JPH0199100U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0199100U JPH0199100U JP19550387U JP19550387U JPH0199100U JP H0199100 U JPH0199100 U JP H0199100U JP 19550387 U JP19550387 U JP 19550387U JP 19550387 U JP19550387 U JP 19550387U JP H0199100 U JPH0199100 U JP H0199100U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- rotating arm
- guide rail
- shutter member
- irradiation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 4
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の閉じ状態の破断
側面図、第２図はその開き状態の側面図、第３図
は同じくその概略正面図、第４図は従来例の閉じ
状態の破断側面図、第５図はその開き状態の側面
図である。 １……真空容器、１ａ……走査管部、３……照
射窓、４……シヤツタ部材、５……ガイドレール
、７……ガイドローラ、１３……回動アーム、１
５……駆動源、１６……連結リンク。
側面図、第２図はその開き状態の側面図、第３図
は同じくその概略正面図、第４図は従来例の閉じ
状態の破断側面図、第５図はその開き状態の側面
図である。 １……真空容器、１ａ……走査管部、３……照
射窓、４……シヤツタ部材、５……ガイドレール
、７……ガイドローラ、１３……回動アーム、１
５……駆動源、１６……連結リンク。
Claims (1)
- 電子線照射装置の電子線を取り出す下向きの照
射窓の下方に略水平に設けたガイドレールと、こ
のガイドレールの長手方向に離れた複数のガイド
ローラを有しこれらガイドローラで前記ガイドレ
ールに移動自在に載せられて前記照射窓を開閉す
るシヤツタ部材と、水平軸心回りに回動自在に支
持した回動アームと、この回動アームと前記シヤ
ツタ部材とに両端が回動自在に連結された連結リ
ンクと、前記回動アームを回動駆動する駆動源と
を備えた電子線照射装置のビームシヤツタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19550387U JPH0199100U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19550387U JPH0199100U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0199100U true JPH0199100U (ja) | 1989-07-03 |
Family
ID=31486176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19550387U Pending JPH0199100U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0199100U (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19550387U patent/JPH0199100U/ja active Pending