JPH02105109U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02105109U JPH02105109U JP1417989U JP1417989U JPH02105109U JP H02105109 U JPH02105109 U JP H02105109U JP 1417989 U JP1417989 U JP 1417989U JP 1417989 U JP1417989 U JP 1417989U JP H02105109 U JPH02105109 U JP H02105109U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- emitting element
- micro
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図ａは本考案の微小位置センサの縦断面図
、第１図ｂは本考案の微小位置センサの光源に用
いる薄膜ＥＬの斜視図、第２図は本考案の微小位
置センサの光源に用いる別の構造の薄膜ＥＬの斜
視図である。また、第３図、第４図は従来の位置
センサの構造図である。 以上第１図〜第４図の中の主要な部分の符号は
、１０……ＬＥＤアレイ、１１……セラミツク基
板、１２……被測定物、１３……薄膜ＥＬ、であ
る。
、第１図ｂは本考案の微小位置センサの光源に用
いる薄膜ＥＬの斜視図、第２図は本考案の微小位
置センサの光源に用いる別の構造の薄膜ＥＬの斜
視図である。また、第３図、第４図は従来の位置
センサの構造図である。 以上第１図〜第４図の中の主要な部分の符号は
、１０……ＬＥＤアレイ、１１……セラミツク基
板、１２……被測定物、１３……薄膜ＥＬ、であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 発光素子と受光素子とをお互いに向かい合わせ
、これらの間に挿入された被測定物の位置を検出
する微小位置センサにおいて、 前記発光素子として薄膜ＥＬを用い、この薄膜
ＥＬ素子を微小セグメントに分割し、これを時分
割駆動によつて発光させ、被測定物によつて遮断
される光の有無を発光素子で読み取ることによつ
て被測定物の位置を検出することを特徴とした微
小位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1417989U JPH02105109U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1417989U JPH02105109U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105109U true JPH02105109U (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=31225146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1417989U Pending JPH02105109U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105109U (ja) |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP1417989U patent/JPH02105109U/ja active Pending
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