JPH0210379B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0210379B2 JPH0210379B2 JP60237282A JP23728285A JPH0210379B2 JP H0210379 B2 JPH0210379 B2 JP H0210379B2 JP 60237282 A JP60237282 A JP 60237282A JP 23728285 A JP23728285 A JP 23728285A JP H0210379 B2 JPH0210379 B2 JP H0210379B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sound wave
- ultrasonic
- lens
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡に関する。
近年1GHzに及ぶ超音周波の音波の発生検出が
可能となつたので、水中で約1μｍの音波長が実
現できることになり、その結果、高い分解能の音
波撮像装置が得られるようになつた。即ち、凹面
レンズを用いて集束音波ビームを作り、1μｍに
及ぶ高い分解能を実現するのである。
可能となつたので、水中で約1μｍの音波長が実
現できることになり、その結果、高い分解能の音
波撮像装置が得られるようになつた。即ち、凹面
レンズを用いて集束音波ビームを作り、1μｍに
及ぶ高い分解能を実現するのである。
上記ビーム中に試料をそう入し、試料による反
射超音波を検出して試料の微細領域の弾性的性質
を解明したり、或は試料を機械的に２次元に走査
しながら、この信号の強度をブラウン管の輝度信
号として表示すれば、試料の微細構造を拡大して
みることができる。この例は例えば特開昭50−
116058号に示される。
射超音波を検出して試料の微細領域の弾性的性質
を解明したり、或は試料を機械的に２次元に走査
しながら、この信号の強度をブラウン管の輝度信
号として表示すれば、試料の微細構造を拡大して
みることができる。この例は例えば特開昭50−
116058号に示される。
第１図は、その超音波顕微鏡の主要構成部を示
す図である。超音波の集束及び送受は球面レンズ
１により行つているが、その構造は円柱状の熔融
石英等をもちいた物質の一面を光学研磨し、その
上に上下電極３によりはさまれたZnOなどの圧電
薄膜２を形成する。このようにサンドウイツチ構
造になつている圧電薄膜２に、パルス発振器４か
ら発生されたパルス５を印加して、超音波６を発
生させる。また、他端部は口径0.1mmφ〜1.0mmφ
程度の凹面状の半球穴が形成されており、この半
球穴と試料との間には、超音波６を試料７に伝播
させるための媒質（例えば水）８が満されてい
る。
す図である。超音波の集束及び送受は球面レンズ
１により行つているが、その構造は円柱状の熔融
石英等をもちいた物質の一面を光学研磨し、その
上に上下電極３によりはさまれたZnOなどの圧電
薄膜２を形成する。このようにサンドウイツチ構
造になつている圧電薄膜２に、パルス発振器４か
ら発生されたパルス５を印加して、超音波６を発
生させる。また、他端部は口径0.1mmφ〜1.0mmφ
程度の凹面状の半球穴が形成されており、この半
球穴と試料との間には、超音波６を試料７に伝播
させるための媒質（例えば水）８が満されてい
る。
圧電薄膜２によつて発生した超音波６は円柱の
中を平面波となつて伝播する。この平面波が半球
穴に達すると石英（音速5600m／ｓ）と水（音速
1500m／ｓ）との音速の差により屈折作用が生
じ、試料７面上に集束した超音波６を照射するこ
とができる。逆に試料７から反射されてくる超音
波は球面レンズにより集音整相され、平面波とな
つて圧電薄膜２に達し、ここでRF信号９に変換
される。このRF信号９を受信器１０で受信し、
ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換
し、CRTデイスプレイ１２の入力信号として用
いている。
中を平面波となつて伝播する。この平面波が半球
穴に達すると石英（音速5600m／ｓ）と水（音速
1500m／ｓ）との音速の差により屈折作用が生
じ、試料７面上に集束した超音波６を照射するこ
とができる。逆に試料７から反射されてくる超音
波は球面レンズにより集音整相され、平面波とな
つて圧電薄膜２に達し、ここでRF信号９に変換
される。このRF信号９を受信器１０で受信し、
ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換
し、CRTデイスプレイ１２の入力信号として用
いている。
この様に構成された装置において、試料７が試
料台駆動電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に
走査していると試料の走査にともなう試料面から
の反射の強弱が２次元的にCRT面１２に表示さ
れる。
料台駆動電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に
走査していると試料の走査にともなう試料面から
の反射の強弱が２次元的にCRT面１２に表示さ
れる。
而して、一般に超音波は物体の表面で一部分は
反射するが、かなりの部分は物体が光学的に透明
かどうかに関係なく、その中にはいつてゆき、物
体内部に存在する硬さや、密度、粘性の違いや欠
陥などを反映したエコーとなつて返つてくる。こ
の性質を利用して試料内部の様相を検出できるの
が超音波顕微鏡である。
反射するが、かなりの部分は物体が光学的に透明
かどうかに関係なく、その中にはいつてゆき、物
体内部に存在する硬さや、密度、粘性の違いや欠
陥などを反映したエコーとなつて返つてくる。こ
の性質を利用して試料内部の様相を検出できるの
が超音波顕微鏡である。
上述のように構成された超音波顕微鏡を長時間
にわたつて移動させ、試料の観察を試みている
と、圧電物質から発生させる超音波の強度は装置
製作当初と変りないが、取得される信号強度が
徐々に減衰していることが判明した。
にわたつて移動させ、試料の観察を試みている
と、圧電物質から発生させる超音波の強度は装置
製作当初と変りないが、取得される信号強度が
徐々に減衰していることが判明した。
この原因を究明してみると球面レンズの凹面部
に、媒質中に含まれている不純物や、試料から放
射された物質（生物試料などの観察時に多い）な
どが付着するために凹球レンズ凹面境界での超音
波の減衰があることが判明した。
に、媒質中に含まれている不純物や、試料から放
射された物質（生物試料などの観察時に多い）な
どが付着するために凹球レンズ凹面境界での超音
波の減衰があることが判明した。
本発明は、以上の点を鑑みてなされたもので、
その目的は球面レンズの凹面部に付着した物質を
とりのぞくことができ、常に高い信号強度で試料
の観察が行なえる超音波顕微鏡を提供するにあ
る。
その目的は球面レンズの凹面部に付着した物質を
とりのぞくことができ、常に高い信号強度で試料
の観察が行なえる超音波顕微鏡を提供するにあ
る。
本発明は超音波深触子の凹面部に対向して、軟
弱繊維束よりなる洗浄用軟弱物質を対向して移動
可能に配置し、これに洗浄用液体及び圧縮空気を
供給するようにした構成に特徴を有する。
弱繊維束よりなる洗浄用軟弱物質を対向して移動
可能に配置し、これに洗浄用液体及び圧縮空気を
供給するようにした構成に特徴を有する。
第２図は本発明の一実施例を示す図である。図
において、試料７を塔載する試料台の下部に軟弱
繊維束１４を支持台１５に固定する。また支持台
１５にはパイプ１６により、常時水などの洗浄用
液体を供給している。また同じく支持台に取りつ
けられているパイプ１７からは圧縮空気が吐出で
きるような構成になつている。図では省略した
が、支持台１５は上下機構及び回転機械をもつて
いる。
において、試料７を塔載する試料台の下部に軟弱
繊維束１４を支持台１５に固定する。また支持台
１５にはパイプ１６により、常時水などの洗浄用
液体を供給している。また同じく支持台に取りつ
けられているパイプ１７からは圧縮空気が吐出で
きるような構成になつている。図では省略した
が、支持台１５は上下機構及び回転機械をもつて
いる。
第３図は、本実施例により球面レンズの凹面部
を洗浄している状態を示すもので、試料７を塔載
する試料台は側方に退けられ支持台１５が矢印
R1で示す如く上昇して、その先端部に取りつけ
てある繊維束１４が凹面部に接触すると、支持台
１５は矢印R2で示すように回転する。所定時間
回転すると、支持台１５は下がり、それと同時に
パイプ１７から圧縮空気（その強さは１Kg／cm2）
が吐出し、この圧縮空気が繊維束１４の中を通つ
て吹き出し、瞬時に凹面部に附着している水滴及
び附着部を吹きとばしてしまう。
を洗浄している状態を示すもので、試料７を塔載
する試料台は側方に退けられ支持台１５が矢印
R1で示す如く上昇して、その先端部に取りつけ
てある繊維束１４が凹面部に接触すると、支持台
１５は矢印R2で示すように回転する。所定時間
回転すると、支持台１５は下がり、それと同時に
パイプ１７から圧縮空気（その強さは１Kg／cm2）
が吐出し、この圧縮空気が繊維束１４の中を通つ
て吹き出し、瞬時に凹面部に附着している水滴及
び附着部を吹きとばしてしまう。
以上述べた如く、本発明によれば、試料観察中
に球面レンズの凹面部に附着した汚れの影響によ
り、音波を適確に集音することが困難であつたも
のが容易に解決することができる。
に球面レンズの凹面部に附着した汚れの影響によ
り、音波を適確に集音することが困難であつたも
のが容易に解決することができる。
第１図は超音波顕微鏡の構成を示す図、第２図
は本発明の一実施例の構成を示す図、第３図は、
その動作を説明する図である。
は本発明の一実施例の構成を示す図、第３図は、
その動作を説明する図である。
Claims (1)
- １ 音波伝播体の一端に凹面状の半球穴を設けて
成り、所定の焦点を有する音波レンズと、該音波
レンズの焦点近傍に試料を保持する試料台を有
し、前記音波レンズから液体媒質を介して前記試
料に超音波を照射し、前記試料からのじよう乱音
波により前記試料を撮像する超音波顕微鏡におい
て、軟弱繊維束よりなる洗浄用軟弱物質と、該洗
浄軟弱物質を保持し、かつ前記音波レンズの半球
穴に向つて移動して前記半球穴に洗浄用軟弱物質
を接触させるとともに回転させる移動手段を有す
る支持台と、前記洗浄用軟弱物質に洗浄用液体及
び圧縮空気を供給する手段を備えたことを特徴と
する超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237282A JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237282A JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105457A JPS61105457A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH0210379B2 true JPH0210379B2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=17013078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60237282A Granted JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105457A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2588808B2 (ja) * | 1991-12-16 | 1997-03-12 | 本田技研工業株式会社 | カップ状歯付製品の成形方法 |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60237282A patent/JPS61105457A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61105457A (ja) | 1986-05-23 |
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