JPH02106849A - Method of forming fluorescent surface of color picture tube - Google Patents
Method of forming fluorescent surface of color picture tubeInfo
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Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー受像管の蛍光面形成方法に関し、特に
カラー受像管のガラスパネルの内表面にフォトレジスト
を塗布する方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for forming a phosphor screen of a color picture tube, and more particularly to a method of applying a photoresist to the inner surface of a glass panel of a color picture tube.
カラー受像管の蛍光面には、画面の明るさとコントラス
トを向上させるためにガラスパネル内表面に配設された
蛍光体ドツトの間隙を非発光性光吸収物質、例えばカー
ボンブラックで充填した構造の蛍光画面を有するいわゆ
るブラックマトリックス型のものがある。このカラー受
像管のブラックマトリックス蛍光画面の製造工程の一例
は、次に通りである。The phosphor screen of a color picture tube has a structure in which the gaps between phosphor dots placed on the inner surface of the glass panel are filled with a non-luminescent light-absorbing material, such as carbon black, to improve the brightness and contrast of the screen. There is a so-called black matrix type that has a screen. An example of the manufacturing process for the black matrix fluorescent screen of this color picture tube is as follows.
(a)ガラスパネル内面にフォトレジストを塗布し乾燥
する。(a) Apply photoresist to the inner surface of the glass panel and dry.
(b)シャドウマスクを装着し、蛍光体の緑・青・赤発
光部分に相当する部分を紫外光で露光する。(b) Attach a shadow mask and expose the portions of the phosphor corresponding to the green, blue, and red light emitting portions to ultraviolet light.
(C)シャドウマスクを取外し、現像し、光硬化したフ
ォトレジストのドツトを形成する。(C) Remove the shadow mask and develop to form dots of photocured photoresist.
(d)ガラスパネル内面にコロイド状黒色カーボンの如
き、非発光性光吸収物質懸濁液を光硬化しなフォトレジ
ストのドツトの上へ重畳するように塗布し、乾燥する。(d) A suspension of a non-luminescent light-absorbing substance, such as colloidal black carbon, is applied to the inner surface of the glass panel so as to overlap the dots of the non-photocurable photoresist, and dried.
(e)剥離液によって非発光性光吸収物質の付着した光
硬化レジストを破壊し、除去し、前記非発光性光吸収物
質によるマトリックスホールを形成する。(e) The photocured resist to which the non-luminescent light-absorbing substance has been adhered is destroyed and removed by a stripping solution to form matrix holes made of the non-luminescent light-absorbing substance.
(f)緑・青・赤3色の蛍光体スラリーを順次塗布・乾
燥・露光・現像して所定のマトリックスホールに蛍光体
ドツトを得る。(f) Three colored phosphor slurries of green, blue and red are sequentially applied, dried, exposed and developed to obtain phosphor dots in predetermined matrix holes.
(g)その後、金属薄膜を蒸着形成する。(g) After that, a metal thin film is formed by vapor deposition.
上記製法の中で、ガラスパネル内表面にフォ)〜レジス
トを塗布する工程は、フォトレジストの塗膜を均一に形
成する上で特に重要である。つまり、フォトレジストの
塗膜に不均一な部分が存在したり、塗布時に生じるフォ
トレジストの泡による部分的な膜厚の不均一は、フォト
レジストの感度が変わることで露光による光硬化ドツト
の大きさが変化し、結果的に光吸収物質で形成されたブ
ラックマトリックスドツトの大きさが局部的に異常とな
り、蛍光面の外観上の欠点となる。さらにカラー受像管
を動作させた場合に、蛍光画面の局部的な輝度ムラや色
ムラを生じ、品質上問題となる。したがって、フォトレ
ジストをガラスパネル内表面に全体にわたって均一に塗
布することが重要となる。In the above-mentioned manufacturing method, the step of applying resist to the inner surface of the glass panel is particularly important in forming a uniform photoresist coating. In other words, if there are uneven parts in the photoresist coating, or if there are uneven local film thickness due to bubbles in the photoresist that occur during coating, the sensitivity of the photoresist will change, causing the size of the photocured dots due to exposure to light. As a result, the size of the black matrix dots formed from the light-absorbing material becomes locally abnormal, which causes a defect in the appearance of the phosphor screen. Furthermore, when the color picture tube is operated, local brightness and color unevenness occurs on the fluorescent screen, which poses a quality problem. Therefore, it is important to uniformly apply the photoresist to the entire inner surface of the glass panel.
従来のフォトレジストの塗布方法を第3図、第4図によ
って説明する。第1の方法は第3図のように、ガラスパ
ネル8の中心軸(が鉛直線となす角度を90度に保持し
、この中心軸ρを回転軸としてガラスパネル8を回転さ
せながらガラスパネル8に対置した塗布ノズル9からフ
ォトレジスト液10をかけ流しながら塗布する。この時
余剰のフォトレジスト液10′は回収槽11に回収され
る。次に、フォトレジスト液10のかけ流しを中止し、
ガラスパネル8の中心軸gを回転軸として角度を90度
に保持したままガラスパネル8を高速回転させガラスパ
ネル8の内表面にフォトレジスト膜を形成するものであ
る。この方法によれば、ガラスパネル内表面をフォトレ
ジストで完全に覆うのに大量のフォトレジストを必要と
する上に、かけ流した時にフォトレジストの流れた跡や
レジストの泡がガラスパネル内表面に容易に表われ、フ
ォトレジストの膜に部分的な不均一部分が生じ、均一な
フォトレジストの膜が形成されないという欠点があった
。A conventional photoresist coating method will be explained with reference to FIGS. 3 and 4. The first method, as shown in FIG. The photoresist solution 10 is applied while being poured from the coating nozzle 9 placed opposite to the photoresist solution 10. At this time, the excess photoresist solution 10' is collected in the recovery tank 11.Next, the photoresist solution 10 is discontinued from being poured.
A photoresist film is formed on the inner surface of the glass panel 8 by rotating the glass panel 8 at high speed while keeping the angle at 90 degrees with the central axis g of the glass panel 8 as the rotation axis. According to this method, a large amount of photoresist is required to completely cover the inner surface of the glass panel with photoresist, and when it is applied, traces of photoresist and resist bubbles may be left on the inner surface of the glass panel. This problem easily appears, causing local non-uniformity in the photoresist film, resulting in a failure to form a uniform photoresist film.
第2の塗布方法は、まず第4図(a)のように、ガラス
パネル12をガラスパネル12の中心軸(と鉛直線との
なす角度を0度に保持し回転させて、塗布ノズル13に
よりフォトレジスト液14をガラスパネル12に注入す
る。次に第4図(b)のようにガラスパネル12の中心
軸ρと鉛直線とのなす角度を反時計方向に20度になる
まで徐々に傾け、ガラスパネル12の周辺部にフォトレ
ジストをゆきわたらせる。次に第4図(c)のようにガ
ラスパネル12の中心軸(と鉛直線との角度が90度に
なるまて傾け、余剰のフォトレジストをガラスパネル1
2の外へ排出する6次に、高速回転をガラスパネル12
に与え、フォトレジストの膜を形成する。この方法では
、ガラスパネル12の内表面にフォトレジストを拡げる
際にガラスパネル12の中心軸(を回転させながら徐々
に修けるのであるが、ガラスパネル]2の形が矩形であ
るためにフォトレジストがガラスパネル12の周辺部に
流れる時にガラスパネル12の側壁部15にぶつかり泡
を生じさせるので前述のようにフォトレジスト膜の均一
性が損われるのである。さらにガラスパネル12の回転
数と傾斜速度との調整が容易でないという欠点がある。In the second coating method, first, as shown in FIG. The photoresist liquid 14 is injected into the glass panel 12. Next, as shown in FIG. 4(b), the angle between the central axis ρ of the glass panel 12 and the vertical line is gradually tilted counterclockwise until it reaches 20 degrees. , spread the photoresist around the periphery of the glass panel 12. Next, as shown in FIG. Photoresist on glass panel 1
2. 6. Next, high-speed rotation is performed on the glass panel 12.
to form a photoresist film. In this method, when spreading the photoresist on the inner surface of the glass panel 12, the central axis of the glass panel 12 is gradually adjusted by rotating it. When flowing around the periphery of the glass panel 12, it collides with the side wall 15 of the glass panel 12 and generates bubbles, which impairs the uniformity of the photoresist film as described above.Furthermore, the rotational speed and tilting speed of the glass panel 12 The disadvantage is that it is not easy to make adjustments.
才な、余剰レジストをガラスパネル12より外へ排出す
る際にフォトレジストの排出跡が、余剰レジストが多い
なめに出現し、フォトレジストの膜が不均一になる欠点
がある。However, when the excess resist is discharged from the glass panel 12, traces of discharge of the photoresist appear when there is a large amount of excess resist, and the photoresist film becomes uneven.
本発明は、カラー受像管のガラスパネル内面に蛍光面を
形成する際のフォトレジスト塗布にあたり、ガラスパネ
ルの内表面を上向きにし、ガラスパネルの中心軸と鉛直
線との角度を所定の角度に保持しガラスパネルを回転さ
せながらフォトレジストを注入する工程と、回転を停止
させてガラスパネルの内表面に滞留したフォトレジスト
を吸引除去する工程と、再びガラスパネルを回転する工
程とを有することを特徴とする。When applying photoresist to form a phosphor screen on the inner surface of a glass panel of a color picture tube, the present invention turns the inner surface of the glass panel upward and maintains the angle between the central axis of the glass panel and the vertical line at a predetermined angle. The glass panel is then rotated while injecting photoresist, the rotation is stopped and the photoresist that has accumulated on the inner surface of the glass panel is suctioned away, and the glass panel is rotated again. shall be.
次に本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の第1の実施例を説明するための縦断面
図である。よく洗浄されたガラスパネル1をガラスパネ
ル1の中心軸(を回転軸とし、鉛直線とのなす角度を1
5度になるようにガラスパネル1の内表面を上向きにし
て保持し、10〜2ORPMの低速で回転させる。次い
で、フォトレジスト液、例えばポリビニルアルコールと
重クロム酸塩から成る液の一定量(20型の場合的15
0m、R)をガラスパネル1の中央部分に塗布ノズル2
より塗布する。ガラスパネル1は角度がついていて回転
しているのでフォトレジストはパネル中央部より周辺部
にわたり、パネル内表面の全域を覆う。次に矩形のガラ
スパネル1のコーナ一部の任意の一点がガラスパネル1
の中心点Oより最下点0′に位置する点でガラスパネル
1の回転を停止すると、余剰のフォトレジストはそのコ
ーナ一部に滞留する。次いで吸引ノズル3で余剰レジス
トをガラスパネル1の内面より吸引排出する。その後再
びガラスパネル1を150〜200RPMで高速回転さ
せてガラスパネル内面に−様なフォトレジスト膜を形成
する。吸引ノズル3はダイヤフラム型ポンプあるいはア
スピレータ(図示しない)に接続され吸引されたフォト
レジストはろ過処理を行なって回収し再利用される。こ
の際吸引量は所定の時間内に行なう必要があり、ここで
は10 J7 / m i nの吸引量とした。FIG. 1 is a longitudinal sectional view for explaining a first embodiment of the present invention. The center axis of the glass panel 1 (the axis of rotation is the angle between the well-washed glass panel 1 and the vertical line is 1).
The glass panel 1 is held with the inner surface facing upward at an angle of 5 degrees and rotated at a low speed of 10 to 2 ORPM. Then add a certain amount of a photoresist solution, such as a solution consisting of polyvinyl alcohol and dichromate (15 in the case of type 20).
0m, R) to the center of the glass panel 1 using the nozzle 2.
Apply more. Since the glass panel 1 is angled and rotated, the photoresist extends from the center of the panel to the periphery, covering the entire inner surface of the panel. Next, any one point in the corner of the rectangular glass panel 1 is the glass panel 1.
When the rotation of the glass panel 1 is stopped at a point located at the lowest point 0' from the center point O of the glass panel 1, the excess photoresist remains at a part of the corner. Next, the suction nozzle 3 sucks and discharges the excess resist from the inner surface of the glass panel 1. Thereafter, the glass panel 1 is again rotated at a high speed of 150 to 200 RPM to form a --like photoresist film on the inner surface of the glass panel. The suction nozzle 3 is connected to a diaphragm type pump or an aspirator (not shown), and the photoresist sucked in is filtered, recovered, and reused. At this time, the amount of suction must be performed within a predetermined time, and here, the amount of suction was set at 10 J7/min.
ガラスパネル1の中心軸孟と鉛直線とのなす角度は反時
計方向に30度以上になると、フォトレジストがガラス
パネル内表面に沿って流れる速度が速くなりガラスパネ
ル1の側壁部4にぶつがり泡を生じ易くなり、10度以
下になるとガラスパネル1の周辺部にフォトレジストが
塗布されないために、その角度は反時計方向に25度か
ら10度の間が最適であることが実験の結果判明した。When the angle between the central axis of the glass panel 1 and the vertical line exceeds 30 degrees in the counterclockwise direction, the speed at which the photoresist flows along the inner surface of the glass panel increases and it hits the side wall 4 of the glass panel 1. As a result of experiments, it was found that the optimum angle is between 25 degrees and 10 degrees counterclockwise because bubbles are likely to occur and the photoresist will not be applied to the periphery of the glass panel 1 if the angle is less than 10 degrees. did.
ここでは15度の例を示した。この方法によるとガラス
パネル1の内面にフォトレジストの膜を形成するに際し
、ガラスパネル内面でフォトレジスト液の泡を生じるこ
となく塗布でき、ガラスパネル内面よりフォトレジスト
液を排出する際も余剰レジストの溜りがパネル内面に生
じることがなく、溜りによるムラを生じない均一なフォ
トレジスト膜を形成することができた。Here, an example of 15 degrees is shown. According to this method, when forming a photoresist film on the inner surface of the glass panel 1, it is possible to apply the photoresist solution without generating bubbles on the inner surface of the glass panel, and when draining the photoresist solution from the inner surface of the glass panel, excess resist can be removed. No accumulation occurred on the inner surface of the panel, and it was possible to form a uniform photoresist film free from unevenness due to accumulation.
第2図は本発明の第2の実施例を説明するための縦断面
図である。ガラスパネル5の内表面を上向きにし、中心
軸ρを回転軸とし鉛直線とのなす角度を20度に保持し
第1の実施例と同様にフォトレジスト液を塗布ノズル6
より塗布しパネル内面を覆った後に、その後ガラスパネ
ル5の中心軸Jと鉛直線とのなす角度を90度に変え1
30〜150RPMの高速回転を与える。この場合ガラ
スパネル内面のレジスト膜は重力方向に力を受けるので
第1の実施例よりも低い回転数で所望の厚さに容易に調
整することができ、高速回転を行なう場合には通常、フ
ォトレジストの周りへの飛散を防止するために防滴シャ
ッター(図示せず)を介して行なうのであるが、この時
高速回転で飛散したフォトレジストが再び防滴板より返
り、ガラスパネル5の内面にはねるために、回転数はで
きるだけ低い方が良いが、本方法によれば第1の実施例
より回転数を下げることが可能となり、さらに第1の実
施例と同様にガラスパネル内面に均一でムラのないフォ
トレジストの膜を形成することができた。FIG. 2 is a longitudinal sectional view for explaining a second embodiment of the present invention. With the inner surface of the glass panel 5 facing upward, and with the central axis ρ as the rotation axis and the angle between it and the vertical line maintained at 20 degrees, apply photoresist liquid using the nozzle 6 in the same manner as in the first embodiment.
After coating the inner surface of the panel, the angle between the central axis J of the glass panel 5 and the vertical line was changed to 90 degrees.
Provides high speed rotation of 30-150 RPM. In this case, the resist film on the inner surface of the glass panel is subjected to force in the direction of gravity, so it can be easily adjusted to the desired thickness at a lower rotation speed than in the first embodiment. This is done through a drip-proof shutter (not shown) to prevent the resist from scattering around. At this time, the photoresist that has been scattered due to high-speed rotation returns from the drip-proof plate again and is deposited on the inner surface of the glass panel 5. It is better to keep the rotational speed as low as possible in order to prevent the glass from bouncing, but according to this method, it is possible to lower the rotational speed than in the first embodiment. It was possible to form a photoresist film without any
以上のように本発明によれば、カラー受像管のガラスパ
ネル内面に均一で良好なフォトレジストの膜を形成でき
、泡などによる欠点のないブラックマトリックス蛍光面
を得ることができ、その結果カラー受像管動作時に色ム
ラ、輝度ムラのない良好な画像を提供することができる
。As described above, according to the present invention, a uniform and good photoresist film can be formed on the inner surface of the glass panel of a color picture tube, and a black matrix phosphor screen without defects such as bubbles can be obtained. It is possible to provide a good image without color unevenness or brightness unevenness during tube operation.
第1図は本発明の第1の実施例を説明するための断面図
、第2図は本発明の第2の実施例を説明するための断面
図、第3図は従来の例を説明するための断面図、第4図
(a)〜(c)は従来の他の例を説明するための断面図
である。
1.5,8.12・・・ガラスパネル、2,69.13
・・・塗布ノズル、3,7・・・吸引ノズル、4.15
・・・側壁部。Fig. 1 is a sectional view for explaining the first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view for explaining the second embodiment of the invention, and Fig. 3 is a sectional view for explaining the conventional example. FIGS. 4(a) to 4(c) are sectional views for explaining other conventional examples. 1.5, 8.12...Glass panel, 2,69.13
...Application nozzle, 3,7...Suction nozzle, 4.15
...Side wall part.
Claims (1)
あたり、ガラスパネル内表面を上に向けガラスパネルの
中心軸と鉛直線とのなす角度を反時計方向に10度から
25度に保持しながらガラスパネルを回転させフォトレ
ジストを注入する工程と、次いで回転を停止させガラス
パネルの内表面に滞留したフォトレジストを吸引除去す
る工程と、再びガラスパネルを回転する工程とを有する
ことを特徴とするカラー受像管の蛍光面形成方法。When forming a phosphor screen on the inner surface of the glass panel of a color picture tube, turn the inner surface of the glass panel upward and hold the angle between the central axis of the glass panel and the vertical line at 10 to 25 degrees counterclockwise. A collar characterized by comprising the steps of rotating the panel and injecting photoresist, then stopping the rotation and suctioning off the photoresist that has remained on the inner surface of the glass panel, and rotating the glass panel again. Method for forming a phosphor screen in a picture tube.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25862888A JPH02106849A (en) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | Method of forming fluorescent surface of color picture tube |
Applications Claiming Priority (1)
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| JPH02106849A true JPH02106849A (en) | 1990-04-18 |
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| JP25862888A Pending JPH02106849A (en) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | Method of forming fluorescent surface of color picture tube |
Country Status (1)
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-
1988
- 1988-10-13 JP JP25862888A patent/JPH02106849A/en active Pending
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