JPH0210769B2 - - Google Patents
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- JPH0210769B2 JPH0210769B2 JP60135461A JP13546185A JPH0210769B2 JP H0210769 B2 JPH0210769 B2 JP H0210769B2 JP 60135461 A JP60135461 A JP 60135461A JP 13546185 A JP13546185 A JP 13546185A JP H0210769 B2 JPH0210769 B2 JP H0210769B2
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- JP
- Japan
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- reaction tube
- pressure
- blower
- optical fiber
- raw material
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/10—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass pistons
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01861—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B5/00—Turning-machines or devices specially adapted for particular work; Accessories specially adapted therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01846—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は内付けCVD方式の光フアイバ母材の
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
〔従来技術〕
光フアイバ母材の製造装置の一つとして従来か
ら内付けCVD（以下MCVDという）法がある。
この方法は回転する反応管内にガラス原料を供給
し、これを前記反応管の軸方向に往復運動するト
ーチ等の加熱器により加熱し、反応管内に前記ガ
ラス原料を堆積せしめ所望の屈折率分布を形成す
るものである。
ら内付けCVD（以下MCVDという）法がある。
この方法は回転する反応管内にガラス原料を供給
し、これを前記反応管の軸方向に往復運動するト
ーチ等の加熱器により加熱し、反応管内に前記ガ
ラス原料を堆積せしめ所望の屈折率分布を形成す
るものである。
ところでこの従来のMCVD法には以下のよう
な欠点がある。すなわち、石英管等からなる前記
反応管が加熱器により加熱され軟化すると、自身
の表面張力により次第に収縮し、その結果反応管
内面に所望厚さの均一なガラス堆積層を形成でき
なくなるとか、前記軟化により反応管が変形し
て、反応管の長手方向断面が不均一になつてしま
う、という問題がある。
な欠点がある。すなわち、石英管等からなる前記
反応管が加熱器により加熱され軟化すると、自身
の表面張力により次第に収縮し、その結果反応管
内面に所望厚さの均一なガラス堆積層を形成でき
なくなるとか、前記軟化により反応管が変形し
て、反応管の長手方向断面が不均一になつてしま
う、という問題がある。
そこでこの問題を解決すべく反応管内に前記ガ
ラス層を堆積させる間、反応管の内圧を外圧より
高くするという方法が提案されている。具体的に
は特公昭57−37536号公報に記載されているよう
に、反応管の外径値を反応管の他端に設けた内圧
調整部にフイードバツクして、反応管の内圧を調
整する方法がある。しかしこの方法では、供給さ
れているガラス原料の流量や反応管内径により
時々刻々変化している反応管内圧を反応管外径と
いう間接的な値により制御しようとすることか
ら、精密な制御ができない。また前述の如く反応
管の外径は長手方向に変動している可能性も大き
く、そのため測定点の選び方も問題となる。
ラス層を堆積させる間、反応管の内圧を外圧より
高くするという方法が提案されている。具体的に
は特公昭57−37536号公報に記載されているよう
に、反応管の外径値を反応管の他端に設けた内圧
調整部にフイードバツクして、反応管の内圧を調
整する方法がある。しかしこの方法では、供給さ
れているガラス原料の流量や反応管内径により
時々刻々変化している反応管内圧を反応管外径と
いう間接的な値により制御しようとすることか
ら、精密な制御ができない。また前述の如く反応
管の外径は長手方向に変動している可能性も大き
く、そのため測定点の選び方も問題となる。
そこで前記方法の改良法として、本願出願人は
先に次のような提案（特願昭58−243360号）を行
つた。この方法は、前記反応管の他端に圧力測定
器と、排気口と、ガス導入口とを有するガス圧制
御室を設け、かつ前記排気口には排気量調整弁を
装備し、該弁の開閉度を前記圧力測定器の値で制
御する、というものである。この方法は直接反応
管の内圧を測定し、これを排気量調整弁にフイー
ドバツクするという点で前述のものより圧力調整
が精密にできるという利点はある。しかし調整弁
の開閉のみで圧力調整するため応答性が劣るとい
う問題がある。
先に次のような提案（特願昭58−243360号）を行
つた。この方法は、前記反応管の他端に圧力測定
器と、排気口と、ガス導入口とを有するガス圧制
御室を設け、かつ前記排気口には排気量調整弁を
装備し、該弁の開閉度を前記圧力測定器の値で制
御する、というものである。この方法は直接反応
管の内圧を測定し、これを排気量調整弁にフイー
ドバツクするという点で前述のものより圧力調整
が精密にできるという利点はある。しかし調整弁
の開閉のみで圧力調整するため応答性が劣るとい
う問題がある。
前記問題に鑑み本発明の目的は、反応管の内圧
をより精密にかつより応答性良く制御できる光フ
アイバ母材の製造装置を提供することにある。
をより精密にかつより応答性良く制御できる光フ
アイバ母材の製造装置を提供することにある。
前記目的を達成すべく本発明のものは、反応管
を回転自在に保持する支持部と、前記反応管の一
端から該反応管内部にガラス原料を供給する原料
供給部と、前記反応管の軸方向に往復移動し前記
反応管を加熱する加熱器とを有する光フアイバ母
材の製造装置において、前記反応管の他端に圧力
測定器と、ガス導入口と排気口とを有するガス圧
制御室を設けると共に、前記ガス導入口には前記
圧力測定器の測定値により導入ガス圧を制御し得
るブロワーを設けたことを特徴とするものであ
る。
を回転自在に保持する支持部と、前記反応管の一
端から該反応管内部にガラス原料を供給する原料
供給部と、前記反応管の軸方向に往復移動し前記
反応管を加熱する加熱器とを有する光フアイバ母
材の製造装置において、前記反応管の他端に圧力
測定器と、ガス導入口と排気口とを有するガス圧
制御室を設けると共に、前記ガス導入口には前記
圧力測定器の測定値により導入ガス圧を制御し得
るブロワーを設けたことを特徴とするものであ
る。
本発明の実施例を図を参照にして詳細に説明す
る。第１図は本発明の光フアイバ母材の製造装置
の一実施例を示している。本図が示すように本発
明のものは、石英ガラス等からなる反応管１を回
転自在に保持する支持部２と、例えば酸素と共に
供給される四塩化珪素、四塩化ゲルマニウム等か
らなるガラス原料を前記反応管１の一端から該反
応管内部に供給する図示されていない原料供給部
と（符号３はガラス原料を原料供給部から供給す
る供給口である）、前記反応管１の軸方向に往復
移動し前記反応管１を加熱するトーチ等の加熱器
４とを有する光フアイバ母材の製造装置におい
て、前記反応管１の他端に圧力測定器７と、ガス
導入口８と、排気口９とを有するガス圧制御室６
を設けると共に、前記ガス導入口８には前記圧力
測定器７の測定値により導入するガス量を制御
し、もつて導入ガス圧を制御し得るブロワー１０
を設けたことを特徴とするものである。ここで前
記ブロワー１０としては導入するガス量を回転数
により調整できる回転数制御方式のものが、導入
ガス圧をより精密にコントロールできることから
好ましい。また、前記ブロワー１０と圧力測定器
７との間には制御系として、設定器１３付きの演
算器１２とブロワー１０を駆動する駆動部１１と
が設けられていて、前記設定器１３と圧力測定器
７との差圧によりブロワー１０の回転数を制御
し、ガス導入口８を介して送り込む導入ガス圧を
制御している。
る。第１図は本発明の光フアイバ母材の製造装置
の一実施例を示している。本図が示すように本発
明のものは、石英ガラス等からなる反応管１を回
転自在に保持する支持部２と、例えば酸素と共に
供給される四塩化珪素、四塩化ゲルマニウム等か
らなるガラス原料を前記反応管１の一端から該反
応管内部に供給する図示されていない原料供給部
と（符号３はガラス原料を原料供給部から供給す
る供給口である）、前記反応管１の軸方向に往復
移動し前記反応管１を加熱するトーチ等の加熱器
４とを有する光フアイバ母材の製造装置におい
て、前記反応管１の他端に圧力測定器７と、ガス
導入口８と、排気口９とを有するガス圧制御室６
を設けると共に、前記ガス導入口８には前記圧力
測定器７の測定値により導入するガス量を制御
し、もつて導入ガス圧を制御し得るブロワー１０
を設けたことを特徴とするものである。ここで前
記ブロワー１０としては導入するガス量を回転数
により調整できる回転数制御方式のものが、導入
ガス圧をより精密にコントロールできることから
好ましい。また、前記ブロワー１０と圧力測定器
７との間には制御系として、設定器１３付きの演
算器１２とブロワー１０を駆動する駆動部１１と
が設けられていて、前記設定器１３と圧力測定器
７との差圧によりブロワー１０の回転数を制御
し、ガス導入口８を介して送り込む導入ガス圧を
制御している。
以下に本発明の一具体例を示す。
反応管１として外径26mm、内径22mmの石英管を
使用し、加熱器４により加熱しつつ、前記反応管
１内に90層のガラス堆積層を形成せしめた。この
とき設定器１３の設定を外気圧より約10mmH2O
高く設定し、これと圧力測定器７の測定値との差
圧に比例するようにブロワー１０の回転数を制御
しつつ反応管１の内圧を調整した。その結果、前
記90層のガラス堆積層を形成せしめた反応管１の
最終外径の軸方向変動は±0.1mm以下となり、き
わめて良好な光フアイバ母材を得ることができ
た。これに対して前述の特願昭58−243360号によ
る調整弁の開閉による制御方法のものにあつて
は、局部的な変動が±0.7mmもあつた。
使用し、加熱器４により加熱しつつ、前記反応管
１内に90層のガラス堆積層を形成せしめた。この
とき設定器１３の設定を外気圧より約10mmH2O
高く設定し、これと圧力測定器７の測定値との差
圧に比例するようにブロワー１０の回転数を制御
しつつ反応管１の内圧を調整した。その結果、前
記90層のガラス堆積層を形成せしめた反応管１の
最終外径の軸方向変動は±0.1mm以下となり、き
わめて良好な光フアイバ母材を得ることができ
た。これに対して前述の特願昭58−243360号によ
る調整弁の開閉による制御方法のものにあつて
は、局部的な変動が±0.7mmもあつた。
以上の如く本発明の光フアイバ母材の製造装置
によれば反応管１内の圧力を直接測定し、この値
をブロワー１０にフイードバツクしていること、
かつ回転数により供給するガス量を調整でき、も
つて導入ガス圧を精密に制御できるブロワー１０
を使用していること、から反応管１の内圧を精密
に制御できる。またブロワー１０により強制的に
ガスを導入しているため応答性に優れているとい
う利点もある。
によれば反応管１内の圧力を直接測定し、この値
をブロワー１０にフイードバツクしていること、
かつ回転数により供給するガス量を調整でき、も
つて導入ガス圧を精密に制御できるブロワー１０
を使用していること、から反応管１の内圧を精密
に制御できる。またブロワー１０により強制的に
ガスを導入しているため応答性に優れているとい
う利点もある。
前述の如く本発明によれば、MCVD法による
光フアイバ母材の製造に際し、反応管内の圧力制
御にきわめて優れた製造装置を提供でき、もつて
外径変動のない優れた光フアイバ母材を得ること
ができる。
光フアイバ母材の製造に際し、反応管内の圧力制
御にきわめて優れた製造装置を提供でき、もつて
外径変動のない優れた光フアイバ母材を得ること
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図であ
る。 １〜反応管、６〜ガス圧制御室、７〜圧力測定
器、８〜ガス導入口、９〜排気口、１０〜ブロワ
ー。
る。 １〜反応管、６〜ガス圧制御室、７〜圧力測定
器、８〜ガス導入口、９〜排気口、１０〜ブロワ
ー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 反応管を回転自在に保持する支持部と、前記
反応管の一端から該反応管内部にガラス原料を供
給する原料供給部と、前記反応管の軸方向に往復
移動し前記反応管を加熱する加熱器とを有する光
フアイバ母材の製造装置において、前記反応管の
他端に圧力測定器と、ガス導入口と排気口とを有
するガス圧制御室を設けると共に、前記ガス導入
口には前記圧力測定器の測定値により導入ガス圧
を制御し得るブロワーを設けたことを特徴とする
光フアイバ母材の製造装置。 ２ 前記ブロワーは回転数制御により導入ガス量
を制御し得るブロワーであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の光フアイバ母材の製造
装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135461A JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
| US06/871,279 US4813989A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-06 | Apparatus for fabricating optical fiber preform |
| KR1019860004598A KR900004211B1 (ko) | 1985-06-21 | 1986-06-10 | 광파이버모재의제조장치 |
| GB8614052A GB2176776B (en) | 1985-06-21 | 1986-06-10 | Apparatus for fabricating optical fibre preform |
| CA000512105A CA1273485A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Apparatus for fabricating optical fiber preform |
| CN86104327A CN1008520B (zh) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | 光导纤维预制棒的制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135461A JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295248A JPS61295248A (ja) | 1986-12-26 |
| JPH0210769B2 true JPH0210769B2 (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=15152252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60135461A Granted JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4813989A (ja) |
| JP (1) | JPS61295248A (ja) |
| KR (1) | KR900004211B1 (ja) |
| CN (1) | CN1008520B (ja) |
| CA (1) | CA1273485A (ja) |
| GB (1) | GB2176776B (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2554356B2 (ja) * | 1988-05-17 | 1996-11-13 | 住友電気工業株式会社 | ガラス原料供給方法及びガラス原料供給装置 |
| IT1219404B (it) * | 1988-06-27 | 1990-05-11 | Sip | Procedimento e apparecchiatura per la fabbricazione di fibre ottiche in silice |
| DE3921086A1 (de) * | 1989-06-28 | 1991-01-03 | Kabelmetal Electro Gmbh | Verfahren zur herstellung von lichtwellenleitern mit aufschmelzen eines ueberwurfrohres auf eine roh-vorform |
| JP2803510B2 (ja) * | 1993-02-10 | 1998-09-24 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置 |
| FR2736909B1 (fr) * | 1995-07-19 | 1997-08-22 | Alcatel Fibres Optiques | Procede et systeme de detection d'un etat critique de fermeture d'une preforme optique |
| US5974838A (en) * | 1998-07-07 | 1999-11-02 | Alcatel | Optical fiber graphite furnace featuring an automatic shutter door system for feeding an optical preform |
| JP2001064032A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質プリフォームガラス化装置 |
| US6430967B1 (en) * | 1999-10-26 | 2002-08-13 | Fitel Usa Corp. | Pressure monitoring system using disposable seals |
| KR100374352B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 제조공정에서 압력 제어 시스템 및 방법 |
| US6502427B1 (en) * | 2000-10-31 | 2003-01-07 | Alcatel | Method and apparatus for controlling an outside diameter of a preform bait tube during a glass layer deposition process |
| US7797966B2 (en) * | 2000-12-29 | 2010-09-21 | Single Crystal Technologies, Inc. | Hot substrate deposition of fused silica |
| US6862900B2 (en) * | 2001-09-21 | 2005-03-08 | Corning Incorporated | Method and apparatus for reducing stress between depositions within a substrate tube |
| US6901775B2 (en) * | 2001-09-21 | 2005-06-07 | Corning Incorporated | Method and apparatus for providing a uniform coating thickness along an axial direction within a substrate tube |
| US20030061990A1 (en) * | 2001-10-03 | 2003-04-03 | Alcatel | CVD diameter control with particle separation |
| US20040112089A1 (en) * | 2002-12-16 | 2004-06-17 | Digiovanni David J. | Manufacture of optical fibers using enhanced doping |
| EP1719739B1 (en) * | 2004-02-27 | 2013-06-19 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and device for producing an optical fiber preform |
| FI123122B (fi) * | 2009-02-16 | 2012-11-15 | Optogear Oy | Laitteisto lasimateriaalin valmistamiseksi |
| JP5486573B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2014-05-07 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用母材の製造方法、及び、光ファイバの製造方法 |
| DE102015112382A1 (de) | 2015-07-29 | 2017-02-02 | J-Fiber Gmbh | Verfahren zum definierten Abscheiden einer Glasschicht an einer Innenwand einer Vorform sowie Vorform und Kommunikationssystem |
| CN105776843A (zh) * | 2016-05-06 | 2016-07-20 | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 | 制备低损耗光纤预制棒的沉积反应装置及压力调节方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4280829A (en) * | 1980-05-12 | 1981-07-28 | Corning Glass Works | Apparatus for controlling internal pressure of a bait tube |
| US4389229A (en) * | 1981-10-01 | 1983-06-21 | Western Electric Co., Inc. | Methods and apparatus for fabricating a lightguide preform |
| US4385915A (en) * | 1982-03-01 | 1983-05-31 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Removal of germanium from the effluent of processes for the production of optical components |
| IT1155119B (it) * | 1982-03-05 | 1987-01-21 | Cselt Centro Studi Lab Telecom | Procedimento e dispositivo per la produzione di preforme per fibre ottiche |
| GB2143519B (en) * | 1983-07-20 | 1986-12-17 | Standard Telephones Cables Ltd | Optical fibre preform manufacture |
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| US4578253A (en) * | 1984-01-31 | 1986-03-25 | At&T Technologies, Inc. | Methods of and apparatus for recovering a constituent of a process effluent |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP60135461A patent/JPS61295248A/ja active Granted
-
1986
- 1986-06-06 US US06/871,279 patent/US4813989A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-10 GB GB8614052A patent/GB2176776B/en not_active Expired
- 1986-06-10 KR KR1019860004598A patent/KR900004211B1/ko not_active Expired
- 1986-06-20 CA CA000512105A patent/CA1273485A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-20 CN CN86104327A patent/CN1008520B/zh not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61295248A (ja) | 1986-12-26 |
| GB8614052D0 (en) | 1986-07-16 |
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