JPH02103404A - リード検査装置 - Google Patents
リード検査装置Info
- Publication number
- JPH02103404A JPH02103404A JP25781688A JP25781688A JPH02103404A JP H02103404 A JPH02103404 A JP H02103404A JP 25781688 A JP25781688 A JP 25781688A JP 25781688 A JP25781688 A JP 25781688A JP H02103404 A JPH02103404 A JP H02103404A
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- Japan
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- lead
- light beam
- lead inspection
- measuring device
- outer periphery
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- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フラットパック型ＩＣの外周に形成したリー
ドの欠けおよび曲がりを検出するリード検査装置に関す
る。
ドの欠けおよび曲がりを検出するリード検査装置に関す
る。
従来のリード検査装置は、第３図に示すように、ＩＴＶ
カメラ１６によりリード８の像を入力して画像処理装置
で画像処理を行い、リード８の欠けおよび曲がりを二次
元的に検出していた。
カメラ１６によりリード８の像を入力して画像処理装置
で画像処理を行い、リード８の欠けおよび曲がりを二次
元的に検出していた。
しかし、従来のリード検査装置では、リード像をＩＴＶ
カメラ１６により投影写像するため、リードの欠けおよ
び曲がりを一回の画像取り込みで三次元的に検出するこ
とはできず、ＩＴＶカメラ１６またはフラットパック型
ＩＣ６を移動して複数回の画像取り込みが必要であった
。また、高精度な検出を行うためには、ＩＴＶカメラの
レンズ１５は高倍率タイプを用い、検出領域をいくつか
に分割して検出しなければならないが、レンズを高倍率
にする程外乱光の影響を受けやすく、その上時間がかか
るという問題を有していた。さらに視野の中心部以外で
は、ＩＴＶカメラレンズの持つ光学的収差の影響で高精
度な検出ができなかった。
カメラ１６により投影写像するため、リードの欠けおよ
び曲がりを一回の画像取り込みで三次元的に検出するこ
とはできず、ＩＴＶカメラ１６またはフラットパック型
ＩＣ６を移動して複数回の画像取り込みが必要であった
。また、高精度な検出を行うためには、ＩＴＶカメラの
レンズ１５は高倍率タイプを用い、検出領域をいくつか
に分割して検出しなければならないが、レンズを高倍率
にする程外乱光の影響を受けやすく、その上時間がかか
るという問題を有していた。さらに視野の中心部以外で
は、ＩＴＶカメラレンズの持つ光学的収差の影響で高精
度な検出ができなかった。
そこで本発明はこの様な課題を解決するもので、フラッ
トパック型ＩＣ６の外周に形成したり−ド８の欠けおよ
び曲がりを一回の測定で三次元的に高精度かつ高速で検
出することを目的とする。
トパック型ＩＣ６の外周に形成したり−ド８の欠けおよ
び曲がりを一回の測定で三次元的に高精度かつ高速で検
出することを目的とする。
上記問題を解決する力めに、本発明の検査装置光ビーム
を測定面の一点に照射して測定する光学式変位検出装置
を平面的に移動させることにより、フラットパック型Ｉ
Ｃの外周に形成したリードの欠けおよび曲がりを一回の
測定で三次元的に高精度かつ高速に検出することを特徴
とする。
を測定面の一点に照射して測定する光学式変位検出装置
を平面的に移動させることにより、フラットパック型Ｉ
Ｃの外周に形成したリードの欠けおよび曲がりを一回の
測定で三次元的に高精度かつ高速に検出することを特徴
とする。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において、光ビーム９を測定面の一点に照射して
測定する光学式変位測定装置１を２次元移動装置２に取
付け、フラットバック型ＩＣ６の外周に形成したリード
８に合わせて高速で移動させることにより、リード８の
欠けおよび曲がりを三次元的に検出する。
測定する光学式変位測定装置１を２次元移動装置２に取
付け、フラットバック型ＩＣ６の外周に形成したリード
８に合わせて高速で移動させることにより、リード８の
欠けおよび曲がりを三次元的に検出する。
第２図において、発光素子１３から出た光ビーム９は、
送光用レンズ１４によりリード８上に焦点を結ぶ。リー
ド８上で乱反射した光の一部は、受光用レンズ１２に入
り、リード８の光軸方向の変位に対応して、受光位置検
出素子１１上に焦点を結ぶ。従って受光位置検出素子１
１の出力信号を高精度に検出することによって、リード
８の有無および光軸方向の変位を誤差が数ミクロン以下
の高精度で検出することができる。
送光用レンズ１４によりリード８上に焦点を結ぶ。リー
ド８上で乱反射した光の一部は、受光用レンズ１２に入
り、リード８の光軸方向の変位に対応して、受光位置検
出素子１１上に焦点を結ぶ。従って受光位置検出素子１
１の出力信号を高精度に検出することによって、リード
８の有無および光軸方向の変位を誤差が数ミクロン以下
の高精度で検出することができる。
第４図において、光学式変位測定装置１により検出した
リードの有無および光軸方向の変位情報は、測定誤差が
数ミクロン以下の高精度な移動量測定装置３から得られ
る２次元移動装置２の移動量情報と共にデータ処理部１
７に送られて３次元情報として合成処理され、表示部１
８に表示される。
リードの有無および光軸方向の変位情報は、測定誤差が
数ミクロン以下の高精度な移動量測定装置３から得られ
る２次元移動装置２の移動量情報と共にデータ処理部１
７に送られて３次元情報として合成処理され、表示部１
８に表示される。
第５図において、光学式変位測定装置ｌを取付けた２次
元移動装置２は、光学式変位測定装置１の光ビーム１９
がフラットバック型ＩＣ６の外周に形成したリード８を
切断するよう、光ビームの軌跡２０の如く移動する。
元移動装置２は、光学式変位測定装置１の光ビーム１９
がフラットバック型ＩＣ６の外周に形成したリード８を
切断するよう、光ビームの軌跡２０の如く移動する。
第６図は、表示部１８における数本のリード８の断面表
示例である。（ａ）は、すべてのリードが良品の場合で
あり、（ｂ）は、−本のリードのみが光学式変位測定装
置の光軸方向に曲がっている場合である。また、（Ｃ）
は、−本のリードのみが２次元移動装置の移動方向に曲
がっている場合であり、（ｄ）は、−本のリードのみが
欠けている場合である。
示例である。（ａ）は、すべてのリードが良品の場合で
あり、（ｂ）は、−本のリードのみが光学式変位測定装
置の光軸方向に曲がっている場合である。また、（Ｃ）
は、−本のリードのみが２次元移動装置の移動方向に曲
がっている場合であり、（ｄ）は、−本のリードのみが
欠けている場合である。
このように本発明によれば、光ビームを測定面の一点に
照射して測定する光学式変位測定装置を平面的に移動さ
せることにより、フラットバック型ＩＣの外周に形成し
たリードの欠けおよび曲がりを一回の測定で三次元的に
高精度かつ高速で検出するという効果を有する。
照射して測定する光学式変位測定装置を平面的に移動さ
せることにより、フラットバック型ＩＣの外周に形成し
たリードの欠けおよび曲がりを一回の測定で三次元的に
高精度かつ高速で検出するという効果を有する。
第１図は本発明のリード検査装置の概略断面図、第２図
は光ビームを測定面の一点に照射して測定する光学式変
位測定装置の一例を示す概略断面図、第３図は従来のリ
ード検査装置の概略図、第４図は本発明のリード検査装
置のデータ処理のブロック図、第５図はフラットバック
型ＩＣの外周における光ビームの軌跡を示す概略図、第
６図（ａ）はすべてのリードが良品の場合の表示画像図
、第６図（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）は−本のリードのみが
不良品の場合の表示画像図である。 １−光学式変位測定装置 ２−２次元移動装置 ３−移動Ｍ測定装置 ４−ＩＣ給除材装置 ５−検査スチージ ローフラットパック型ＩＣ ７−ＩＣトレイ ８−リード ９−光ビーム ｌＯ−リード検査装置本体 １１−受光位置検出素子 １２−受光用レンズ １３−発光素子 １４−送光用レンズ １５−ＩＴＶカメラ用レンズ １６−ＩＴＶカメラ １７−データ処理部 １８−表示部 １９−光ビーム ２〇−光ビームの軌跡 １−良好なり一 ドの表示画像 ２２−不良なり− ドの表示画像 以上
は光ビームを測定面の一点に照射して測定する光学式変
位測定装置の一例を示す概略断面図、第３図は従来のリ
ード検査装置の概略図、第４図は本発明のリード検査装
置のデータ処理のブロック図、第５図はフラットバック
型ＩＣの外周における光ビームの軌跡を示す概略図、第
６図（ａ）はすべてのリードが良品の場合の表示画像図
、第６図（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）は−本のリードのみが
不良品の場合の表示画像図である。 １−光学式変位測定装置 ２−２次元移動装置 ３−移動Ｍ測定装置 ４−ＩＣ給除材装置 ５−検査スチージ ローフラットパック型ＩＣ ７−ＩＣトレイ ８−リード ９−光ビーム ｌＯ−リード検査装置本体 １１−受光位置検出素子 １２−受光用レンズ １３−発光素子 １４−送光用レンズ １５−ＩＴＶカメラ用レンズ １６−ＩＴＶカメラ １７−データ処理部 １８−表示部 １９−光ビーム ２〇−光ビームの軌跡 １−良好なり一 ドの表示画像 ２２−不良なり− ドの表示画像 以上
Claims (1)
- 光ビームを測定面の一点に照射して測定する光学式変位
測定装置を平面的に移動させることにより、フラットパ
ック型ＩＣの外周に形成したリードの欠けおよび曲がり
を一回の測定で三次元的に高精度かつ高速で検出するこ
とを特徴とするリード検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25781688A JPH02103404A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | リード検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25781688A JPH02103404A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | リード検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103404A true JPH02103404A (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=17311523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25781688A Pending JPH02103404A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | リード検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103404A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154802A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品のリードの計測装置及び計測方法 |
| JPH04350506A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | リード半田付け及び半田面検査方法 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP25781688A patent/JPH02103404A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154802A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品のリードの計測装置及び計測方法 |
| JPH04350506A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | リード半田付け及び半田面検査方法 |
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