JPH02102436A - レターデーション測定方法 - Google Patents
レターデーション測定方法Info
- Publication number
- JPH02102436A JPH02102436A JP25448388A JP25448388A JPH02102436A JP H02102436 A JPH02102436 A JP H02102436A JP 25448388 A JP25448388 A JP 25448388A JP 25448388 A JP25448388 A JP 25448388A JP H02102436 A JPH02102436 A JP H02102436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- light
- analyzer
- polarizer
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は各種材料のＷ屈折特性を測定する装置に関する
。
。
（従来の技術）
光学的な装置では材料の複屈折ｉ生が問題になる場合が
多（、またプラスデックシート等は延伸によって複屈折
性を帯びるので、複屈折の程度によって延伸度合を検出
し管理すことができる。このように色々な場合に材料の
複屈折特性を測定する必要が生じるが、アツベの屈折計
を用いるような方法は試料の形状に制限があり、測定操
作も面倒で、直読的に測定結果を表示するのが難しい。
多（、またプラスデックシート等は延伸によって複屈折
性を帯びるので、複屈折の程度によって延伸度合を検出
し管理すことができる。このように色々な場合に材料の
複屈折特性を測定する必要が生じるが、アツベの屈折計
を用いるような方法は試料の形状に制限があり、測定操
作も面倒で、直読的に測定結果を表示するのが難しい。
試料を偏光子とこれと直交させた検光子との間にはさみ
、白色光を入射させて透過光が呈する干渉色を見て干渉
色図表から試料のレターデーション（常光異常光の試料
内での光路長差）を求めると云った方法もあるが、実験
的な方法で精度も低く自動化も困難である。そこでより
精度良く、かつ自動的に複屈折特性を測定する方法が特
開昭６０−１３２４５号とか特開昭５２ ６５４８９号
等によって提案されている。これらの方法は単一波長の
直線偏光を試料に入射させ、試料を透過した回転偏光の
状態から試料のレターデーションを求めるものである。
、白色光を入射させて透過光が呈する干渉色を見て干渉
色図表から試料のレターデーション（常光異常光の試料
内での光路長差）を求めると云った方法もあるが、実験
的な方法で精度も低く自動化も困難である。そこでより
精度良く、かつ自動的に複屈折特性を測定する方法が特
開昭６０−１３２４５号とか特開昭５２ ６５４８９号
等によって提案されている。これらの方法は単一波長の
直線偏光を試料に入射させ、試料を透過した回転偏光の
状態から試料のレターデーションを求めるものである。
複屈折を起す試料では試料の光軸に垂直な方向に進行す
る偏光に対して最大屈折率を呈する偏光の偏波方向とそ
れと直交する最小屈折率を呈する偏光の偏波方向とがあ
り、上記最大屈折率および最小屈折率を主屈折率と呼び
これをｎｌ、ｎ２で表わし、試料の厚さをＴとするとレ
ターデーションＲｔはＴ（ｒ、１−ｎ２）で与えられる
。所で上述方法によって直接求まるのはＲｔ （ｎｌ−
ｎ２）ではなく、Ｒｔを波長で割ったときの端数、つま
り試料透過光における常光と異常光との位相差で、これ
は０から２πの間で変化しているだけでＲｔを一義的に
決めることができない。上記特開昭６０−１３２４５号
は試料の光の吸収係数を用い、透過光の減衰からＴを求
めてＲｔを決定している。特開昭５２−６５４８９号は
試料が薄くてレターデーションが半波長程度以下の場合
に適用されるものである。
る偏光に対して最大屈折率を呈する偏光の偏波方向とそ
れと直交する最小屈折率を呈する偏光の偏波方向とがあ
り、上記最大屈折率および最小屈折率を主屈折率と呼び
これをｎｌ、ｎ２で表わし、試料の厚さをＴとするとレ
ターデーションＲｔはＴ（ｒ、１−ｎ２）で与えられる
。所で上述方法によって直接求まるのはＲｔ （ｎｌ−
ｎ２）ではなく、Ｒｔを波長で割ったときの端数、つま
り試料透過光における常光と異常光との位相差で、これ
は０から２πの間で変化しているだけでＲｔを一義的に
決めることができない。上記特開昭６０−１３２４５号
は試料の光の吸収係数を用い、透過光の減衰からＴを求
めてＲｔを決定している。特開昭５２−６５４８９号は
試料が薄くてレターデーションが半波長程度以下の場合
に適用されるものである。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は試料の厚さに関係なく簡単な操作で試料のレタ
ーデーションが正確に測定できる装置を提供しようとす
るものである。
ーデーションが正確に測定できる装置を提供しようとす
るものである。
（課題を解決するための手段）
偏光方向を一定の角度で交わらせた偏光子と検光子との
間に試料を挿入し、試料と偏光子検光子結合体とを相対
的に回転させたときの回転角と偏光子、試料、検光子の
３者透過光強度との関係を二つの波長の光について測定
し、一つの波長の光についての上記測定結果を用いて算
出される多数のレターデーションの値と他の一つの波長
の光についての上記測定結果を用いて算出される多数の
レターデーションの値とから互いに最も近接した一組の
値を索出するようにした。
間に試料を挿入し、試料と偏光子検光子結合体とを相対
的に回転させたときの回転角と偏光子、試料、検光子の
３者透過光強度との関係を二つの波長の光について測定
し、一つの波長の光についての上記測定結果を用いて算
出される多数のレターデーションの値と他の一つの波長
の光についての上記測定結果を用いて算出される多数の
レターデーションの値とから互いに最も近接した一組の
値を索出するようにした。
く作用）
一つの波長の光によってレターデーションを算出するの
は従来の方法と同じである。この場合レターデーション
の値は計算上とびとびに無数の値が求まる。測定に用い
る波長が異ると二つの主屈折率が何れの波長においても
変らない場合でも試料内に含まれる波数が異るからＪ１
算上求まる無数のレターデーションの値も異ったものと
なるが、レターデーションの値は波長に関せず一定の筈
であるから、第１の波長におけるレターデーションの値
の群と第２の波長におけるレターデーションの値の群と
から互いに最ら近接した値を索出することにより、多数
算出されるレターデーションの値から一義的に一つの値
を決定することができる。
は従来の方法と同じである。この場合レターデーション
の値は計算上とびとびに無数の値が求まる。測定に用い
る波長が異ると二つの主屈折率が何れの波長においても
変らない場合でも試料内に含まれる波数が異るからＪ１
算上求まる無数のレターデーションの値も異ったものと
なるが、レターデーションの値は波長に関せず一定の筈
であるから、第１の波長におけるレターデーションの値
の群と第２の波長におけるレターデーションの値の群と
から互いに最ら近接した値を索出することにより、多数
算出されるレターデーションの値から一義的に一つの値
を決定することができる。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例を示す。１は光源、２はフィ
ルタ板で、互いに異なる単一波長の光を透過させる二種
類の単色フィルタ２ａ、２ｂが交換可能に取付けられて
おり、光源ｌから２つの波長λ１．λ２の光を交互に取
出せるようにしである。３は偏光子、５は検光子で、夫
々の偏光方向が一定の角度この実施例では平行の関係を
保って一体的に回転できるようにしてあり、モータ７に
よって回転せしめられる。４は偏光子３と検光子５との
間に挿入された試料である。６は光検出器で検光子５を
透過した光を受光する。１０はコンピュータでインター
フェース９を介して光検出器６の出力信号およびモータ
軸に取付けられた回転角検出器８の出力信号を取込んで
データ処理を行い、またモータ７を制御する。コンピュ
ータ１０によるデータ処理の結果はＣＲＴＩＩに表示さ
れ、またプリンタ１２によって記録される。１３はキー
ボードでコンピュータ１０に種々な指令およびデータ処
理に必要なパラメータを入力するのに用いられる。
ルタ板で、互いに異なる単一波長の光を透過させる二種
類の単色フィルタ２ａ、２ｂが交換可能に取付けられて
おり、光源ｌから２つの波長λ１．λ２の光を交互に取
出せるようにしである。３は偏光子、５は検光子で、夫
々の偏光方向が一定の角度この実施例では平行の関係を
保って一体的に回転できるようにしてあり、モータ７に
よって回転せしめられる。４は偏光子３と検光子５との
間に挿入された試料である。６は光検出器で検光子５を
透過した光を受光する。１０はコンピュータでインター
フェース９を介して光検出器６の出力信号およびモータ
軸に取付けられた回転角検出器８の出力信号を取込んで
データ処理を行い、またモータ７を制御する。コンピュ
ータ１０によるデータ処理の結果はＣＲＴＩＩに表示さ
れ、またプリンタ１２によって記録される。１３はキー
ボードでコンピュータ１０に種々な指令およびデータ処
理に必要なパラメータを入力するのに用いられる。
上述した装置において一つのフィルタ２ａを選び図の位
置に試料を置いて光検出器６の出力を偏光子２と検光子
５の一体物の回転角θの関数として極座標で表示すると
第２図のようなグラフが得られる。今の場合試料には直
線偏光が入射しているが、試料が複屈折性を有する場合
、試料透過光は一般に楕円偏光になっており、その長軸
２短軸の比および長軸方向は試料の厚さによって変化す
る。第３図は試料の屈折率楕円を示し、Ｙ軸、Ｙ軸は上
述装置で装置光軸Ｚに垂直な平面上に想定した座標軸で
偏光子、検光子の回転角θはＹ軸を基線にして測られる
。第３図でｎ １ ｒ０２は二つの主屈折率でＡＡ’お
よびＢＢ’が各主屈折率の方向で、ＰＰ’が偏光子およ
び検光子の方向である。偏光子、検光子の方向ＰＰ゛が
ＡＡ’或はＢＢ゛と一致したときは複屈折は起らず入射
光はそのま＼試料、検光子を透過するから第２図に示す
ようにＡＡ’およびＢＢ’の方向で光検出出力は極大を
示す。ＰＰ’がＡＡ’とＢＢ’の丁度中間即ちＡＡ’お
よびＢＢ’に対して夫々４５°の方向ＱＱ’であるとき
、試料への入射直線偏光のＡＡ°方向およびＢＢ’方向
の成分の振幅は互いに等しく入射光振幅Ａのｌ／Ｒであ
る。このＡＡ’方向成分およびＢＢ’方向成分の試料透
過時の位相が一致するときは出射光は入射光と振幅の等
しいＱＱ’方向の直線偏光であり、光検出出力は偏光子
検光子がＡＡ’あるいはＢＢ°方向であるときと同じに
なり、第２図のグラフは円となる。ＰＰ゛がＱＱ”方向
であるとき、試料透過光の二つの主屈折率方向の成分の
位相差が９０°であると振幅がＡｉＦｉの円偏光となり
、光検出強度は最大時の１／２になり、位相差が１８０
°のときは前述位相差０のときと直交する方向の直線偏
光となって検光子により阻止され、光検出信号はＯとな
る。つまり第２図のグラフで極大値を示す方向と４５°
の角をなす方向の光検出信号値と光検出信号の最大値と
の比率により、二つの主屈折率方向の透過光の位相差を
知ることができる。所で測定対象は原理的には二つの主
屈折率ｎｌ、ｎ２で未知数が二つであるから、位相差の
データが一つだけでは二つの主屈折率を決定することが
できない。そこで第２のフィルタ２ｂを選んで前述と同
じ測定を行うと、偏光子、検光子がＱＱ’方向のときの
試料透過光の二つの主屈折率方向成分の位相差として上
述フィルタ２ａを選んだときと異る値が得られる。フィ
ルタ２ａ、２ｂによって得られる二つの波長λ１．λ２
に対して二つの主屈折率が同じとみなせるように二つの
波長を選ぶと次のようにして二つの主屈折率ｎ１．ｎ２
を求めることができる。
置に試料を置いて光検出器６の出力を偏光子２と検光子
５の一体物の回転角θの関数として極座標で表示すると
第２図のようなグラフが得られる。今の場合試料には直
線偏光が入射しているが、試料が複屈折性を有する場合
、試料透過光は一般に楕円偏光になっており、その長軸
２短軸の比および長軸方向は試料の厚さによって変化す
る。第３図は試料の屈折率楕円を示し、Ｙ軸、Ｙ軸は上
述装置で装置光軸Ｚに垂直な平面上に想定した座標軸で
偏光子、検光子の回転角θはＹ軸を基線にして測られる
。第３図でｎ １ ｒ０２は二つの主屈折率でＡＡ’お
よびＢＢ’が各主屈折率の方向で、ＰＰ’が偏光子およ
び検光子の方向である。偏光子、検光子の方向ＰＰ゛が
ＡＡ’或はＢＢ゛と一致したときは複屈折は起らず入射
光はそのま＼試料、検光子を透過するから第２図に示す
ようにＡＡ’およびＢＢ’の方向で光検出出力は極大を
示す。ＰＰ’がＡＡ’とＢＢ’の丁度中間即ちＡＡ’お
よびＢＢ’に対して夫々４５°の方向ＱＱ’であるとき
、試料への入射直線偏光のＡＡ°方向およびＢＢ’方向
の成分の振幅は互いに等しく入射光振幅Ａのｌ／Ｒであ
る。このＡＡ’方向成分およびＢＢ’方向成分の試料透
過時の位相が一致するときは出射光は入射光と振幅の等
しいＱＱ’方向の直線偏光であり、光検出出力は偏光子
検光子がＡＡ’あるいはＢＢ°方向であるときと同じに
なり、第２図のグラフは円となる。ＰＰ゛がＱＱ”方向
であるとき、試料透過光の二つの主屈折率方向の成分の
位相差が９０°であると振幅がＡｉＦｉの円偏光となり
、光検出強度は最大時の１／２になり、位相差が１８０
°のときは前述位相差０のときと直交する方向の直線偏
光となって検光子により阻止され、光検出信号はＯとな
る。つまり第２図のグラフで極大値を示す方向と４５°
の角をなす方向の光検出信号値と光検出信号の最大値と
の比率により、二つの主屈折率方向の透過光の位相差を
知ることができる。所で測定対象は原理的には二つの主
屈折率ｎｌ、ｎ２で未知数が二つであるから、位相差の
データが一つだけでは二つの主屈折率を決定することが
できない。そこで第２のフィルタ２ｂを選んで前述と同
じ測定を行うと、偏光子、検光子がＱＱ’方向のときの
試料透過光の二つの主屈折率方向成分の位相差として上
述フィルタ２ａを選んだときと異る値が得られる。フィ
ルタ２ａ、２ｂによって得られる二つの波長λ１．λ２
に対して二つの主屈折率が同じとみなせるように二つの
波長を選ぶと次のようにして二つの主屈折率ｎ１．ｎ２
を求めることができる。
試料の厚さをＴとすると屈折率ｎｌに対して試料内の波
長λ１の光の波数Ｎ１は Ｎ１＝ｎｌＸＴ／λ１ 同様にして屈折率ｎ２に対する波数Ｎ２はＮ２＝ｎ２Ｔ
／λ１ 同相で入射した二つの主屈折率方向の同波長の光の試料
出射時の位相差Δ１は △１＝２π（Ｎｌ−ｆＶ２）＝’ｉ丁（ｍｔ−／ｎｚ）
偏光子、検光子の方向が第３図のＱＱ’方向であるとき
入射光の試料の二つの主屈折率方向成分は同相同振幅で
あるから、出射光において位相差がΔ１であるときの出
射光のＱＱ’方向の振幅は次のようにして求められる。
長λ１の光の波数Ｎ１は Ｎ１＝ｎｌＸＴ／λ１ 同様にして屈折率ｎ２に対する波数Ｎ２はＮ２＝ｎ２Ｔ
／λ１ 同相で入射した二つの主屈折率方向の同波長の光の試料
出射時の位相差Δ１は △１＝２π（Ｎｌ−ｆＶ２）＝’ｉ丁（ｍｔ−／ｎｚ）
偏光子、検光子の方向が第３図のＱＱ’方向であるとき
入射光の試料の二つの主屈折率方向成分は同相同振幅で
あるから、出射光において位相差がΔ１であるときの出
射光のＱＱ’方向の振幅は次のようにして求められる。
まず、試料の光吸収率が偏光の方向によって異ならない
場合を考える。試料への入射光はＱＱ’方向のｉｉｉ線
偏光でその振幅をＡとすると主屈折率ｎ１方向成分の撮
部はＡｉＦｉでこれのＱＱ’方向成分の振幅はＡ／２で
あり、この成分を（Ａ／２）ｃ、、ωＬで表わすと、主
屈折率０２方向成分のＱＱ゛方向成分は上記よりΔ１の
位相の遅れがあるので （Ａ／２ ） ｃｏｓ （ωｔ−Δｌ）と表せる。計算
の便宜上前者を（Ａ／２ ） ｃｏｓ（ωｔ＋Δ１／２
）と書（と後者は（Ａ／２）ｃＯＳ（ωを一Δ１／２）
と８ける。従って試料出射となり、これを整理すると ム１ Ａｃｏｓ−ｃｏｓ ωｔ −−−（Ｏ）となり、試料
出射光のＱＱ’方向成分の振幅ＡＱは 従って光検出出力は 光検出出力の最大値は偏光子、検光子のＡＡ’方向或は
ＢＢ’方向の時に検出されＡであるから、最大最小の比
Ａ ｑ ／ Ａ ＝ Ｒ１はＲ１＝ Ｃ１ｒＱ”’ ＝
ｃｃ−７” Ｔ （／Ｅｌ−”）１２） −−−（／
）２ λＩ 同様にして波長λ２の光で測定した場合は添数字を２と
して 上記（１）（２）式でＲ１，Ｒ２は実測値であり、λ１
゜λ２および試料の厚さＴが既知であるから、（１）■
式からｎ １ ＊ ｎ ２が算出される。実際上は単に
し の比が求まり、これの平方根としてαが得られタ
ーデージ日ンＴ（ｎｌ−ｎ２）を測定したい場 る。
場合を考える。試料への入射光はＱＱ’方向のｉｉｉ線
偏光でその振幅をＡとすると主屈折率ｎ１方向成分の撮
部はＡｉＦｉでこれのＱＱ’方向成分の振幅はＡ／２で
あり、この成分を（Ａ／２）ｃ、、ωＬで表わすと、主
屈折率０２方向成分のＱＱ゛方向成分は上記よりΔ１の
位相の遅れがあるので （Ａ／２ ） ｃｏｓ （ωｔ−Δｌ）と表せる。計算
の便宜上前者を（Ａ／２ ） ｃｏｓ（ωｔ＋Δ１／２
）と書（と後者は（Ａ／２）ｃＯＳ（ωを一Δ１／２）
と８ける。従って試料出射となり、これを整理すると ム１ Ａｃｏｓ−ｃｏｓ ωｔ −−−（Ｏ）となり、試料
出射光のＱＱ’方向成分の振幅ＡＱは 従って光検出出力は 光検出出力の最大値は偏光子、検光子のＡＡ’方向或は
ＢＢ’方向の時に検出されＡであるから、最大最小の比
Ａ ｑ ／ Ａ ＝ Ｒ１はＲ１＝ Ｃ１ｒＱ”’ ＝
ｃｃ−７” Ｔ （／Ｅｌ−”）１２） −−−（／
）２ λＩ 同様にして波長λ２の光で測定した場合は添数字を２と
して 上記（１）（２）式でＲ１，Ｒ２は実測値であり、λ１
゜λ２および試料の厚さＴが既知であるから、（１）■
式からｎ １ ＊ ｎ ２が算出される。実際上は単に
し の比が求まり、これの平方根としてαが得られタ
ーデージ日ンＴ（ｎｌ−ｎ２）を測定したい場 る。
次に前記（イ）式は合が多いの場合（１）式から
帽９〆団＝光Ｔ（バｌ〜報）・・・（３）上記（３）式
を満足するＴ （ｎ １−ｎ２）の値は無数に存在する
。同様にして０式から （ロ）式は 上式は （４）式を満足するＴ （ｎ １−ｎ２）の値も無数に
存在する。（３） （４）両式が同時に成立つのである
から、上記各無数のレターデーションの値の適当な範囲
内で互いに最も良（一致（原理的には完全に一致するが
、測定誤差があるから実際上完全一致は得られない）す
る−組の値を選んで平均すればよい。
を満足するＴ （ｎ １−ｎ２）の値は無数に存在する
。同様にして０式から （ロ）式は 上式は （４）式を満足するＴ （ｎ １−ｎ２）の値も無数に
存在する。（３） （４）両式が同時に成立つのである
から、上記各無数のレターデーションの値の適当な範囲
内で互いに最も良（一致（原理的には完全に一致するが
、測定誤差があるから実際上完全一致は得られない）す
る−組の値を選んで平均すればよい。
以上は簡単のため試料の光吸収率が偏光方向によって異
ならない場合である。主屈折率ｎ １ ＊ ｎ２の方向
の偏光に対する吸収率が異る場合、振幅吸収率ａｌ、ａ
２の比をａ １ ／ ａ ２−αとする。
ならない場合である。主屈折率ｎ １ ＊ ｎ２の方向
の偏光に対する吸収率が異る場合、振幅吸収率ａｌ、ａ
２の比をａ １ ／ ａ ２−αとする。
この場合偏光子、検光子の方向がＡＡ’およびＢＢ゛で
あるときの光検出出力の比によって吸収率上式は更に整
理すると 従って前記（１）、（２）式は （５） （６）式でＲ１，Ｒ２，α１．α２は実測値か
ら求まる値であるからＴ（ｎｌ−ｎ２）は前述同様の方
法で決定できる。こ＼でＲ１，Ｒ２は主屈折率ｒｌｌの
方向即ち第３図でｌ＼Ａ°方向の光検出出力とＱＱ’方
向の光検出出力との比を用いる。これはこの方向を上記
計算の基準にとったからｆである。
あるときの光検出出力の比によって吸収率上式は更に整
理すると 従って前記（１）、（２）式は （５） （６）式でＲ１，Ｒ２，α１．α２は実測値か
ら求まる値であるからＴ（ｎｌ−ｎ２）は前述同様の方
法で決定できる。こ＼でＲ１，Ｒ２は主屈折率ｒｌｌの
方向即ち第３図でｌ＼Ａ°方向の光検出出力とＱＱ’方
向の光検出出力との比を用いる。これはこの方向を上記
計算の基準にとったからｆである。
本発明方法とコンベセータを用いたレターデーション相
減現象を利用する方法とを比較してみた。６つの試料を
対象に、偏光類ｖ！ｉ麻とベレックコンペンセーターを
用い、レターデーションの相減現象を利用した干渉色の
観察から試料のレターデーションを求めた結果とλ１＝
５９０．Ｏｎｍ、λ２＝６５７．３ｎｍの波長の光を用
いて本発明の方法より測定し、レターデーション＜３０
００ｎｍの範囲で両方のレターデーションの差が最小と
なるＲｔの組を求めた結果を表１に示す。
減現象を利用する方法とを比較してみた。６つの試料を
対象に、偏光類ｖ！ｉ麻とベレックコンペンセーターを
用い、レターデーションの相減現象を利用した干渉色の
観察から試料のレターデーションを求めた結果とλ１＝
５９０．Ｏｎｍ、λ２＝６５７．３ｎｍの波長の光を用
いて本発明の方法より測定し、レターデーション＜３０
００ｎｍの範囲で両方のレターデーションの差が最小と
なるＲｔの組を求めた結果を表１に示す。
６つの試料として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト； ５８／μｍ）、ＦＥＰ （弗素化ポリマー； １
４８／μｍ）、ＰＳ （ポリスチレン；４８／μｍ）
、 Ｐ Ｐ （ポリプロピレン；２８／、ｕｍ）、ＰＳ
（ポリスチレン；１１１／μｍ）、ＰＰ（ポリプロピレ
ン：２８／μｍ）。
ト； ５８／μｍ）、ＦＥＰ （弗素化ポリマー； １
４８／μｍ）、ＰＳ （ポリスチレン；４８／μｍ）
、 Ｐ Ｐ （ポリプロピレン；２８／、ｕｍ）、ＰＳ
（ポリスチレン；１１１／μｍ）、ＰＰ（ポリプロピレ
ン：２８／μｍ）。
表■の結果から、ベレックコンペセーターを用いた測定
値と本発明法による測定値が非常に似た値となり、本発
明法で測定波長の１／２以上のレターデーションの値も
求めることが可能であることが分る。測定精度について
は、ベレックコンペセーターを用いる場合、その特性上
、Ｒｔが大きい程、誤差が大きくなり、また、測定者に
よる個人差があるという欠点もある。一方本発明法の場
合、一つの試料で２０回連続測定した時のＲｔの標準偏
差が、０．１ｎｍ以下という高精度である。
値と本発明法による測定値が非常に似た値となり、本発
明法で測定波長の１／２以上のレターデーションの値も
求めることが可能であることが分る。測定精度について
は、ベレックコンペセーターを用いる場合、その特性上
、Ｒｔが大きい程、誤差が大きくなり、また、測定者に
よる個人差があるという欠点もある。一方本発明法の場
合、一つの試料で２０回連続測定した時のＲｔの標準偏
差が、０．１ｎｍ以下という高精度である。
（以下次頁）
Ｎ。
試料
ＥＴ
ＥＰ
Ｓ
Ｐ
Ｓ
Ｐ
試料厚さ
（μ醜）
表！
レターデーション測定値（止）
ベレック”コンペントター 本発明法を用い
る方法 λ−５９０．Ｏｎ−λ−ＧＳ７．３ｒｖ＋５０
．８ １０２．４ ２１９．０ ４１？、６ ６２３、７ ７９１．７ ４８．４ １０１．２ ２１５、／１ ４１７．７ ６０８、２ ７９０．４ （発明の効果） 本発明方法によれば操作が簡単で、人間の色感覚を用い
る方法のような個人差が入らず安定して高精度の測定が
できる。
る方法 λ−５９０．Ｏｎ−λ−ＧＳ７．３ｒｖ＋５０
．８ １０２．４ ２１９．０ ４１？、６ ６２３、７ ７９１．７ ４８．４ １０１．２ ２１５、／１ ４１７．７ ６０８、２ ７９０．４ （発明の効果） 本発明方法によれば操作が簡単で、人間の色感覚を用い
る方法のような個人差が入らず安定して高精度の測定が
できる。
第１図は本発明方法を実行する装置の一例のブロック図
、第２図は一波長についての測定結果のグラフ表示、第
３図は本発明方法の説明に用いられる角度、方向等の説
明図である。 １・・・光源、２ａ、２ｂ・・・フィルタ、３・・・偏
光子、４・・・試料、５・・・検光子、６・・・光検出
器、７・・・モータ、８・・・回転角検出器、９・・・
インターフェース、１０・・・コンピュータ、１１・・
・ＣＲＴ、１２・・・プリンタ、１３・・・キーボード
。 代理人 弁理士 縣 浩 介
、第２図は一波長についての測定結果のグラフ表示、第
３図は本発明方法の説明に用いられる角度、方向等の説
明図である。 １・・・光源、２ａ、２ｂ・・・フィルタ、３・・・偏
光子、４・・・試料、５・・・検光子、６・・・光検出
器、７・・・モータ、８・・・回転角検出器、９・・・
インターフェース、１０・・・コンピュータ、１１・・
・ＣＲＴ、１２・・・プリンタ、１３・・・キーボード
。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 偏光方向を一定の角度で交わらせた偏光子と検光子との
間に試料を挿入し、試料と偏光子検光子結合体とを相対
的に回転させたときの回転角と偏光子、試料、検光子の
３者透過光強度との関係を二つの波長の光について測定
し、一つの波長の光についての上記測定結果を用いて算
出される多数のレターデーションの値と他の一つの波長
の光についての上記測定結果を用いて算出される多数の
レターデーションの値とから互いに最も近接した一組の
値を索出することを特徴とする複屈折率測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254483A JP2791479B2 (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | レターデーション測定方法 |
| US07/417,177 US4973163A (en) | 1988-10-08 | 1989-10-04 | Method for measuring birefringence |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254483A JP2791479B2 (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | レターデーション測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102436A true JPH02102436A (ja) | 1990-04-16 |
| JP2791479B2 JP2791479B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=17265680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63254483A Expired - Fee Related JP2791479B2 (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | レターデーション測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2791479B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11485673B2 (en) | 2017-08-24 | 2022-11-01 | Corning Incorporated | Glasses with improved tempering capabilities |
| US11643355B2 (en) | 2016-01-12 | 2023-05-09 | Corning Incorporated | Thin thermally and chemically strengthened glass-based articles |
| US11697617B2 (en) | 2019-08-06 | 2023-07-11 | Corning Incorporated | Glass laminate with buried stress spikes to arrest cracks and methods of making the same |
| US11708296B2 (en) | 2017-11-30 | 2023-07-25 | Corning Incorporated | Non-iox glasses with high coefficient of thermal expansion and preferential fracture behavior for thermal tempering |
| US11795102B2 (en) | 2016-01-26 | 2023-10-24 | Corning Incorporated | Non-contact coated glass and related coating system and method |
| US11891324B2 (en) | 2014-07-31 | 2024-02-06 | Corning Incorporated | Thermally strengthened consumer electronic glass and related systems and methods |
| US12064938B2 (en) | 2019-04-23 | 2024-08-20 | Corning Incorporated | Glass laminates having determined stress profiles and methods of making the same |
| US12338159B2 (en) | 2015-07-30 | 2025-06-24 | Corning Incorporated | Thermally strengthened consumer electronic glass and related systems and methods |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5078372A (ja) * | 1973-09-17 | 1975-06-26 | ||
| JPS62157549A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-07-13 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | シート状透光性試料の異方性測定方法 |
-
1988
- 1988-10-08 JP JP63254483A patent/JP2791479B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5078372A (ja) * | 1973-09-17 | 1975-06-26 | ||
| JPS62157549A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-07-13 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | シート状透光性試料の異方性測定方法 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11891324B2 (en) | 2014-07-31 | 2024-02-06 | Corning Incorporated | Thermally strengthened consumer electronic glass and related systems and methods |
| US12338159B2 (en) | 2015-07-30 | 2025-06-24 | Corning Incorporated | Thermally strengthened consumer electronic glass and related systems and methods |
| US11643355B2 (en) | 2016-01-12 | 2023-05-09 | Corning Incorporated | Thin thermally and chemically strengthened glass-based articles |
| US11795102B2 (en) | 2016-01-26 | 2023-10-24 | Corning Incorporated | Non-contact coated glass and related coating system and method |
| US11485673B2 (en) | 2017-08-24 | 2022-11-01 | Corning Incorporated | Glasses with improved tempering capabilities |
| US11708296B2 (en) | 2017-11-30 | 2023-07-25 | Corning Incorporated | Non-iox glasses with high coefficient of thermal expansion and preferential fracture behavior for thermal tempering |
| US12410090B2 (en) | 2017-11-30 | 2025-09-09 | Corning Incorporated | Non-iox glasses with high coefficient of thermal expansion and preferential fracture behavior for thermal tempering |
| US12064938B2 (en) | 2019-04-23 | 2024-08-20 | Corning Incorporated | Glass laminates having determined stress profiles and methods of making the same |
| US11697617B2 (en) | 2019-08-06 | 2023-07-11 | Corning Incorporated | Glass laminate with buried stress spikes to arrest cracks and methods of making the same |
| US12043575B2 (en) | 2019-08-06 | 2024-07-23 | Corning Incorporated | Glass laminate with buried stress spikes to arrest cracks and methods of making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2791479B2 (ja) | 1998-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4973163A (en) | Method for measuring birefringence | |
| US5864403A (en) | Method and apparatus for measurement of absolute biaxial birefringence in monolayer and multilayer films, sheets and shapes | |
| US3183763A (en) | Polarization analyzers for optical systems employing polarized light | |
| JP4728027B2 (ja) | 光測定装置 | |
| KR100195397B1 (ko) | 복굴절층의 두께측정방법 및 장치 | |
| JP3177104B2 (ja) | フレア防止光学系、フレア防止方法、浮上量測定装置 | |
| US6992777B2 (en) | Birefringent Mach-Zehnder interferometer | |
| JPH02102436A (ja) | レターデーション測定方法 | |
| TWI615604B (zh) | 寬波段消色差複合波片的定標方法 | |
| JP4031643B2 (ja) | Ｖａ液晶パネルのセルギャップ測定方法及び装置 | |
| Salik | Quantitative investigation of Fresnel reflection coefficients by polarimetry | |
| US2412074A (en) | Device for testing light polarizing elements | |
| Azzam | NIRSE: Normal-incidence rotating-sample ellipsometer | |
| JPS60122333A (ja) | 偏光解析装置 | |
| JP3518313B2 (ja) | レターデーション測定方法及び装置 | |
| US3345905A (en) | Apparatus for measuring phase differences in polarized light | |
| SU1749784A1 (ru) | Способ определени оптических анизотропных параметров кристаллов | |
| JPH1082697A (ja) | 複屈折測定装置 | |
| JPH02118406A (ja) | 液晶セルギャップ測定装置 | |
| JPH02183142A (ja) | スペクトロポーラリメータ | |
| WO2009150661A1 (en) | A pc based polarimeter based on malus' law | |
| JPH0489553A (ja) | 複屈折測定装置 | |
| JPS63148108A (ja) | エリプソメ−タ | |
| JP2791480B2 (ja) | レターデーション等の測定方法 | |
| JP2006189411A (ja) | 位相遅延の測定装置及び測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |