JPH0198162U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0198162U JPH0198162U JP19248387U JP19248387U JPH0198162U JP H0198162 U JPH0198162 U JP H0198162U JP 19248387 U JP19248387 U JP 19248387U JP 19248387 U JP19248387 U JP 19248387U JP H0198162 U JPH0198162 U JP H0198162U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- magnetron cathode
- coaxial magnetron
- grid
- magnets
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の一部切欠要部正断面
図、第２図は第１図の―断面図、第３図は第
一の従来の技術例の説明図、第４図は第二の従来
の技術例の説明図である。 １……ターゲツト、２……磁石、３……グリツ
ド、３ａ……導電棒、３ｂ……支持環、５……支
持円筒、６……密封槽、６ａ……貫通孔。
図、第２図は第１図の―断面図、第３図は第
一の従来の技術例の説明図、第４図は第二の従来
の技術例の説明図である。 １……ターゲツト、２……磁石、３……グリツ
ド、３ａ……導電棒、３ｂ……支持環、５……支
持円筒、６……密封槽、６ａ……貫通孔。
Claims (1)
- 筒状のターゲツトの内側に複数の磁石が該ター
ゲツトの長手方向に間隔を有して配設されてなる
同軸マグネトロンカソードにおいて、前記ターゲ
ツトの外周を囲撓する上下に長い複数の導電棒を
所定ピツチに備えたグリツドを配設したことを特
徴とする同軸マグネトロンカソード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19248387U JPH0198162U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19248387U JPH0198162U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198162U true JPH0198162U (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=31483340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19248387U Pending JPH0198162U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0198162U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962385A (ja) * | 1972-10-20 | 1974-06-17 |
-
1987
- 1987-12-17 JP JP19248387U patent/JPH0198162U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962385A (ja) * | 1972-10-20 | 1974-06-17 |