JPH02102473U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02102473U JPH02102473U JP1010889U JP1010889U JPH02102473U JP H02102473 U JPH02102473 U JP H02102473U JP 1010889 U JP1010889 U JP 1010889U JP 1010889 U JP1010889 U JP 1010889U JP H02102473 U JPH02102473 U JP H02102473U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- substrate
- slider
- boat
- periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案による実施例の構成図、第２
図は第１図の実施例の要部寸法説明図、第３図は
第１図のＢ部拡大図、第４図は従来技術によるボ
ートの説明図、第５図は第４図のＡ部拡大図であ
る。 １……溶液溜め、２……スライダー、３……基
板、４……溶液、５……溝、６……溝、７……段
差部。
図は第１図の実施例の要部寸法説明図、第３図は
第１図のＢ部拡大図、第４図は従来技術によるボ
ートの説明図、第５図は第４図のＡ部拡大図であ
る。 １……溶液溜め、２……スライダー、３……基
板、４……溶液、５……溝、６……溝、７……段
差部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板３が入る大きさの溝６と、 溝６の周辺部から基板３の表面が露出する段差
部７とを設けたスライダーを備えることを特徴と
する結晶成長用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010889U JPH02102473U (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010889U JPH02102473U (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102473U true JPH02102473U (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=31217474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1010889U Pending JPH02102473U (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02102473U (ja) |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1010889U patent/JPH02102473U/ja active Pending