JPH0198165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0198165U JPH0198165U JP19258287U JP19258287U JPH0198165U JP H0198165 U JPH0198165 U JP H0198165U JP 19258287 U JP19258287 U JP 19258287U JP 19258287 U JP19258287 U JP 19258287U JP H0198165 U JPH0198165 U JP H0198165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- lower side
- groove
- pallet
- side groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案に係る薄膜形成用パレツトの一
実施例を示す全体斜視図、第２図はそのデイスク
装着用円形開口部の周縁構造を示す説明図、第３
図はその正面断面図、第４図はその側断面図、第
５図は従来技術の一例を示す断面図、第６図Ａ，
Ｂはその温度変化時のデイスク支持状態を示す説
明図である。 １２……デイスク、２０……パレツト、２４…
…円形開口部、２６……下辺溝部、２８……上辺
段部。
実施例を示す全体斜視図、第２図はそのデイスク
装着用円形開口部の周縁構造を示す説明図、第３
図はその正面断面図、第４図はその側断面図、第
５図は従来技術の一例を示す断面図、第６図Ａ，
Ｂはその温度変化時のデイスク支持状態を示す説
明図である。 １２……デイスク、２０……パレツト、２４…
…円形開口部、２６……下辺溝部、２８……上辺
段部。
Claims (1)
- デイスクを装着するための円形開口部の周縁に
、デイスクを支える下辺溝部とデイスクの倒れを
防ぐ上辺段部とを形成し、デイスクが自立した状
態で搬送可能なパレツトにおいて、前記下辺溝部
の断面形状を底部が平坦で両側壁はデイスクに対
してクリアランスを持つようにした、デイスクを
その外周面で前記溝部の底面で支持する構造とし
た薄膜形成用パレツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19258287U JPH0198165U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19258287U JPH0198165U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198165U true JPH0198165U (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=31483432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19258287U Pending JPH0198165U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0198165U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0352815U (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-22 | ||
| KR20000036611A (ko) * | 2000-03-23 | 2000-07-05 | 신후철 | 충전제를 이용한 씨디 보관장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4589369A (en) * | 1984-03-27 | 1986-05-20 | Leybold Heraeus Gmbh | Device for holding a substrate |
| JPH01119669A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Seiko Epson Corp | 基板保持機構 |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19258287U patent/JPH0198165U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4589369A (en) * | 1984-03-27 | 1986-05-20 | Leybold Heraeus Gmbh | Device for holding a substrate |
| JPH01119669A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Seiko Epson Corp | 基板保持機構 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0352815U (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-22 | ||
| KR20000036611A (ko) * | 2000-03-23 | 2000-07-05 | 신후철 | 충전제를 이용한 씨디 보관장치 |