JPH02106269A - 異状装填検知器を有する研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウエノ・やメモリーディスクなどの被加工物の
研磨に行う研磨機およびポリシャにおいて、被加工物の
異状装填を検知する検知器を設けた異状装填検知器を有
する研磨機に関するものである。

〔従来の技術〕

従来使用されている両面研磨機の場合で説明する。第４
図に示すように上定盤ｌと下定盤２は不図示の駆動源に
よりそれぞれ単独に駆動されている。また、上定盤ｌは
上定盤保持板３に取付けられ、上定盤保持板３は保持軸
４に不図示の自動調心型軸受金倉して取付けられている
。そのため上定盤１は下定盤２に対して若干傾いても回
転可能となっている。上定盤ｌと下定盤２の間にを工、
円板状で内側にウニ・・等の被加工物５を平面状に保持
するための被加工物保持穴６を有するとともに外周面に
歯部を設け、内歯車７と太陽歯車８に噛合い自転しなが
ら公転するキャリア９が複数個セットされている。また
、上定盤１と下定盤２の対向面にはそれぞれ不図示の研
磨布が貼られている。

また、研磨加工に必要な研磨剤供給手段１２が上定盤ｌ
から上部に設けられており、この研磨剤供給手段１２は
上定盤１の上部中央に設けた上定盤保持板３に取付けの
研磨剤受１３と、研磨剤受１３から上定盤１を上下方向
に貫通して設けた研磨剤供給口１４との間に配設したチ
ューブ１５から構成されており、研磨剤は不図示の研磨
剤供給ラインから研磨剤受１３に供給され次にチューブ
１５、研磨剤供給口１４ヲ流下し、被加工物５に供給さ
れるようになっている。従来、被加工物の異状装填検知
装置等は特に設けられていない。

なお、上定盤ｌ、上定盤保持板３等は下定盤２上にキャ
リア９を残して上昇し、下定盤２から離れるようになっ
ている。

以上のように構成されており研磨加工においてはキャリ
ア９の被加工物保持穴６にウェハ等の被加工物５を保持
させ研磨剤を供給するとともに上定盤１．！：下定盤２
で被加工物５を押圧しながらキャリア９全自転、公転さ
せ上、下定盤１．２の相対運動により研磨加工が行なわ
れる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ウェハやメモリーディスク等の被加工物５の研磨加工に
際して、キャリア９の被加工物保持穴６内に被加工物が
装填され、第５図に示すように被加工物５が被加工物保
持穴６内に完全に入らず一部がキヤＩＪア９に載置され
次状態で上、下定盤間で押圧して研磨加工が行なわれる
場合、正常に装填された他の被加工物５においても均一
な加工圧力が作用しないため、被加工物によって研磨加
工にバラツキが生じる。また、研磨中に正常に装填され
ていない被加工物５が被加工物保持穴６から外れて上、
下定盤間で移動し、割れ易い被加工物５の場合は簡単に
割れ、この割れて飛散した小片が残りの被加工物５の部
分にも侵入し、残りの全数に影響し、ひどい時はキャリ
ア９を破損させ研磨機全も損傷させる場合も起っている
。したがって研磨加工時運転者は研磨機の側に常駐し細
心の注意をはらって監視しなければならないなど問題が
あった。

本発明はこれらの問題を解消するため、被加工物５をキ
ャリア９の被加工物保持穴６内に装填し、上定盤部材を
研磨位置に下降させた時、上定盤部材が正常位置より上
部に持ち上っている場合（異状装填の場合）を検知器で
検知し、被加工物の装填をやり直すことができ、その上
無人運転をも可能にすることができる研磨機全提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、キャリアの保持穴に被加工物を装填して、上
・下定盤間で挾圧して被加工物全研磨する研磨機におい
て、上定盤部材を下降させ、上・下定盤間で被加工物を
挾んだ時、上定盤部材の上下方向の異状位置を検知させ
る検知器を設けて、この検知器により、これより先の運
転を停止させることができる検知器全有する研磨機であ
る。

〔作　用〕

研磨加工に際し、上・下定盤で被加工物を挾んだ時、上
定盤部材の上下方向の異状位置を検知し、被加工物が正
常に装填されるまでこれより先の運転を停止させる。そ
のため被加工物の再装填が可能になるほか、無人運転も
可能となる。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図、両面研磨機の場合で説明す
る。第４図により説明した従来の両面研磨装置と同一部
材は説明済みにつき同一符号を付し説明は省略する。

内歯車の外側に位置するフレーム１６の上面の定盤寄り
に上定盤１の上下方向の異状位置を検知するための検知
器である光電スイッチ１７の取付用支柱】８が数個等ピ
ツチで立設され、これらの支柱１８には光電スイッチ（
反射形）が上定盤の中心に向って、それぞれ光電スイッ
チの光軸が上定盤の上面よりわずか（ウェハ等の厚さよ
り、わずか大きい距離）上になるように取付けられてい
る。

したがって、研磨加工に際してキャリアの被加工物保持
穴６内にウェハやメモリーディスク等の被加工物５ｆｃ
装填して、上定盤１を下降させ上・下定盤間で被加工物
５を挾んだ時、第２図に示すように被加工物５が被加工
物保持穴６内に全体が挿入されず、その一部がキャリア
９に載置されている場合、上定盤１は保持軸４に設けた
不図示の自動調心型の軸受を中心として傾き概略被加工
物５の厚さ分だけ上方に持ち上った位置となる。

このように上定盤１が上方にわずか移動すると光電スイ
ッチ１７より放射された光が上定盤１の側面上部に当た
り反射し、被加工物５の異状装填を検知し、警報を出す
とともに、これより先の運転を停止させる。そこで上定
盤１金上昇させて再度被加工物５？：正しく装填しなお
した後、上定盤１を下降させ研磨剤を供給しなから上・
下定盤を回転させ研磨加工を再開する。被加工物５が正
しく装填された場合は光電スイッチの光軸が上定盤１か
も外れるため検知されず正常運転ができる。

第３図は他の実施例金示すもので、この場合光電スイフ
チの代シに近接スイッチ１９ヲ上定盤１の上方に設けた
もので、被加工物５の異状装填検知は上定盤１の上面と
近接スイフチの距離の差により検知させるものである。

被加工物の装填特上定盤１を上昇させる時は近接スイッ
チが邪魔になるので近接スイッチ１９取付用のアーム２
０ヲ回転式とし、上定盤１の外周より外側に遠ざけてお
く。

その他の構成および動作は第１図の実施例のものと同一
であるので説明は省略する。

前述した実施例では検知器として光電スイッチまたは近
接スイッチを使用したが、上定盤部材の上下位置を検知
できるものであれば他の検知器の使用も可能である。

〔発明の効果〕

検知器を取付は被加工物の異状装填検知が可能になり、
被加工物の再装填ができるため不良品の発生を未然に防
止することができるとともにキャリアおよび機械の損傷
防止も可能となった。また、機械の無人運転が可能とな
るなど顕著な効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例全示すもので、第１
図は正常装填時の断面図、第２図は異状装填時の断面図
、第３図は本発明の他の実施例の断面図、第４図、第５
図は従来研磨機を示すもので、第４図は正常装填時の断
面図、第５図は異状装填時の断面図である。 １・・・・・・上定盤、２・・・・・・下定盤、５・・
・・・・被加工物、６・・・・・・被加工物保持穴、９
・・・・・・キャリア、１７・・・・・光電スイッチ（
検知器）、１９・・・・・・近接スイッチ（検知器）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. キャリアの保持穴に被加工物を装填し、上下定盤間で挾
   圧して被加工物を研磨する研磨機において、前記被加工
   物の異状装填時、上定盤部材の上下方向の異状位置を検
   知する検知器を上定盤部材の近傍に設けたことを特徴と
   する異状装填検知器を有する研磨機。