JPH0272906U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0272906U JPH0272906U JP15164788U JP15164788U JPH0272906U JP H0272906 U JPH0272906 U JP H0272906U JP 15164788 U JP15164788 U JP 15164788U JP 15164788 U JP15164788 U JP 15164788U JP H0272906 U JPH0272906 U JP H0272906U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- thin film
- position sensor
- micro
- segments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図ａは本考案の微小位置センサの部分断面
図、第１図ｂは本考案の微小位置センサの被測定
物からみた場合の平面図、第２図は本考案の微小
位置センサの縦断面図の部分拡大図である。第３
図は従来例の微小位置センサの斜視図。第４図は
従来例の微小位置センサの縦断面の部分拡大図で
ある。 １３…受光素子、１４…被測定物、１５…薄膜
ＥＬ素子、１６…ガラス基板、１７…透明電極、
１８…絶縁層１、１９…発光層、２０…絶縁層２
、２１…金属電極、２２…カバーガラス、２３…
小孔、２４…微小位置センサ。
図、第１図ｂは本考案の微小位置センサの被測定
物からみた場合の平面図、第２図は本考案の微小
位置センサの縦断面図の部分拡大図である。第３
図は従来例の微小位置センサの斜視図。第４図は
従来例の微小位置センサの縦断面の部分拡大図で
ある。 １３…受光素子、１４…被測定物、１５…薄膜
ＥＬ素子、１６…ガラス基板、１７…透明電極、
１８…絶縁層１、１９…発光層、２０…絶縁層２
、２１…金属電極、２２…カバーガラス、２３…
小孔、２４…微小位置センサ。
Claims (1)
- 薄膜ＥＬ素子を微小セグメントに分割し、これ
を時分割駆動によつて発光させ、被測定物によつ
て反射された光を、上記薄膜ＥＬ素子の各セグメ
ント発光部の一部に形成した透明部から受光素子
で読み取ることを特徴とした微小位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15164788U JPH0272906U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15164788U JPH0272906U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272906U true JPH0272906U (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=31425874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15164788U Pending JPH0272906U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272906U (ja) |
-
1988
- 1988-11-21 JP JP15164788U patent/JPH0272906U/ja active Pending