JPH0210515A - 磁気ヘッドの加工方法 - Google Patents
磁気ヘッドの加工方法Info
- Publication number
- JPH0210515A JPH0210515A JP16148388A JP16148388A JPH0210515A JP H0210515 A JPH0210515 A JP H0210515A JP 16148388 A JP16148388 A JP 16148388A JP 16148388 A JP16148388 A JP 16148388A JP H0210515 A JPH0210515 A JP H0210515A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- slider
- mask
- floating surface
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドの加工方法に関し、特にフェライト
、アルミナ・チタンカーバイド等のセラミック製磁気ヘ
ッド浮揚面のスライダレールが曲線形状を有する磁気ヘ
ッドの加工方法に関する。
、アルミナ・チタンカーバイド等のセラミック製磁気ヘ
ッド浮揚面のスライダレールが曲線形状を有する磁気ヘ
ッドの加工方法に関する。
従来、磁気ディスク装置の高密度記録化を達成するため
には、アクセス時間を増加させることなく、磁気ディス
ク媒体と磁気ヘッドの浮揚すき間を微小にすることが必
要であり、この目的に適合するための磁気ヘッド形状が
各種提案されている。
には、アクセス時間を増加させることなく、磁気ディス
ク媒体と磁気ヘッドの浮揚すき間を微小にすることが必
要であり、この目的に適合するための磁気ヘッド形状が
各種提案されている。
例えば、第３図は従来の一例を説明するためのスライダ
レールを平行直線状にした磁気ヘッドの斜視図である。
レールを平行直線状にした磁気ヘッドの斜視図である。
第３図に示すように、従来の磁気ヘッドは磁気ヘッド浮
揚面のスライダレール３１．３２が平行直線になってお
り、従って形成された窪み３３も平行に形成される。尚
、３４．３５は磁気変換器を表わす。かかる磁気ヘッド
の窪み３３を形成する場合は、回転する研削砥石が切込
んでスライダレール３１．３２に沿って平行移動するこ
とにより形成している。
揚面のスライダレール３１．３２が平行直線になってお
り、従って形成された窪み３３も平行に形成される。尚
、３４．３５は磁気変換器を表わす。かかる磁気ヘッド
の窪み３３を形成する場合は、回転する研削砥石が切込
んでスライダレール３１．３２に沿って平行移動するこ
とにより形成している。
また、第４図は第３図に示す磁気ヘッドを改良した浮揚
面のスライダレールがテーパ部を有した曲線形状の磁気
ヘッドの斜視図である。
面のスライダレールがテーパ部を有した曲線形状の磁気
ヘッドの斜視図である。
第４国に示すように、かかる磁気ヘッドの加工は、磁気
変換器４４．４５を有するスライダレール４１．４２が
テーパー状の曲線形状をしている場合、中央部の窪み４
３もそれにつれて曲線形状を有する。従って、この場合
は複雑且つ精密な加工技術が要求される。
変換器４４．４５を有するスライダレール４１．４２が
テーパー状の曲線形状をしている場合、中央部の窪み４
３もそれにつれて曲線形状を有する。従って、この場合
は複雑且つ精密な加工技術が要求される。
上述した加工方法は、スライダレールが曲線形状の場合
、中央部の窪み（例えば、深さ２０μｍ）を従来の研削
加工で形成することは不可能であるという欠点がある。
、中央部の窪み（例えば、深さ２０μｍ）を従来の研削
加工で形成することは不可能であるという欠点がある。
本発明の目的は、セラミック製の磁気ヘッドに曲線形状
のスライダレールを形成する磁気ヘッドの加工方法を提
供することにある。
のスライダレールを形成する磁気ヘッドの加工方法を提
供することにある。
本発明の磁気ヘッドの加工方法は、磁気変換器を保持し
、浮揚面のスライダレールが曲線形状の磁気ヘッドを得
るため、磁気ヘッドのスライダ浮揚面に所要のく形成し
ようとする）窪み形状に対応した開口部を有するマスク
を接着剤またはワックスで接合した後、前記磁気ヘッド
をスライダ材と熱反応性を有するエツチング液に浸し、
前記メタルマスク開口部にレーザを照射して前記磁気ヘ
ッドスライダ浮揚面に所要の窪みを形成する。この場合
、マスクおよび接着剤またはワックスはエツチング液に
対して耐蝕性を有するものを用いる。
、浮揚面のスライダレールが曲線形状の磁気ヘッドを得
るため、磁気ヘッドのスライダ浮揚面に所要のく形成し
ようとする）窪み形状に対応した開口部を有するマスク
を接着剤またはワックスで接合した後、前記磁気ヘッド
をスライダ材と熱反応性を有するエツチング液に浸し、
前記メタルマスク開口部にレーザを照射して前記磁気ヘ
ッドスライダ浮揚面に所要の窪みを形成する。この場合
、マスクおよび接着剤またはワックスはエツチング液に
対して耐蝕性を有するものを用いる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を説
明するための磁気ヘッド試料とマスクとの位置関係を示
す平面図及び側面図である。
明するための磁気ヘッド試料とマスクとの位置関係を示
す平面図及び側面図である。
第１図（ａ）、（ｂ）に示すように、アルミナ・チタン
カーバイドセラミック製の磁気ヘッド試料１１の浮揚面
を上面にして、磁気ヘッド試料１１と同じ厚さのダミー
試料１２を磁気変換器１３が形成されている磁気ヘッド
試料１１の側面にコールタール系のワックス（耐アルカ
リ性）１４を用いて接合する。これは磁気変換器１３の
側面部をアルカリ性のエツチング液から保護するための
ものである。次に、形成しようとする窪み形状に一致し
たマスク開口部１５を有するステンレス製のメタルマス
ク１６を磁気ヘッド試料１１の上面にコールタール系ワ
ックス１７で接合する。これにより、磁気変換器１３の
上面がエツチング液から保護される。
カーバイドセラミック製の磁気ヘッド試料１１の浮揚面
を上面にして、磁気ヘッド試料１１と同じ厚さのダミー
試料１２を磁気変換器１３が形成されている磁気ヘッド
試料１１の側面にコールタール系のワックス（耐アルカ
リ性）１４を用いて接合する。これは磁気変換器１３の
側面部をアルカリ性のエツチング液から保護するための
ものである。次に、形成しようとする窪み形状に一致し
たマスク開口部１５を有するステンレス製のメタルマス
ク１６を磁気ヘッド試料１１の上面にコールタール系ワ
ックス１７で接合する。これにより、磁気変換器１３の
上面がエツチング液から保護される。
第２図は本発明の一実施例を説明するための磁気ヘッド
の加工装置の断面図である。
の加工装置の断面図である。
第２図に示すように、メタルマスク１６を接合した磁気
ヘッド試料１１をアルミナ・チタンカーバイドと熱反応
性を有する水酸化カリウムからなるエツチング液１８が
入った容器１９中に配置する０次に、アルゴンレーザ発
振器２０からレーザ（出力３Ｗ）を発振させ、ミラー２
１によりレーザビームの方向を変え、レンズ２２により
レーザビームを集光させ、磁気ヘッド試料１１のメタル
マスク１６の開口部にレーザを照射する。このとき、エ
ツチング液１８の容器１９を移動台２３を用いて動かし
、レーザビームをメタルマスク１６の開口部の中でピッ
チ１０μｍで往復運動（速度１０００μｍ／５ｅｃ）さ
せる、これにより、レーザ照射された磁気ヘッド試料（
アルミナ・チタンカーバイド製）１１は熱反応性の水酸
化カリウムエツチング液１８によりエツチングされ、マ
スク開口部１５に対応して曲線形状の窪み（深さ２０μ
ｍ）２４が加工できる。次に加工後、ワックス１４．１
７を溶剤（例えばトリクロロエタン）で溶かし、メタル
マスク１６を外せば、第４図に示すように、磁気ヘッド
のスライダレール４１゜４２が曲線形状を有する磁気ヘ
ッドが得られる。
ヘッド試料１１をアルミナ・チタンカーバイドと熱反応
性を有する水酸化カリウムからなるエツチング液１８が
入った容器１９中に配置する０次に、アルゴンレーザ発
振器２０からレーザ（出力３Ｗ）を発振させ、ミラー２
１によりレーザビームの方向を変え、レンズ２２により
レーザビームを集光させ、磁気ヘッド試料１１のメタル
マスク１６の開口部にレーザを照射する。このとき、エ
ツチング液１８の容器１９を移動台２３を用いて動かし
、レーザビームをメタルマスク１６の開口部の中でピッ
チ１０μｍで往復運動（速度１０００μｍ／５ｅｃ）さ
せる、これにより、レーザ照射された磁気ヘッド試料（
アルミナ・チタンカーバイド製）１１は熱反応性の水酸
化カリウムエツチング液１８によりエツチングされ、マ
スク開口部１５に対応して曲線形状の窪み（深さ２０μ
ｍ）２４が加工できる。次に加工後、ワックス１４．１
７を溶剤（例えばトリクロロエタン）で溶かし、メタル
マスク１６を外せば、第４図に示すように、磁気ヘッド
のスライダレール４１゜４２が曲線形状を有する磁気ヘ
ッドが得られる。
この場合、前述したように、磁気ヘッドの磁気変換器４
４．４５は耐エツチング液性のワックスで保護されてい
なので、磁気特性を測定しても加工による磁気変換器の
特性の変化は認められない。
４．４５は耐エツチング液性のワックスで保護されてい
なので、磁気特性を測定しても加工による磁気変換器の
特性の変化は認められない。
なお、本実施例においては、磁気ヘッドスライダ材とし
てアルミナ・チタンカーバイドを用いたがフェライトを
用いても良い。また、エッチング液として水酸化カリウ
ムを用いたが、水酸化ナトリウムを用いても良い。また
、レーザとしてアルゴンレーザを用いたが、ＹＡＧレー
ザ、エキシマレーザ（ＫｒＦ、ＡｒＦレーザ）等を用い
ても同様な効果が得られる。また、接合剤としてコール
タール系のワックスを用いたが、耐アルカリ性の接着剤
（例えばホルマール系接着剤）を用いても同様な効果が
得られる。
てアルミナ・チタンカーバイドを用いたがフェライトを
用いても良い。また、エッチング液として水酸化カリウ
ムを用いたが、水酸化ナトリウムを用いても良い。また
、レーザとしてアルゴンレーザを用いたが、ＹＡＧレー
ザ、エキシマレーザ（ＫｒＦ、ＡｒＦレーザ）等を用い
ても同様な効果が得られる。また、接合剤としてコール
タール系のワックスを用いたが、耐アルカリ性の接着剤
（例えばホルマール系接着剤）を用いても同様な効果が
得られる。
以上説明したように、本発明の磁気ヘッドの加工方法は
磁気ヘッドの浮揚面に所要の窪み形状に一致した開口部
を有するマスクを接着剤またはワックスで接合し、この
磁気ヘッドを磁気ヘッドスライダ材と熱反応性を有する
エツチング液に浸し、前記マスク開口部にレーザを照射
して前記磁気ヘッドの浮揚面に所要の窪みを形成するこ
とにより、スライダレールが曲線形状を有する場合も容
易に製作できるという効果がある。
磁気ヘッドの浮揚面に所要の窪み形状に一致した開口部
を有するマスクを接着剤またはワックスで接合し、この
磁気ヘッドを磁気ヘッドスライダ材と熱反応性を有する
エツチング液に浸し、前記マスク開口部にレーザを照射
して前記磁気ヘッドの浮揚面に所要の窪みを形成するこ
とにより、スライダレールが曲線形状を有する場合も容
易に製作できるという効果がある。
また１本発明の加工方法は、多数の所要の開口部を有す
るメタルマスクを配列された磁気ヘッド試料に接合する
ことができ、多数の磁気ヘッドを一括処理できるという
効果がある。
るメタルマスクを配列された磁気ヘッド試料に接合する
ことができ、多数の磁気ヘッドを一括処理できるという
効果がある。
さらに、接合に用いたワックス、接着剤は溶剤で簡単に
除去できるので生産性が高いという効果がある。
除去できるので生産性が高いという効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を説
明するための磁気ヘッド試料とメタルマスクとの位置関
係を示す平面図及び側面図、第２図は本発明の一実施例
を説明するための磁気ヘッドの加工装置の断面図、第３
図は従来の一例を説明するためのスライダレールが平行
直線状の磁気ヘッドの斜視図、第４図は第３図に示す磁
気ヘッドを改良したスライダレールがテーパ部を有した
曲線状の磁気ヘッドの斜視図である。 １１・・・磁気ヘッド試料、１２・・・ダミー試料、１
３・・・磁気変換器、１４．１７・・・ワックス、１５
・・・マスク開口部、１６・・・メタルマスク、１８・
・・エツチング液、１９・・・容器、２０・・・レーザ
発振器、２１・・・ミラー、２２・・・レンズ、２３・
・・移動台、２４・・・形成された窪み。
明するための磁気ヘッド試料とメタルマスクとの位置関
係を示す平面図及び側面図、第２図は本発明の一実施例
を説明するための磁気ヘッドの加工装置の断面図、第３
図は従来の一例を説明するためのスライダレールが平行
直線状の磁気ヘッドの斜視図、第４図は第３図に示す磁
気ヘッドを改良したスライダレールがテーパ部を有した
曲線状の磁気ヘッドの斜視図である。 １１・・・磁気ヘッド試料、１２・・・ダミー試料、１
３・・・磁気変換器、１４．１７・・・ワックス、１５
・・・マスク開口部、１６・・・メタルマスク、１８・
・・エツチング液、１９・・・容器、２０・・・レーザ
発振器、２１・・・ミラー、２２・・・レンズ、２３・
・・移動台、２４・・・形成された窪み。
Claims (1)
- 磁気ヘッドのスライダ浮揚面に所要の窪み形状に一致し
た開口部を有するマスクをワックスまたは接着剤で接合
した後、前記磁気ヘッドをスライダ材と熱反応性を有す
るエッチング液に浸し、前記マスク開口部にレーザを照
射して前記磁気ヘッドスライダ浮揚面に所要の窪みを形
成することを特徴とする磁気ヘッドの加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16148388A JPH0210515A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 磁気ヘッドの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16148388A JPH0210515A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 磁気ヘッドの加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210515A true JPH0210515A (ja) | 1990-01-16 |
Family
ID=15735941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16148388A Pending JPH0210515A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 磁気ヘッドの加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0210515A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5373397A (en) * | 1992-01-08 | 1994-12-13 | Olympus Optical Co. Ltd. | Lens barrel of short length having the capability of a large zooming magnification and a zoom lens capable of a large forward movement |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP16148388A patent/JPH0210515A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5373397A (en) * | 1992-01-08 | 1994-12-13 | Olympus Optical Co. Ltd. | Lens barrel of short length having the capability of a large zooming magnification and a zoom lens capable of a large forward movement |
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