JPH0196842A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光磁気メモリー、光磁気記録表示素子などに
利用される光磁気記録媒体に関するものである。

〔従来の技術〕

光磁気メモリーや光磁気記録表尿素子として膜面と垂直
方向に磁化容易軸を有し、円形酸は任意の形状の反転磁
区を作成することにより情報を記録し、磁気カー効果な
どの磁気光学効果を利用して記録された情報を読み出す
薄膜状の光磁気記録媒体が使用されている。

一般に磁化容易軸が膜面と垂直な方向に存在する強磁性
薄膜においては、例えばレーザー等の光ビームを照射す
ることにより、Ｓ極あるいはＮ極に一様に磁化された膜
面内の一様磁化極性と、逆向きの磁極をもつ小さな反転
磁区を照射領域内に作成することができる。この反転磁
区の有無をｒｌＪ、ｒＯＪに対応させて情報を記録する
ことにより、このような強磁性薄膜を高密度の磁気記録
媒体として使用することができる。このように記録され
た情報は磁気光学効果を利用して読み出すことが可能で
ある。

このような強磁性薄膜のうち、室温下において大きな保
磁力を有し、かつキューリー温度又は、磁気的補償温度
が比較的室温に近い薄膜は、キューリー温度又は、磁気
的補償温度を利用して光ビームにより任意の位置に反転
磁区を作ることによって、情報を記録させることができ
るためビームアドレッサブルファイルとして使用されて
いる。

膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、高密度の磁気記
録が可能であってビームアドレソサプルファイルとして
使用可能な強磁性薄膜としては、Ｄｙ−Ｆｅ、　Ｔｂ−
Ｆｅ−、ｒｂ−Ｆｅ−Ｇｏ、Ｔｂ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｇｏ等
の多元系非晶質合金薄膜が知られている。これらの合金
薄膜は、キューリー温度が６０〜２００℃と低いために
キューリー温度を利用して、書込みが可能であり、又室
温条件下において幅広い組成範囲にわたって数ｋＯ，と
いう大きな保磁力を有している。又記録媒体として使用
するに際して組成的に特別に高精度の製造条件下で非晶
質薄膜を作成する必要がなく、製造技術が比較的容易で
あって製作上での歩溜りもよくなる。

しかしこれらの非晶質薄膜は特性上いずれも表面が腐食
され易いという欠点があり、大気中に長時間放置してお
くと表面層が腐食され、組成的に変質し易いという欠点
がある。

本出願人は既に、この腐食性を改善した高耐食性のもの
として、Ｃｒを添加した薄膜を提案した（特開昭６１−
８４００４号）。

〔発明が解決すべき問題点〕

本発明者は、引続いて、従来具備している利点をそのま
ま具備させ、且つ耐食性の更に優れた非晶質薄膜を提供
すべ（鋭意研究した。

〔問題点を解決するための手段〕

その結果、本発明の光磁気記録媒体を、膜面と垂直な方
向に磁化容易軸を有する非晶質合金薄膜において、該合
金薄膜中にＰが２〜８原子％含有されていることを特徴
とするように構成したものである。

〔作　用〕

本発明の光磁気記録媒体膜である非晶質合金薄膜は、膜
面と垂直な方向に磁化容易軸を有する公知のもの、例え
ば、Ｄｙ　　Ｆｅｓ　Ｔｂ　　Ｆｅ、　Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃ
ｏ。

Ｔｂ　−Ｄｙ　−Ｆｅ　−Ｃｏ等の希土類−遷移金属系
のものにおいて、該合金薄膜中にＰが２に８原子％含有
されている。このＰは、合金薄膜に優れた耐食性を付与
するためのものであり、この量が２原子％未満では、上
記Ｐを含有させた効果が希薄となり、一方、８原子％を
超えると、耐食性の優れた光磁気記録媒体が得られるが
、垂直磁化条件を満足するものが得られ難くなり、数ｋ
ｏｅの保磁力も得られなくなることがある。また、この
場合、垂直磁化条件Ｋｕ＞２πＭｓ”（Ｋｕ　　：磁気
異方性定数、ＭＳ：飽和磁化）は満足出来てもカー回転
角が小さくなり過ぎてしまって所定の特性を得ることが
出来ない。

本発明の光磁気記録媒体は、単独に単層の薄膜として使
用するのみならず、その表面を被うように公知の非晶質
合金薄膜を適用し２層構造として使用することもできる
。

本発明の光磁気記録媒体膜を製造する際には、ソーダガ
ラス、石英、シリコン、ガーネ・ノド、合成樹脂等の基
板を使用し、スパッタリング法、真空蒸着法などにより
薄膜状の光磁気記録媒体を作成することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を比較例と共に説明する。

実施例１ 水冷された、直径５０鶴、厚さ０．３籠のソーダ珪酸ガ
ラス基板上に、第１表に示す成分組成を有する光磁気記
録媒体薄膜を約１０００人の厚みにスパッタリング法で
作成した。この際の成膜条件はいずれの試験においても
次の通りであった。

スパッタガス（Ａｒ）圧　　３〜８Ｐａスパツタ電力　
　　　−５０Ｗ ターゲツト直径　　　　　６ｃｍ 得られた薄膜は切断し、各々、組成分析（所望組成の確
認、ＥＰＭＡ分析と化学分析）および耐食性評価に供し
た。耐食性評価は、温度２５℃のＩＮ−ＮａＣｊ２水溶
液中に第１表に示す時間浸漬した薄膜に照射した５１の
レーザー光の反射レーザー光の電力を測定し、反射レー
ザー光の電力と照射レーザー光の電力（５ｍＷ）との比
である反射率を算定することにより行なった。得られた
結果を第１表に示す。なお、第１表中の試ｆｉｋ２−１
および回連４−１の薄膜をカーヒステリシスループ測定
に供し、前者についての結果を第１図に示す。後者の結
果も第１図と同様であった。

〔発明の効果〕

以上から明らかなように、本発明は、膜面と垂直方向に
磁化容易軸を有し、室温下で大きな保磁力と室温に近い
キューリー温度を具備し、また、優れた光再生特性を有
し、さらに耐食性が極めて優れた光磁気記録媒体を、厳
しくない製造条件で容易に製造、提供することができる
。

従って、本発明の光磁気記録媒体は、光ビーム釘型磁気
ヘッド、熱ペン、電子ビームなどを用いて情報を書き込
み、カー効果を利用して書き込まれた情報を読み出し、
所謂ビームアドレッサブルファイルメモリ装置として使
用して、高密度記憶が可能であり、且つ長時間にわたっ
て動作特性が安定した長安定寿命特性を実現可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光磁気記録媒体の実施例の試験寛２−
１のカーヒステリシスループを示す図である。 特許出願人　住友金属鉱山株式会社 （ほか１名）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質合
   金薄膜において、該合金薄膜中にＰが２〜８原子％含有
   されていることを特徴とする光磁気記録媒体。