JPH02102462U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02102462U JPH02102462U JP1010689U JP1010689U JPH02102462U JP H02102462 U JPH02102462 U JP H02102462U JP 1010689 U JP1010689 U JP 1010689U JP 1010689 U JP1010689 U JP 1010689U JP H02102462 U JPH02102462 U JP H02102462U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum evaporation
- power transmission
- transmission system
- rotational force
- transmits rotational
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の真空蒸着装置の一実施例の説
明図、第２図は同じく要部の拡大断面図である。 １……真空室、２……蒸発部、３……真空蒸着
用ドーム、３１……ドーム、４……支持枠、５…
…リングギヤ、６……ガイドレール、７……モー
タ、８……減速ギヤ、９……真空軸受け、９１…
…軸受けホルダ、９２……ベアリング、９３……
回転軸、９４……Ｏリング、９６……一方向回転
クラツチ、４，８，９……動力伝達系。
明図、第２図は同じく要部の拡大断面図である。 １……真空室、２……蒸発部、３……真空蒸着
用ドーム、３１……ドーム、４……支持枠、５…
…リングギヤ、６……ガイドレール、７……モー
タ、８……減速ギヤ、９……真空軸受け、９１…
…軸受けホルダ、９２……ベアリング、９３……
回転軸、９４……Ｏリング、９６……一方向回転
クラツチ、４，８，９……動力伝達系。
Claims (1)
- 回転力を真空蒸着用ドームに伝達して回転させ
る動力伝達系を有する真空蒸着装置において、上
記動力伝達系は一方向に回転力を伝達し反対方向
に空転する一方向回転クラツチを具備したことを
特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010689U JPH0730678Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010689U JPH0730678Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102462U true JPH02102462U (ja) | 1990-08-15 |
| JPH0730678Y2 JPH0730678Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31217470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1010689U Expired - Lifetime JPH0730678Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730678Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1010689U patent/JPH0730678Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730678Y2 (ja) | 1995-07-12 |