JPH02106849A - カラー受像管の蛍光面形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラー受像管の蛍光面形成方法に関し、特に
カラー受像管のガラスパネルの内表面にフォトレジスト
を塗布する方法に関する。

〔従来の技術〕

カラー受像管の蛍光面には、画面の明るさとコントラス
トを向上させるためにガラスパネル内表面に配設された
蛍光体ドツトの間隙を非発光性光吸収物質、例えばカー
ボンブラックで充填した構造の蛍光画面を有するいわゆ
るブラックマトリックス型のものがある。このカラー受
像管のブラックマトリックス蛍光画面の製造工程の一例
は、次に通りである。

（ａ）ガラスパネル内面にフォトレジストを塗布し乾燥
する。

（ｂ）シャドウマスクを装着し、蛍光体の緑・青・赤発
光部分に相当する部分を紫外光で露光する。

（Ｃ）シャドウマスクを取外し、現像し、光硬化したフ
ォトレジストのドツトを形成する。

（ｄ）ガラスパネル内面にコロイド状黒色カーボンの如
き、非発光性光吸収物質懸濁液を光硬化しなフォトレジ
ストのドツトの上へ重畳するように塗布し、乾燥する。

（ｅ）剥離液によって非発光性光吸収物質の付着した光
硬化レジストを破壊し、除去し、前記非発光性光吸収物
質によるマトリックスホールを形成する。

（ｆ）緑・青・赤３色の蛍光体スラリーを順次塗布・乾
燥・露光・現像して所定のマトリックスホールに蛍光体
ドツトを得る。

（ｇ）その後、金属薄膜を蒸着形成する。

上記製法の中で、ガラスパネル内表面にフォ）〜レジス
トを塗布する工程は、フォトレジストの塗膜を均一に形
成する上で特に重要である。つまり、フォトレジストの
塗膜に不均一な部分が存在したり、塗布時に生じるフォ
トレジストの泡による部分的な膜厚の不均一は、フォト
レジストの感度が変わることで露光による光硬化ドツト
の大きさが変化し、結果的に光吸収物質で形成されたブ
ラックマトリックスドツトの大きさが局部的に異常とな
り、蛍光面の外観上の欠点となる。さらにカラー受像管
を動作させた場合に、蛍光画面の局部的な輝度ムラや色
ムラを生じ、品質上問題となる。したがって、フォトレ
ジストをガラスパネル内表面に全体にわたって均一に塗
布することが重要となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のフォトレジストの塗布方法を第３図、第４図によ
って説明する。第１の方法は第３図のように、ガラスパ
ネル８の中心軸（が鉛直線となす角度を９０度に保持し
、この中心軸ρを回転軸としてガラスパネル８を回転さ
せながらガラスパネル８に対置した塗布ノズル９からフ
ォトレジスト液１０をかけ流しながら塗布する。この時
余剰のフォトレジスト液１０′は回収槽１１に回収され
る。次に、フォトレジスト液１０のかけ流しを中止し、
ガラスパネル８の中心軸ｇを回転軸として角度を９０度
に保持したままガラスパネル８を高速回転させガラスパ
ネル８の内表面にフォトレジスト膜を形成するものであ
る。この方法によれば、ガラスパネル内表面をフォトレ
ジストで完全に覆うのに大量のフォトレジストを必要と
する上に、かけ流した時にフォトレジストの流れた跡や
レジストの泡がガラスパネル内表面に容易に表われ、フ
ォトレジストの膜に部分的な不均一部分が生じ、均一な
フォトレジストの膜が形成されないという欠点があった
。

第２の塗布方法は、まず第４図（ａ）のように、ガラス
パネル１２をガラスパネル１２の中心軸（と鉛直線との
なす角度を０度に保持し回転させて、塗布ノズル１３に
よりフォトレジスト液１４をガラスパネル１２に注入す
る。次に第４図（ｂ）のようにガラスパネル１２の中心
軸ρと鉛直線とのなす角度を反時計方向に２０度になる
まで徐々に傾け、ガラスパネル１２の周辺部にフォトレ
ジストをゆきわたらせる。次に第４図（ｃ）のようにガ
ラスパネル１２の中心軸（と鉛直線との角度が９０度に
なるまて傾け、余剰のフォトレジストをガラスパネル１
２の外へ排出する６次に、高速回転をガラスパネル１２
に与え、フォトレジストの膜を形成する。この方法では
、ガラスパネル１２の内表面にフォトレジストを拡げる
際にガラスパネル１２の中心軸（を回転させながら徐々
に修けるのであるが、ガラスパネル］２の形が矩形であ
るためにフォトレジストがガラスパネル１２の周辺部に
流れる時にガラスパネル１２の側壁部１５にぶつかり泡
を生じさせるので前述のようにフォトレジスト膜の均一
性が損われるのである。さらにガラスパネル１２の回転
数と傾斜速度との調整が容易でないという欠点がある。

才な、余剰レジストをガラスパネル１２より外へ排出す
る際にフォトレジストの排出跡が、余剰レジストが多い
なめに出現し、フォトレジストの膜が不均一になる欠点
がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、カラー受像管のガラスパネル内面に蛍光面を
形成する際のフォトレジスト塗布にあたり、ガラスパネ
ルの内表面を上向きにし、ガラスパネルの中心軸と鉛直
線との角度を所定の角度に保持しガラスパネルを回転さ
せながらフォトレジストを注入する工程と、回転を停止
させてガラスパネルの内表面に滞留したフォトレジスト
を吸引除去する工程と、再びガラスパネルを回転する工
程とを有することを特徴とする。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を説明するための縦断面
図である。よく洗浄されたガラスパネル１をガラスパネ
ル１の中心軸（を回転軸とし、鉛直線とのなす角度を１
５度になるようにガラスパネル１の内表面を上向きにし
て保持し、１０〜２ＯＲＰＭの低速で回転させる。次い
で、フォトレジスト液、例えばポリビニルアルコールと
重クロム酸塩から成る液の一定量（２０型の場合的１５
０ｍ、Ｒ）をガラスパネル１の中央部分に塗布ノズル２
より塗布する。ガラスパネル１は角度がついていて回転
しているのでフォトレジストはパネル中央部より周辺部
にわたり、パネル内表面の全域を覆う。次に矩形のガラ
スパネル１のコーナ一部の任意の一点がガラスパネル１
の中心点Ｏより最下点０′に位置する点でガラスパネル
１の回転を停止すると、余剰のフォトレジストはそのコ
ーナ一部に滞留する。次いで吸引ノズル３で余剰レジス
トをガラスパネル１の内面より吸引排出する。その後再
びガラスパネル１を１５０〜２００ＲＰＭで高速回転さ
せてガラスパネル内面に−様なフォトレジスト膜を形成
する。吸引ノズル３はダイヤフラム型ポンプあるいはア
スピレータ（図示しない）に接続され吸引されたフォト
レジストはろ過処理を行なって回収し再利用される。こ
の際吸引量は所定の時間内に行なう必要があり、ここで
は１０　Ｊ７　／　ｍ　ｉ　ｎの吸引量とした。

ガラスパネル１の中心軸孟と鉛直線とのなす角度は反時
計方向に３０度以上になると、フォトレジストがガラス
パネル内表面に沿って流れる速度が速くなりガラスパネ
ル１の側壁部４にぶつがり泡を生じ易くなり、１０度以
下になるとガラスパネル１の周辺部にフォトレジストが
塗布されないために、その角度は反時計方向に２５度か
ら１０度の間が最適であることが実験の結果判明した。

ここでは１５度の例を示した。この方法によるとガラス
パネル１の内面にフォトレジストの膜を形成するに際し
、ガラスパネル内面でフォトレジスト液の泡を生じるこ
となく塗布でき、ガラスパネル内面よりフォトレジスト
液を排出する際も余剰レジストの溜りがパネル内面に生
じることがなく、溜りによるムラを生じない均一なフォ
トレジスト膜を形成することができた。

第２図は本発明の第２の実施例を説明するための縦断面
図である。ガラスパネル５の内表面を上向きにし、中心
軸ρを回転軸とし鉛直線とのなす角度を２０度に保持し
第１の実施例と同様にフォトレジスト液を塗布ノズル６
より塗布しパネル内面を覆った後に、その後ガラスパネ
ル５の中心軸Ｊと鉛直線とのなす角度を９０度に変え１
３０〜１５０ＲＰＭの高速回転を与える。この場合ガラ
スパネル内面のレジスト膜は重力方向に力を受けるので
第１の実施例よりも低い回転数で所望の厚さに容易に調
整することができ、高速回転を行なう場合には通常、フ
ォトレジストの周りへの飛散を防止するために防滴シャ
ッター（図示せず）を介して行なうのであるが、この時
高速回転で飛散したフォトレジストが再び防滴板より返
り、ガラスパネル５の内面にはねるために、回転数はで
きるだけ低い方が良いが、本方法によれば第１の実施例
より回転数を下げることが可能となり、さらに第１の実
施例と同様にガラスパネル内面に均一でムラのないフォ
トレジストの膜を形成することができた。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、カラー受像管のガラスパ
ネル内面に均一で良好なフォトレジストの膜を形成でき
、泡などによる欠点のないブラックマトリックス蛍光面
を得ることができ、その結果カラー受像管動作時に色ム
ラ、輝度ムラのない良好な画像を提供することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を説明するための断面図
、第２図は本発明の第２の実施例を説明するための断面
図、第３図は従来の例を説明するための断面図、第４図
（ａ）〜（ｃ）は従来の他の例を説明するための断面図
である。 １．５，８．１２・・・ガラスパネル、２，６９．１３
・・・塗布ノズル、３，７・・・吸引ノズル、４．１５
・・・側壁部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. カラー受像管のガラスパネル内面に蛍光面を形成するに
   あたり、ガラスパネル内表面を上に向けガラスパネルの
   中心軸と鉛直線とのなす角度を反時計方向に１０度から
   ２５度に保持しながらガラスパネルを回転させフォトレ
   ジストを注入する工程と、次いで回転を停止させガラス
   パネルの内表面に滞留したフォトレジストを吸引除去す
   る工程と、再びガラスパネルを回転する工程とを有する
   ことを特徴とするカラー受像管の蛍光面形成方法。