JPH0352815U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0352815U JPH0352815U JP11217189U JP11217189U JPH0352815U JP H0352815 U JPH0352815 U JP H0352815U JP 11217189 U JP11217189 U JP 11217189U JP 11217189 U JP11217189 U JP 11217189U JP H0352815 U JPH0352815 U JP H0352815U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- disk
- holding part
- groove
- film
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図ないし第３図、および第５図ないし第７
図はそれぞれ本考案実施例、および従来の保持具
の構造を示すものであり、第１図、第５図は側面
図、第２図、第６図はそれぞれ第１図、第５図の
縦断面図、第３図、第７図はデイスク基板装荷状
態の部分拡大断面図第４図は保持具全体の外形斜
視図である。図において、 １……ホルダ板、２……基板装荷穴、３……溝
、３１……溝底面、３２……溝側面、４……基板
保持部、５……デイスク基板。
図はそれぞれ本考案実施例、および従来の保持具
の構造を示すものであり、第１図、第５図は側面
図、第２図、第６図はそれぞれ第１図、第５図の
縦断面図、第３図、第７図はデイスク基板装荷状
態の部分拡大断面図第４図は保持具全体の外形斜
視図である。図において、 １……ホルダ板、２……基板装荷穴、３……溝
、３１……溝底面、３２……溝側面、４……基板
保持部、５……デイスク基板。
Claims (1)
- デイスク基板上に磁気記録層を成形するスパツ
タ成膜工程で用いる磁気デイスクの成膜用保持具
であり、直立姿勢のホルダ板に穿孔した基板装荷
穴の下部内周面に沿つて溝付きの基板保持部を設
け、該保持部の溝内に１枚ずつデイスク基板を落
とし込んで垂直姿勢に保持するものにおいて、前
記保持部の溝底面をデイスク基板の板厚よりも若
干幅広な平坦面と成したことを特徴とする磁気デ
イスクの成膜用保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989112171U JP2510127Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 磁気ディスクの成膜用保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989112171U JP2510127Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 磁気ディスクの成膜用保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352815U true JPH0352815U (ja) | 1991-05-22 |
| JP2510127Y2 JP2510127Y2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=31660621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989112171U Expired - Lifetime JP2510127Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 磁気ディスクの成膜用保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510127Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007213730A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tdk Corp | 基板保持装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63259838A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | Showa Denko Kk | 磁性薄膜記録媒体の製造方法および製造装置 |
| JPH0198165U (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-30 |
-
1989
- 1989-09-26 JP JP1989112171U patent/JP2510127Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63259838A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | Showa Denko Kk | 磁性薄膜記録媒体の製造方法および製造装置 |
| JPH0198165U (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-30 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007213730A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tdk Corp | 基板保持装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2510127Y2 (ja) | 1996-09-11 |