JPH0195530A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、搬送技術、特に、被搬送物を流体層を介して
搬送する技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程に
おいて、ウェハやマスク等のような板状物を搬送するの
に利用して有効な技術に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程において、ウェハを搬送する搬送
装置として、水平に敷設された搬送床に多数個のエア吹
出口が開設されており、この吹出口群からエアを上向き
に吹き出させてこの吹出エアによりウェハを下から支持
せしめることにより、ウェハを搬送床から浮上させて搬
送するように構成されているエアコンベアがある。

なお、ウェハをエアコンベアで搬送する技術を述べであ
る例としては、株式会社工業調査会発行「電子材料１９
８２年ｉ１月号別冊」昭和５７年１１月１８日発行　Ｐ
１０９〜Ｐ１１６、がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような搬送装置においては、エアが上向きに吹き出
されるように構成されているため、搬送中にウェハ上面
にエアが巻き込まれる現象、また、クリーンルームにお
ける垂直下向き層流が乱される現象により、ウェハ上面
に異物が付着するという問題点があることが、本発明者
によって明らかにされた。

本発明の目的は、被搬送物への異物付着を防止すること
ができる搬送装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、流体を流れ層形成部材の表面に吹き付け、こ
の流体が表面に沿って曲げられることにより、流れ層形
成部材の表面にこの流体の流れ層を形成せしめ、この流
れ層上で被搬送物が搬送されるように構成したものであ
る。

〔作用〕

流体が流れ層形成部材の表面に吹き付けられると、粘性
のため壁面との摩擦および流体間の内部摩擦によって、
流体は流れ層形成部材の表面に沿って曲げられるため、
流れ層形成部材の表面に流体の流れ層が形成されること
になる。この流れ層上に被搬送物が置かｈると、被搬送
物は流れ層を介して流れ層形成部材から浮上した状態で
支持されるため、被搬送物は流れ層に沿って搬送される
ことになる。

搬送中、流体の流れは流れ層形成部材に沿って形成され
るため、被搬送物の上面に巻き上げられる現象、および
垂直下向き層流を乱す現象が抑制されることになる。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
拡大部分正面断面図、第２図はその平面図である。

本実施例において、この搬送装置は被搬送物としてのウ
ェハｌを一方向に搬送するための搬送路２を備えており
、この搬送路２の片脇には搬送路を実質的に構成してい
る流れ層形成部材６を敷設するための支持部材３が型鋼
材等を用いて構築されている。すなわち、流れ層形成部
材はステンレス等のように塵埃が発生しない材料を用い
て、断面形状が真円形のパイプ形状に形成されており、
複数本が搬送方向に横並びであって、所定のピンチをと
って、かつ両端を揃えられて互いに平行に整列するよう
に敷設されているとともに、その片側端において支持部
材３により略水平に支持されている。

搬送路２の他側にはエア供給配管５が設置されており、
この配管５は流れ層形成部材６の他端面にその中空部内
へエアを互いに均等に供給し得るようにそれぞれ接続さ
れている。また、この配管５には他側においてエア供給
袋Ｗ４が接続されており、この供給装置４は清浄化され
たエアを流量、流圧および流速を適宜調整して供給し得
るように構成されている。

各流れ層形成部材６には流体としてのエア８を吹き出す
ための吹出ロアが複数個、搬送方向下流に相隣る流れ層
形成部材６の上側曲面に向けてエアを吹き付けるように
それぞれ開設されているとともに、搬送方向の上流と下
流とで相隣る流れ層形成部材６．６にそれぞれ開設され
た吹出ロア、７同士においては、上流の吹出口から吹き
出されたエアが下流の吹出自から吹き出されたエアに干
渉しないように、交互にずらされてそれぞれ配置されて
いる。また、各吹出ロアは吹き出したエアが搬送路２全
体にわたって可及的に均一になるように適宜設定されて
いる。

次に作用を説明する。

ウェハ１を搬送する際、清浄化されたエア８がエア供給
装置５から配管４を通じて流れ層形成部材６群に供給さ
れる。供給されたエア８は各流れ層形成部材６の吹出ロ
ア群から搬送方向下流に相隣る流れ層形成部材６の上側
曲面に向けてそれぞれ吹き出される。

流れ層形成部材６の上側曲面に吹き付けられると、エア
はその粘性のため、流れ層形成部材６表面との摩擦、お
よびエア間の内部摩擦によって流れ層形成部材の上側曲
面に沿って曲げられ、かつ、当該流れ層形成部材６と、
これに下流で相隣る流れ層形成部材６との間の空間を通
って下向きに吹き抜けて行く、このエアの流れにより、
エア流れ層９群が各流れ層形成部材６の上側曲面に沿っ
てそれぞれ形成される。

ここで、吹出ロアから吹き出されたエア８は扇形状に拡
散されるため、各流れ層形成部材６の上側曲面にそれぞ
れ形成されるエア流れ層９は適当な面積を形成すること
になる。

また、搬送方向の上流と下流とで相隣る流れ層形成部材
６．６にそれぞれ開設された吹出ロア、７間士は、交互
にずらされて配置されているため、上流の吹出ロアから
吹き出されたエア８は、下流に位置する流れ層形成部材
６における吹出ロアと７との間の上側曲面に吹き付けら
れ、そこに隣接する間隙を通って下向きに吹き出ること
になる。

したがって、上流の吹出ロアから吹き出されたエアによ
って下流に位置する流れ層形成部材６の上側曲面上に形
成されるエア流れ層９は、当該流れ層形成部材６からさ
らに下流に位置する流れ層形成部材６に向けて吹き出さ
れるエア８に干渉されることはなく、均一な層流状態を
もって適正に形成されることになる。

かくして、各流れ層形成部材６上にエア流れ層９群が適
正に形成され、安定したところで、搬送路２の上流位置
において、被搬送物としてのウェハｌがエア流れ層９上
に載置される。

エア流れ層９上に載置されたウェハｌはそのエア流れ層
９によって支えられることにより、流れ層形成部材６か
ら浮上されるとともに、ウェハｌの下面に吹き付けられ
るエア流れ層９の上層部におけるエアの流れにより搬送
路２の下流方向への力を付勢されるため、エア流れ層９
群上を下流方向へと搬送されて行く。

搬送中、エア流れ層９のエアは流れ層形成部材６の上側
曲面に沿って下向きに吹き抜けているため、搬送されて
行くウェハｌの上面にこれを浮上させるためのエアが巻
き込まれることはない、したがって、エアがウェハ１の
上面に巻き込まれる現象によって起こる異物の付着等は
未然に防止されることになる。

また、半導体装置の製造工程において、ウェハ１はクリ
ーンルーム中で取り扱われるが、クリーンルームにおい
ては異物を低減させるために垂直下向き層流が形成され
ている。ところが、搬送路が盲板で、かつ、ウェハを浮
き上げるためのエアが上向きに吹き出されていると、垂
直下向き層流が乱されるため、ウェハｌ上面に異物が付
着する危険性が高まる。

しかし、本実施例においては、搬送路２が複数本の流れ
層形成部材６によって形成されていることにより、隣り
合う流れ層形成部材６．６間に吹き抜は路が形成されて
いるため、クリーンルームの垂直下向き層流は乱される
ことなく、流れ層形成部材６．６間から吹き抜けて行く
ことになる。

かつまた、ウェハｌを浮上させるためのエアは上向きに
吹き出されるのではなく、流れ層形成部材６の上側曲面
に沿うように吹き出され、下向きに吹き抜けて行くため
、クリーンルームの垂直下向き層流はこれに乱されるこ
とな（、流れ層形成部材６．６間から吹き抜けて行くこ
とになる。したがって、クリーンルームの垂直下向き層
流が乱されることによりて起こる異物の付着等は未然に
防止されることになる。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１１流体を流れ層形成部材の表面に吹き付けることに
より、流れ層形成部材の表面にこの流体の流れ層を形成
させることができるため、この流れ層の上に被搬送物を
載せることにより、被搬送物を流れ層形成部材から浮上
させた状態で搬送させることができる。

（２）流れ層形成部材に形成された流れ層によって被搬
送物を浮上させて搬送させることにより、流れ層が流れ
形成部材に沿って曲げられて下向きに吹き抜けて行くた
め、この流れ層の流体が被搬送物の上面に巻き込まれる
のを防止することができ、被搬送物上面に異物が付着す
るのを防止することができる。

（３）　　流れ層形成部材を横並びに整列させて流れ層
の吹き抜は空間を隣接するように形成することにより、
クリーンルームの垂直下向き層流の吹き抜は空間を形成
させることができるため、被搬送物を浮上させるための
エアが垂直下向き層流を乱すのを防止することができ、
その結果、異物が被搬送物に付着するのを防止すること
ができる。

〔実施例２〕 第３図は本発明の実施例２であるウェハ搬送装置を示す
平面図である。

本実施例２が前記実施例１と異なる点は、搬送路２Ａが
直角に屈曲されている点にある。すなわち、搬送路２Ａ
の屈曲部において、屈曲前側の流れ層形成部材６Ａ＃は
屈曲内側の端部が搬送方向に行くにしたがって次第に短
くなるように構成されており、屈曲後側の流れ層形成部
材６Ｂ群は屈曲内側の端部が搬送方向に行（したがって
次第に長（なるように構成されている。

本実施例において、搬送路２Ａの屈曲部に差しかかると
、ウェハ１は屈曲前側の流れ層形成部材６Ａの流れ層９
群から、それと直交する屈曲後側の流れ層形成部材６Ｂ
の流れ層９群に乗り移り、屈曲後側の流れ層形成部材６
Ａの流れＮ９における流れにより搬送方向へと送り出さ
れて行（。

（実施例３〕 第４図は本発明の実施例３であるウェハ搬送装置を示す
縦断面図である。

本実施例３において、流れ層形成部材１０が翼形状に形
成されており、エア供給配管１１が適当箇所の流れ層形
成部材ｌＯの前脇に近接するように配設されているとと
もに、この配管１１にエア吹出口１２が流れ層形成部材
ｌＯの前縁にエアを吹き付けるように開設されている。

本実、ａ例において、エア１３が翼形の流れ層形成部材
ｌＯに吹き付けられると、エア１３が流れ層形成部材１
０の翼上面を層流状態で流れることにより、流れ層１４
が形成される。

流れ層１４を形成したエアは次段の流れ層形成部材ｌＯ
に吹き付けられ、その翼上面を層流状態で流れることに
より、当該流れ層形成部材１０に流れ層１４が形成され
る。

かくして、各流れ層形成部材１Ｇに形成された流れ層１
４上にウェハ１が載置されると、ウェハｌは前記実施例
１と同様に搬送されて行くことになる。また、その作用
および効果は前記実施例１と略同様である。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、流れ層形成部材の形状、構造、配置、流体を流
れ層形成部材に吹き付けるための吹出口の形状、構造、
配置等は前記実施例に限らず、被搬送物の重量、大きさ
、クリーンルームの状況等々のような諸条件に対応して
適宜選定することが望ましい。

また、流れ層形成部材のピッチ、吹出口の大きさ、エア
の風圧、風速、風量等は調整自在に構成することが望ま
しい。

被搬送物を一方向に送る付勢力として流れ層を形成する
エアの流れ力を利用するように構成するに限らず、送り
力専用のエア吹出口や、リニヤモータ等を付設してもよ
い。

流れ層を形成するための流体としては、清浄エアを使用
するに限らず、窒素ガス等のような気体、さらには純水
等のような液体を使用してもよい。

さらに、流体流れ層が形成される流れ層形成部材の上側
表面における流体の剥離を可及的に押割させるように、
流れ層形成部材の上側表面に柔毛等を添着してもよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハの搬送技術に
通用した場合について説明したが、それに限定されるも
のではなく、半導体装置の製造工程において、マスクを
搬送するための搬送装置や、その他の分野において物品
を搬送する搬送装置全般に適用することができる。特に
、本発明にかかる搬送装置は板状物を搬送するのに使用
して優れた効果を発揮する。

〔発明の効果〕 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

流体を流れ層形成部材の表面に吹き付けることにより、
流れ層形成部材の表面にこの流体の流れ層を形成させる
ことができるため、この流れ層の上に被搬送物を載せる
ことにより、被搬送物を流れ層部材から被搬送物を浮上
させた状態で搬送させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
拡大部分正面断面図、 第２図はその平面図である。　。 第３図は本発明の実施例２であるウェハ搬送装置を示す
平面図である。 第４図は本発明の実施例３であるウェハ搬送装置を示す
縦断面図である。 ｌ・・・ウェハ（被搬送物）、２．２Ａ・・・搬送路、
３・・・支持部材、４・・・エア供給装置、５川エア供
給配管、６・・・流れ層形成部材、７・・・吹出口、８
・・・エア（流体）、９・・・エア流れ層、ＩＯ・・・
流れ層形成部材、１１・・・エア供給配管、１２・・・
エア吹出口、１３・・・エア、１４・・・エア流れ層。 代理人　弁理士　　梶　　原　　辰　　也　　。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流体が流れ層形成部材の表面に吹き付けられ、この
   表面に沿って曲げられることにより、流れ層形成部材の
   表面にこの流体の流れ層が形成されており、この流れ層
   上を被搬送物が搬送されるように構成されていることを
   特徴とする搬送装置。 ２、流れ層形成部材が、曲面を有するパイプ形状に形成
   されているとともに、複数本が横並びに敷設されており
   、さらに、パイプ中空部に供給された流体がそのパイプ
   壁に開設されている吹出口から相隣るパイプ曲面に吹き
   付けられるようにそれぞれ構成されていることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ３、流れ層形成部材に開設される吹出口が、相隣る流れ
   層形成部材同士において交互に配設されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載の搬送装置。