JPH0210458U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0210458U JPH0210458U JP8451088U JP8451088U JPH0210458U JP H0210458 U JPH0210458 U JP H0210458U JP 8451088 U JP8451088 U JP 8451088U JP 8451088 U JP8451088 U JP 8451088U JP H0210458 U JPH0210458 U JP H0210458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- vacuum evaporation
- hearth liner
- holds
- tile
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の第一実施例である真空蒸着装
置用半球型るつぼを示す図、第２図は第１図の側
面断面図、第３図は本考案の第二実施例である真
空蒸着装置用半箱型るつぼを示す図、第４図は第
３図の側面断面図、第５図は従来の真空蒸着装置
用半箱型るつぼの側面断面図、第６図は従来の真
空蒸着装置用半箱型るつぼの蒸着中の温度分布の
解析例を示す図である。 １…るつぼ本体、１ａ…水冷部、２…湾曲板状
のタイル、３〜７…平板状のタイル、８…冷却水
、９…ハースライナ、１０…蒸着用溶融金属。
置用半球型るつぼを示す図、第２図は第１図の側
面断面図、第３図は本考案の第二実施例である真
空蒸着装置用半箱型るつぼを示す図、第４図は第
３図の側面断面図、第５図は従来の真空蒸着装置
用半箱型るつぼの側面断面図、第６図は従来の真
空蒸着装置用半箱型るつぼの蒸着中の温度分布の
解析例を示す図である。 １…るつぼ本体、１ａ…水冷部、２…湾曲板状
のタイル、３〜７…平板状のタイル、８…冷却水
、９…ハースライナ、１０…蒸着用溶融金属。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 溶融金属を保持するハースライナと該ハースラ
イナを保持しかつ冷却するるつぼ本体からなる真
空蒸着装置用るつぼにおいて、 前記ハースライナは、複数の湾曲板状又は平板
状のタイルで構成し、該タイルは隣接するタイル
とのかみ合せのための凹部又は凸部を有すること
を特徴とする真空蒸着装置用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451088U JPH0210458U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451088U JPH0210458U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210458U true JPH0210458U (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=31309196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8451088U Pending JPH0210458U (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0210458U (ja) |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP8451088U patent/JPH0210458U/ja active Pending