JPH02103454A - 分析装置の試料供給機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の目的） （産業上の利用分野） 本発明は、イオンビームや電子ビームを使った分析装置
の試料供給機構に関する。

（従来の技術） 従来のイオンビームを使った分析装置の試料供給機構の
一例を示す第５図において、分析室１０の上側にはアル
ゴンイオンなどの一次イオンビーム２を出射するイオン
銃１が設けられ、分析室１０の上部には光学系３が設け
られ、この下方の一次イオンビーム２の集束された光軸
上には、分析室１０底部に設けられた駆動部１７の昇降
軸１７ａの上の詳細後述する設定部１６内に分析用の試
料４が載せられている。

又、分析室１０の右側壁には、試料４から出た二次イオ
ン５を検出して質量分析する検出器６が横に取付られ、
底壁左側の下方には、分析室１０内の空気を排気する超
高真空ポンプ１１と補助ポンプ（粗引きポンプ）１２が
接続されている。

更に、分析室１０の右側壁下端には、左方のパイプ７ｂ
に弁１５が取付られ下方に超高真空ポンプ１３と補助ポ
ンプ１４が接続された準備室７の左端が気密に連結され
、この準備室７の上面にはふた７ａが取付られている。

第６図は、設定部１６と準備室７の詳細図である。

第６図において、逆コ字状の枠１６ａの上部には穴１６
ｂが設けられ、下部には下端が昇降軸１７ａに連結した
台１６Ｃが昇降自在に取付られている。

又、準備室７内には、右端が図示しない駆動機構に連結
されて左右に進退自在な腕９が設けられ、この腕９の左
端には図示しない機構で開閉する把持部９ａがある（第
７図参照）。

このような分析装置の試料供給機構において、試料４の
供給・・取り出しをするときには、準備室７のふた７ａ
を開けてあらかじめ所定の位置に試料４を載せた取付具
８を把持部９ａに把持させてふた７ａを閉じた後に真空
ポンプで分析室１０内と同程度まで真空引きをする。

次に、図示しない駆動部で腕９を分析室１０内に入れて
取付具８を設定部１６内の所定の位置まで挿入し、駆動
部１７を作動させて台１６ｃを所定の高ざまで上げた後
、取付具８を離して台ｔＢｃ上に載せて腕９を後退させ
、弁１５を閉じる。

（発明が解決しようとする課題〉 ところが、このような分析装置の試料供給ｌＸ１ｔ　ｂ
”ｉ４では、準備室７の真空引きは粗引きの補助ポンプ
１４と超高真空にする真空ポンプ１３の二段階の真空引
きを試料一個毎に行うので、分析に時間がかかるだけで
なく、ポンプ駆動のための電力も増える。

そこで、本発明の目的は、分析装置の試料準備時間を減
らし装置の稼動率を上げることのできる分析装置の試料
供給機構を１謬ることである。

（発明の構成） （課題を解決するための手段と作用） 本発明は、真空容器内の設定部に供給された試料にイオ
ンビームが照射され、真空容器の側壁に仕切弁を介して
真空ポンプ付の準備室が連結され、この準備室に先端の
取付具を介して装着された試料を上記設定部に供給し取
り出す腕が進退自在に収納された分析装置において、真
空容器の側壁に上記設定部に横に突き出た第１の嵌合部
を駆動する駆動部を設け、取付具の軸心に第１の嵌合部
と嵌合する第２の嵌合部を設け、取付具の外周に軸心と
同軸の正多角形の試料取付面を設けることで、試料の供
給を容易にし、真空ポンプの運転を減らして装置の稼動
率を上げた分析装置の試料供給機構である。

（実施例） 以下、本発明の分析装置の試料供給機構の一実施例を図
面で説明する。但し、第５〜７図と重複する部分は省く
。

第１図において、分析室１０の左側壁下部外面には、分
析室１０内に横に突き出た設定軸２４を回転する回転駆
動部２８と設定軸２４を軸方向に駆動する軸駆動部２９
のある試料設定部２７が取付られ、設定軸２４の右端に
は先端が面取りされたあねじ２４ａが設けられ、このお
ねじ２４ａの基端には大径部２４ｂがある。

そして、おねじ部２４ａには、第３図のように縦断面十
字状（＠図参照）、横からみて外周が正六角形の取付具
２０の軸心の両端が面取りされた貫通穴２０ａの左部に
設けられためねじ部がねじ込まれ、この取付具２０の右
側の軸には縦に案内溝２０ｂが設けられ、正六角形の外
周の各面には図示しない位置決め部に一端が当接し外か
ら板ばね２０ｃで押えられた試料４がある。

又、準備室７内の腕９の左端には、第２図０とそのＡ部
詳細を示す第４図のように、縦に丸棒のビン９ａが装着
され、左端面は面取りされている。

このような構成の分析装置の試料供給機構にＪ３いて、
弁１５が閉じた準備室７のふた７ａを聞けて試料４を腕
９を介して分析室１０内に入れるときには、まず、取付
具２０の外周の各面に試料４を図示しない位置決め部に
当てて装着した後、腕９の先端のビン９ａに溝部２０ｂ
を当てて取付け、図示しない駆動機構で分析室１０内に
入れ、取付具２０の貫通穴の左端をおねじ部２４ａに当
てがって回転駆動部２８を遡して挿着し、挿着完了後に
腕９を後く。

又、６個の試料４の分析は、回転駆動部２８を６０’づ
つ遇して行ない、全部完了後に腕９を後退させて上記作
業を繰り返す。

又、軸駆動部２９を駆動させることで、−個の試料の槽
数箇所のデータを得られるので、データの精度を上げる
こともできる。

したがって、本発明によれば、準備室７での試料４の装
着回数を減らし、ふた７ａの開放による準備室７の真空
引きの作業が減り、真空ポンプの運転時間を減らして、
装置の稼動率を上げることのできる分析装置の試料供給
機構を）ｑることかできる。

〔発明の効果〕

以上、本発明によれば、内部の試料設定部にイオンビー
ムが照射される真空容器の側壁に仕切弁を介して連通さ
れた真空ポンプ付の準備室内に、先端に取付具を介して
装着された試料を試料設定部に供給し取り出す腕が進退
自在に設けられた分析装置において、真空容器の側壁に
上記設定部に突き出た第１の嵌合部を駆動する駆動部を
設けるとともに、上記試料取付具の軸心に上記第１の嵌
合部に嵌合する第２の嵌合部を設け、上記取付具の外周
に上記軸心と同軸の正多角形の試料取付面を設けて、試
料の供給を容易にし、真空ポンプの運転時間を減らした
ので、省エネで装置の稼動率を上げることのできる分析
装置の試料供給機構を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の分析装置の試料供給機構の一実施例を
示す図、第２図と第３図は第１図の要部詳細図、第４図
は本発明の分析装置の試料供給機要部詳細図である。 ４・・・試料 ９・・・腕 １３・・・真空ポンプ ２７・・・試料設定部 ７・・・準備室 １０・・・真空容器 ２０・・・取付具 ２８・・・回転駆動部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 真空容器内の設定部に供給された試料にイオンビームが
   照射され、前記真空容器の側壁に仕切弁を介して真空ポ
   ンプ付の準備室が連結され、この準備室に先端の取付具
   を介して装着された試料を前記設定部に供給し取り出す
   腕が進退自在に設けられた分析装置において、 前記真空容器の側壁に前記設定部に突き出た第１の嵌合
   部を駆動する駆動部を設け、前記取付具の軸心に前記第
   １の嵌合部と嵌合する第２の嵌合部を設け、前記取付具
   の外周に前記軸心と同軸の正多角形の試料取付面を設け
   たことを特徴とする分析装置の試料供給機構。