ９が光を照射し、パネル１の下面が反射し
た光を受けて、パネル１の下面と近接センサ９の距離を
計測し、その距離がｈであることを検出して、その結果
を外部制御装置（図示せず）へ送る。このようにしてパ
ネル１が露光高さ定位置にセットされたことがわかる。
もし、パネル１がパネル受けパッド４からｅだけ離れて
セットされた時には、上述の場合と同様に近接センサ９
が光を照射してパネル１の下面との距離を計測し、その
距離がｈ＋ｅであることを検出して、その結果を外部制
御装置へ送り、高さ位置が不良であることを検知する。
セットされた時には、上述の場合と同様に近接センサ９
が光を照射してパネル１の下面との距離を計測し、その
距離がｈ＋ｅであることを検出して、その結果を外部制
御装置へ送り、高さ位置が不良であることを検知する。
以上説明したように、カラーブラウン管製造の露光工程
に本発明の近接センサを用いた露光装置を使用すること
によりパネル固定時の露光高さの定位置からのズレを簡
単に発見でき、工程歩留を大幅に向上させることができ
る。
に本発明の近接センサを用いた露光装置を使用すること
によりパネル固定時の露光高さの定位置からのズレを簡
単に発見でき、工程歩留を大幅に向上させることができ
る。
第１図は、本発明の露光装置のパネル位置決め機構の概
略図、第２図は従来の露光装置のパネル位置決め機構を
示す平面図、第３図はパネル、パネル位置決めピンおよ
びパネル固定装置の相互の関係の詳細図である。 、１・・・パネル、２・・・露光装置テーブル、３・・
・パネル位置決めピン、４・・・パネル受けパッド、５
．６・・・パネル固定装置、７．８・・・エアシリンダ
ー、９・・・近接センサ。
略図、第２図は従来の露光装置のパネル位置決め機構を
示す平面図、第３図はパネル、パネル位置決めピンおよ
びパネル固定装置の相互の関係の詳細図である。 、１・・・パネル、２・・・露光装置テーブル、３・・
・パネル位置決めピン、４・・・パネル受けパッド、５
．６・・・パネル固定装置、７．８・・・エアシリンダ
ー、９・・・近接センサ。
Claims (1)
- パネル受けパッドと、パネル位置決めピンと、パネル固
定装置とを含むパネル位置決め機構を備えるカラーブラ
ウン管の露光装置において、テーブル上面のパネル受け
パッドの近傍に近接センサを設け、パネルが露光高さの
定位置にセットされたことを検知するようにしたことを
特徴とするカラーブラウン管の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25274587A JPH0195440A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | カラーブラウン管の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25274587A JPH0195440A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | カラーブラウン管の露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195440A true JPH0195440A (ja) | 1989-04-13 |
Family
ID=17241687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25274587A Pending JPH0195440A (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 | カラーブラウン管の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195440A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100461436B1 (ko) * | 2002-11-13 | 2004-12-10 | 현대자동차주식회사 | 차량용 클러치페달의 간격조절수단 |
-
1987
- 1987-10-06 JP JP25274587A patent/JPH0195440A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100461436B1 (ko) * | 2002-11-13 | 2004-12-10 | 현대자동차주식회사 | 차량용 클러치페달의 간격조절수단 |
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