JPH02100250A - 静電偏向器 - Google Patents
静電偏向器Info
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- JPH02100250A JPH02100250A JP63250818A JP25081888A JPH02100250A JP H02100250 A JPH02100250 A JP H02100250A JP 63250818 A JP63250818 A JP 63250818A JP 25081888 A JP25081888 A JP 25081888A JP H02100250 A JPH02100250 A JP H02100250A
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、電子線やイオンビームなどの荷電ビームを
偏向させるための偏向器に係り、特に電子線露光装置、
イオン注入装置、電子顕微鏡等に用いられる静電偏向器
に関する。
偏向させるための偏向器に係り、特に電子線露光装置、
イオン注入装置、電子顕微鏡等に用いられる静電偏向器
に関する。
従来、電子線露光装置、イオン注入装置、電子顕微鏡等
において、高周波の走査周波数を用いる場合や、高精度
の偏向が必要な場合には、静電偏向器が使用され、例え
ば第４図、第５図に示すようなものがある。第４図にお
いては４個の扇形電極１が、円周上に隙間２を置いて配
置され、それぞれの扇形電極１は、絶縁物３によって、
円形の導電体の保持部材４に固着されている。そして絶
縁物３は、扇形電極ｌの中央部を通過する荷電ビームが
漏洩して、°これによってチャージアップされるのを防
ぐため、荷電ビームが出る扇形電極１の中央部から見た
とき、そこから見えないような位置に置き、その外方に
導電体の保持部材４を配置する。また第５図に示すよう
に、円形に配置された扇形電極５が、互いに隣合う側面
に凹凸部６を設け、凹凸部６の凹部と凸部とを噛み合わ
せて、荷電ビームが扇形電極５の隙間から漏洩しないよ
うにし、電極５の外側に絶縁部材７を配置して、絶縁部
材７へのチャージアップを防ぐようにしたものもある。
において、高周波の走査周波数を用いる場合や、高精度
の偏向が必要な場合には、静電偏向器が使用され、例え
ば第４図、第５図に示すようなものがある。第４図にお
いては４個の扇形電極１が、円周上に隙間２を置いて配
置され、それぞれの扇形電極１は、絶縁物３によって、
円形の導電体の保持部材４に固着されている。そして絶
縁物３は、扇形電極ｌの中央部を通過する荷電ビームが
漏洩して、°これによってチャージアップされるのを防
ぐため、荷電ビームが出る扇形電極１の中央部から見た
とき、そこから見えないような位置に置き、その外方に
導電体の保持部材４を配置する。また第５図に示すよう
に、円形に配置された扇形電極５が、互いに隣合う側面
に凹凸部６を設け、凹凸部６の凹部と凸部とを噛み合わ
せて、荷電ビームが扇形電極５の隙間から漏洩しないよ
うにし、電極５の外側に絶縁部材７を配置して、絶縁部
材７へのチャージアップを防ぐようにしたものもある。
ところでこのような従来の静電偏向器にあワては、第４
図のものはチャージアップされるのを防ぐため、荷電ビ
ームが出る扇形電極１の中央部から見たとき、そこから
見えないような位置で、扇形電極１の外方に絶縁部材３
を置き、さらにその外側に導電体の保持部材４を配置す
るので、一番外側の保持部材４は、扇形電極１に比べて
、かなり大きいものになるという問題があった。このよ
うに形状が大きくなることを回避しようとして、第５図
に示すような扇形電極５を用いると、この場合は大きさ
は小さくなるが、扇形電極５の側面に凹凸部６を設けな
ければならないので、その加工が複雑になるという問題
がある。
図のものはチャージアップされるのを防ぐため、荷電ビ
ームが出る扇形電極１の中央部から見たとき、そこから
見えないような位置で、扇形電極１の外方に絶縁部材３
を置き、さらにその外側に導電体の保持部材４を配置す
るので、一番外側の保持部材４は、扇形電極１に比べて
、かなり大きいものになるという問題があった。このよ
うに形状が大きくなることを回避しようとして、第５図
に示すような扇形電極５を用いると、この場合は大きさ
は小さくなるが、扇形電極５の側面に凹凸部６を設けな
ければならないので、その加工が複雑になるという問題
がある。
また第４図、第５図の場合共に、電極を精度よく組立て
るためには、測定器具を用い電極の位置を精密に測定し
ながら、組立を行う必要があり、組立に熟練と時間を要
するという問題があった。
るためには、測定器具を用い電極の位置を精密に測定し
ながら、組立を行う必要があり、組立に熟練と時間を要
するという問題があった。
この発明は、このような従来の課題に着目してなされた
もので、形状が小さくてすみ、加工が簡単で、組立に熟
練と時間を要しない静電偏向器を提供することをその目
的とする。
もので、形状が小さくてすみ、加工が簡単で、組立に熟
練と時間を要しない静電偏向器を提供することをその目
的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記の課題を解決するための手段として、そ
の構成を、円形に配列した複数の電極と、該複数の電極
の境界部にそれぞれの電極にまたがって穿設された孔部
と、該孔部に嵌入する棒状部材と、前記電極の外周に該
電極を保持する絶縁部材とを設けることとした。
の構成を、円形に配列した複数の電極と、該複数の電極
の境界部にそれぞれの電極にまたがって穿設された孔部
と、該孔部に嵌入する棒状部材と、前記電極の外周に該
電極を保持する絶縁部材とを設けることとした。
次に本発明の詳細な説明する。静電偏向器は外周に絶縁
部材があって、その内側に円形に配列した複数の電極が
配設される。それぞれの電極の境界部には、それぞれの
電極にまたがる孔部が設けられ、該孔部に棒状部材を嵌
入する。これによって電極内部を通過する荷電ビームが
、電極の隙間を通過して、外周部の絶縁部材に到達する
ことがなく、また加工が容易で、組立も極めて簡単に行
われる。
部材があって、その内側に円形に配列した複数の電極が
配設される。それぞれの電極の境界部には、それぞれの
電極にまたがる孔部が設けられ、該孔部に棒状部材を嵌
入する。これによって電極内部を通過する荷電ビームが
、電極の隙間を通過して、外周部の絶縁部材に到達する
ことがなく、また加工が容易で、組立も極めて簡単に行
われる。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の構成図で、円形に配列した４個の扇形
電極１１と、各扇形電極１１の境界部にそれぞれの電極
１１にまたがって穿設された孔部１２と、孔部１２に嵌
入する棒状体１３と、扇形電極１１の外周に設けられて
円形に配列した扇形電極１１を保持する絶縁体１４とを
設ける。
電極１１と、各扇形電極１１の境界部にそれぞれの電極
１１にまたがって穿設された孔部１２と、孔部１２に嵌
入する棒状体１３と、扇形電極１１の外周に設けられて
円形に配列した扇形電極１１を保持する絶縁体１４とを
設ける。
実際に組立を行うには、第２図、第３図に示すように、
円環状の絶縁体１４の内側に、４個の扇形電極１１を円
形に配列する。なお扇形電極１１は、円筒形状の電極材
料を４分割するため、円筒形の円周に沿って９０°の間
隔で、円筒形の半径方向のほぼ中央部に孔を明け、その
孔を中心とする溝によって電極材料を分割して得られた
ものであるから、分割前の隣り合った電極が、分割後も
同じ位置となるように配列するように組合わされる。さ
らに上記のようにして扇形電極１１の境界部に明けられ
ている４つの孔１２に、孔径と同寸法の４本の軸１５を
嵌入する。そして電極１１を絶縁体１４に固定する。組
立後孔１２に挿入された軸１５を抜く。この静電偏向器
を電子顕微鏡等に用いる場合には、導体部材１６に、孔
１２よりも細く、電極１１の隙間より太い棒状体１３を
立設し、この棒状体１３に孔１２が接触しないように電
極を配置し、上下の導体部材１６．１７によって固定し
保持される。
円環状の絶縁体１４の内側に、４個の扇形電極１１を円
形に配列する。なお扇形電極１１は、円筒形状の電極材
料を４分割するため、円筒形の円周に沿って９０°の間
隔で、円筒形の半径方向のほぼ中央部に孔を明け、その
孔を中心とする溝によって電極材料を分割して得られた
ものであるから、分割前の隣り合った電極が、分割後も
同じ位置となるように配列するように組合わされる。さ
らに上記のようにして扇形電極１１の境界部に明けられ
ている４つの孔１２に、孔径と同寸法の４本の軸１５を
嵌入する。そして電極１１を絶縁体１４に固定する。組
立後孔１２に挿入された軸１５を抜く。この静電偏向器
を電子顕微鏡等に用いる場合には、導体部材１６に、孔
１２よりも細く、電極１１の隙間より太い棒状体１３を
立設し、この棒状体１３に孔１２が接触しないように電
極を配置し、上下の導体部材１６．１７によって固定し
保持される。
これによって電極の中央部において発生する荷電ビーム
が、電極１１の隙間から絶縁体１４の方へ漏洩しようと
しても、棒状体１３があるため絶縁体１４の方への漏洩
が回避され、絶縁体１４のチャージアップが起こること
はない。また隣接する扇形型＠１１の側面には、孔１２
を設けるだけであるから、側面の加工も簡単であり、軸
１５と上下の導体部材１６．１７によって、容易に組立
を行うことができるので１組立が極めて簡単となる。
が、電極１１の隙間から絶縁体１４の方へ漏洩しようと
しても、棒状体１３があるため絶縁体１４の方への漏洩
が回避され、絶縁体１４のチャージアップが起こること
はない。また隣接する扇形型＠１１の側面には、孔１２
を設けるだけであるから、側面の加工も簡単であり、軸
１５と上下の導体部材１６．１７によって、容易に組立
を行うことができるので１組立が極めて簡単となる。
なお上記の実施例では電極を４個の扇形電極としたが、
電極の数は４個に限らず、２個、３個、６個などでもよ
く、その数には限定されず、また電極の形状は扇形でな
くてもよい。
電極の数は４個に限らず、２個、３個、６個などでもよ
く、その数には限定されず、また電極の形状は扇形でな
くてもよい。
（発明の効果）
以上説明したように、この発明によれば、円形に配列し
た複数の電極と、該複数の電極の境界部にそれぞれの電
極にまたがって穿設された孔部と、該孔部に嵌入する棒
状部材と、前記電極の外周に設けられ、該電極を保持す
る絶縁部材とを設けたので、静電偏向器を保持する絶縁
体が、チャージアップを起こすのを防止しながら、全体
の大きさを小さくし、また加工が容易で組立も簡単な静
電偏向器を得ることができる。
た複数の電極と、該複数の電極の境界部にそれぞれの電
極にまたがって穿設された孔部と、該孔部に嵌入する棒
状部材と、前記電極の外周に設けられ、該電極を保持す
る絶縁部材とを設けたので、静電偏向器を保持する絶縁
体が、チャージアップを起こすのを防止しながら、全体
の大きさを小さくし、また加工が容易で組立も簡単な静
電偏向器を得ることができる。
第１図は本発明の実施例の構成を示す実施例の平面図、
第２図は実施例の構成を示す断面図、第３図は組立の状
態を示す斜視図、第４図は従来の静電偏向器を示す平面
図、第５図は従来の静電偏向器で大きさをコンパクトに
したものの平面図である。 １１・・・（扇形）電極 １２・・・（電極の）孔部 １３・・・棒状体 １４・・・絶縁体（絶縁部材）
第２図は実施例の構成を示す断面図、第３図は組立の状
態を示す斜視図、第４図は従来の静電偏向器を示す平面
図、第５図は従来の静電偏向器で大きさをコンパクトに
したものの平面図である。 １１・・・（扇形）電極 １２・・・（電極の）孔部 １３・・・棒状体 １４・・・絶縁体（絶縁部材）
Claims (1)
- 円形に配列した複数の電極と、該複数の電極の境界部に
それぞれの電極にまたがって穿設された孔部と、該孔部
に嵌入する棒状部材と、前記電極の外周に該電極を保持
する絶縁部材とを設けたことを特徴とする静電偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250818A JP2816849B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 静電偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250818A JP2816849B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 静電偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02100250A true JPH02100250A (ja) | 1990-04-12 |
| JP2816849B2 JP2816849B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=17213494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63250818A Expired - Fee Related JP2816849B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 静電偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2816849B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0254153U (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-19 | ||
| JP2007287365A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法 |
| US7473905B2 (en) | 2005-10-04 | 2009-01-06 | Jeol Ltd. | Electrostatic deflector |
| EP1383158A3 (en) * | 2002-07-16 | 2010-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Charged-particle beam lens |
| WO2021175678A1 (en) * | 2020-03-06 | 2021-09-10 | Asml Netherlands B.V. | Beam manipulator in charged particle-beam exposure apparatus |
| CN116053103A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-05-02 | 上海精测半导体技术有限公司 | 静电偏转器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023126510B3 (de) | 2023-09-28 | 2025-02-13 | Carl Zeiss Multisem Gmbh | Monolithische Multi-Aperturplatte für ein Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem, Verfahren zur Herstellung einer monolithischen Multi-Aperturplatte, und Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem mit einer monolithischen Multi-Aperturplatte |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP63250818A patent/JP2816849B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0254153U (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-19 | ||
| EP1383158A3 (en) * | 2002-07-16 | 2010-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Charged-particle beam lens |
| EP2434522A1 (en) * | 2002-07-16 | 2012-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-charged beam lens, charged-particle beam exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| US7473905B2 (en) | 2005-10-04 | 2009-01-06 | Jeol Ltd. | Electrostatic deflector |
| JP2007287365A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法 |
| WO2021175678A1 (en) * | 2020-03-06 | 2021-09-10 | Asml Netherlands B.V. | Beam manipulator in charged particle-beam exposure apparatus |
| CN116053103A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-05-02 | 上海精测半导体技术有限公司 | 静电偏转器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2816849B2 (ja) | 1998-10-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |