JPH028355Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH028355Y2 JPH028355Y2 JP8167784U JP8167784U JPH028355Y2 JP H028355 Y2 JPH028355 Y2 JP H028355Y2 JP 8167784 U JP8167784 U JP 8167784U JP 8167784 U JP8167784 U JP 8167784U JP H028355 Y2 JPH028355 Y2 JP H028355Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- multipolar
- teeth
- electron beam
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子線露光装置等の静電偏向器に使用
して最適な多極電極に関する。
して最適な多極電極に関する。
電子線露光装置等においては、電子線を高速に
且つ精密に偏向する必要があり、その為の偏向器
として、最近、光軸から等しい距離にある複数の
電極を交互にＸ方向偏向電極、Ｙ方向偏向電極と
し、このＸ方向偏向電極とＹ方向偏向電極をＸ
軸、Ｙ軸から45度の角度位置にある軸に対して対
称な位置関係に配置することにより広範囲に亙つ
て収差を小さくしたものが提案されている（特開
昭57−202630号参照）。
且つ精密に偏向する必要があり、その為の偏向器
として、最近、光軸から等しい距離にある複数の
電極を交互にＸ方向偏向電極、Ｙ方向偏向電極と
し、このＸ方向偏向電極とＹ方向偏向電極をＸ
軸、Ｙ軸から45度の角度位置にある軸に対して対
称な位置関係に配置することにより広範囲に亙つ
て収差を小さくしたものが提案されている（特開
昭57−202630号参照）。
本考案はこの様な静電偏向器に使用して最適な
具体的多極電極を提供することを目的としたもの
である。
具体的多極電極を提供することを目的としたもの
である。
本考案は凹面側に１つ以上の歯部を有する曲面
体形状の電極２つ以上を互いの歯部が交互に入り
込む様に絶縁して中空円筒形状に組み合せて成し
た新規な多極電極を提供するものである。
体形状の電極２つ以上を互いの歯部が交互に入り
込む様に絶縁して中空円筒形状に組み合せて成し
た新規な多極電極を提供するものである。
第１図ａ，ｂ及びｃは本考案の一実施例を示し
た多極電極の概略図で、該多極電極は全体の形と
しては中空円筒形であるが、第１図ａでは便宜上
その一部分を示した。第１図ｂは該第１図ａのＡ
−Ａ断面図、第１図ｃは該第１図ａのＢ−Ｂ断面
図で、夫々全周を示した。
た多極電極の概略図で、該多極電極は全体の形と
しては中空円筒形であるが、第１図ａでは便宜上
その一部分を示した。第１図ｂは該第１図ａのＡ
−Ａ断面図、第１図ｃは該第１図ａのＢ−Ｂ断面
図で、夫々全周を示した。
図中４ａ，４ｂ及び５ａ，５ｂは夫々円柱状金
属を軸方向に２分割し、夫々分割されたものの内
面に、軸方向に適宜間隔に適宜数の溝を作ること
により作成された電極体である。該電極体は、
夫々第２図（例として４ａを示した）に示す様
に、内側に同一の形状で適宜間隔を有する５つの
歯部T11，T12，T13，T14，T15，T21，T22，
T23，T24，T25，T31，T32，T33，T34，T35，
T41，T42，T43，T44，T45を持つ全く同じ形状に
作られたもので、４ａと４ｂは絶縁体６ａ，６ｂ
を介して向い合され、５ａと５ｂは絶縁体７ａ，
７ｂを介して向い合される。そして電極５ａ，５
ｂを電極４ａ，４ｂに対して上下を逆にして、向
い合された４ａ，４ｂの各歯の間に５ａ，５ｂの
各歯が入り込む様にリング状絶縁体８を介して組
込む。この時、電極４ａ，４ｂと５ａ，５ｂが組
合わされた多極電極の端部の周囲に夫々支持用の
リング状絶縁体９ａ，９ｂを夫々嵌挿させる。
属を軸方向に２分割し、夫々分割されたものの内
面に、軸方向に適宜間隔に適宜数の溝を作ること
により作成された電極体である。該電極体は、
夫々第２図（例として４ａを示した）に示す様
に、内側に同一の形状で適宜間隔を有する５つの
歯部T11，T12，T13，T14，T15，T21，T22，
T23，T24，T25，T31，T32，T33，T34，T35，
T41，T42，T43，T44，T45を持つ全く同じ形状に
作られたもので、４ａと４ｂは絶縁体６ａ，６ｂ
を介して向い合され、５ａと５ｂは絶縁体７ａ，
７ｂを介して向い合される。そして電極５ａ，５
ｂを電極４ａ，４ｂに対して上下を逆にして、向
い合された４ａ，４ｂの各歯の間に５ａ，５ｂの
各歯が入り込む様にリング状絶縁体８を介して組
込む。この時、電極４ａ，４ｂと５ａ，５ｂが組
合わされた多極電極の端部の周囲に夫々支持用の
リング状絶縁体９ａ，９ｂを夫々嵌挿させる。
斯くの如くして組立てた多極電極を例えば偏向
電極として電子線露光装置の如き電子線装置の筐
体に組込み、該多極電極の各電極の背部に設けら
れた端子（図示せず）に電圧源（図示せず）から
適宜な電圧を印加すれば（例えば、４ａ，４ｂに
夫々＋Ｘボルト、−Ｘボルト、５ａ，５ｂに夫々
＋Ｙボルト、−Ｙボルト）、該多極電極の中心部を
通る電子ビームが適宜偏向される。
電極として電子線露光装置の如き電子線装置の筐
体に組込み、該多極電極の各電極の背部に設けら
れた端子（図示せず）に電圧源（図示せず）から
適宜な電圧を印加すれば（例えば、４ａ，４ｂに
夫々＋Ｘボルト、−Ｘボルト、５ａ，５ｂに夫々
＋Ｙボルト、−Ｙボルト）、該多極電極の中心部を
通る電子ビームが適宜偏向される。
尚、前記実施例では４極の多極電極を示した
が、各電極を適宜分割して別の多極電極を作る様
にしてもよい。この場合、各電極間には絶縁体が
嵌挿される。
が、各電極を適宜分割して別の多極電極を作る様
にしてもよい。この場合、各電極間には絶縁体が
嵌挿される。
本考案によれば、２つの円柱状金属を夫々軸対
称に等分割し、該分割されたものの凹面側の軸方
向に溝を作ることにより電極体を作り、該電極を
組立てたものなので、各電極の加工上の誤差が極
めて少なく、且つ各電極の組立上の誤差も極めて
少なく出来るので、光軸から各電極迄の距離や各
電極間の距離を精密に揃えることが出来、電子線
露光装置等において、電子線を高速に且つ精密に
偏向することが出来る。
称に等分割し、該分割されたものの凹面側の軸方
向に溝を作ることにより電極体を作り、該電極を
組立てたものなので、各電極の加工上の誤差が極
めて少なく、且つ各電極の組立上の誤差も極めて
少なく出来るので、光軸から各電極迄の距離や各
電極間の距離を精密に揃えることが出来、電子線
露光装置等において、電子線を高速に且つ精密に
偏向することが出来る。
第１図ａ，ｂ，ｃは本考案の一実施例を示した
多極電極の概略図、第２図はその一部詳細図を示
したものである。 ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ：電極、６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂ：絶縁体、８，９ａ，９ｂ：リング状
絶縁体。
多極電極の概略図、第２図はその一部詳細図を示
したものである。 ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ：電極、６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂ：絶縁体、８，９ａ，９ｂ：リング状
絶縁体。
Claims (1)
- 凹面側に１つ以上の歯部を有する曲面体形状の
電極体２つ以上を互いの歯部が交互に入り込む様
に絶縁して中空円筒形状に組み合せて成した多極
電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167784U JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167784U JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193656U JPS60193656U (ja) | 1985-12-23 |
| JPH028355Y2 true JPH028355Y2 (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=30628680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8167784U Granted JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193656U (ja) |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP8167784U patent/JPS60193656U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60193656U (ja) | 1985-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900006173B1 (ko) | 음극선관장치 | |
| JPH03152834A (ja) | カラー受像管用電子銃 | |
| GB1514235A (en) | Cathode ray tube distortion correction | |
| IT9020848A1 (it) | Cannone elettronico per tubi a raggi catodici a colori | |
| MX160063A (es) | Sistema de exhibicion mejorado para color | |
| JPS63105440A (ja) | カラ−ブラウン管用電子銃 | |
| EP0901146A3 (en) | Color cathode-ray tube | |
| JPH0312419B2 (ja) | ||
| JPH028355Y2 (ja) | ||
| US5051593A (en) | Electrostatic multipole lens for charged-particle beam | |
| EP0283941B1 (en) | Cathode ray tube having an electron gun constructed for readay refocusing of the electron beam | |
| JP5093831B2 (ja) | 静電偏向装置 | |
| US4682073A (en) | Electron optics for the electron beam generating system of a color picture tube | |
| JPH05334979A (ja) | 荷電ビーム用レンズ構体 | |
| JPH0765766A (ja) | 静電偏向器 | |
| JP2882412B2 (ja) | 電子ビーム露光装置 | |
| JPS6331480Y2 (ja) | ||
| JPH0744015B2 (ja) | インライン型電子銃 | |
| JPS6336923Y2 (ja) | ||
| KR900008617B1 (ko) | 촬 상 관 | |
| JPS58917Y2 (ja) | 多重極静電型電極の構造 | |
| SU743076A1 (ru) | Центрирующа пружина дл креплени электронно-оптической системы в горловине электронно-лучевой трубки | |
| JPH05266822A (ja) | カラー受像管装置 | |
| JPH04315735A (ja) | 複数ビームインライン電子銃 | |
| JPH033955Y2 (ja) |