JPH04292434A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH04292434A JPH04292434A JP7846891A JP7846891A JPH04292434A JP H04292434 A JPH04292434 A JP H04292434A JP 7846891 A JP7846891 A JP 7846891A JP 7846891 A JP7846891 A JP 7846891A JP H04292434 A JPH04292434 A JP H04292434A
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- Japan
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- optical fiber
- material gas
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
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- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
-
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-
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光ファイバ母材の製造
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一種のガラス棒であるターゲット部材を
回転させながら、この長手方向に、四塩化珪素や四塩化
ゲルマニウムのようなガラス材料ガスを酸素および水素
と共に燃焼させるバーナをトラバースさせ、この燃焼に
よって生成されるガラススートをそのターゲット部材の
外周部に付着堆積させることによって光ファイバ母材を
製造する方法は、いわゆる光ファイバ母材の外付け製造
方法としてよく知られている。
回転させながら、この長手方向に、四塩化珪素や四塩化
ゲルマニウムのようなガラス材料ガスを酸素および水素
と共に燃焼させるバーナをトラバースさせ、この燃焼に
よって生成されるガラススートをそのターゲット部材の
外周部に付着堆積させることによって光ファイバ母材を
製造する方法は、いわゆる光ファイバ母材の外付け製造
方法としてよく知られている。
【０００３】ターゲット部材は正確に言えばすべてコア
部分１Ａから成るものではなく、図２に示されるように
、外周部に既にクラッド層１Ｂが一部形成されているも
のであり、そのクラッド層１Ｂは完成母材に比べてほぼ
１／３程度の厚さのものである（周知のように完成母材
の場合コア／クラッド比は直径比で１／１２．５である
）。このクラッド層１Ｂの厚さはターゲット部材１の長
手方向にまちまちの値を取り、またコア部分１Ａの直径
も長手方向に沿って一定というものではない。つまり図
２に見るようにターゲット部材１の外径Ｄおよびコア部
の直径ｄはその長手方向ｘの関数となっているのである
。
部分１Ａから成るものではなく、図２に示されるように
、外周部に既にクラッド層１Ｂが一部形成されているも
のであり、そのクラッド層１Ｂは完成母材に比べてほぼ
１／３程度の厚さのものである（周知のように完成母材
の場合コア／クラッド比は直径比で１／１２．５である
）。このクラッド層１Ｂの厚さはターゲット部材１の長
手方向にまちまちの値を取り、またコア部分１Ａの直径
も長手方向に沿って一定というものではない。つまり図
２に見るようにターゲット部材１の外径Ｄおよびコア部
の直径ｄはその長手方向ｘの関数となっているのである
。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように光ファイバ
母材の製造開始時におけるターゲット部材１そのものの
コア／クラッド比が長手方向に一定でないから、ガラス
スートを生成するバーナへの材料ガス供給量を一定にし
たままそのバーナを一定速度でトラバースさせるのでは
、コア／クラッド比が長手方向に沿って一定な光ファイ
バ母材を得ることは当然不可能であり、またこの問題は
単にトラバース速度をターゲット部材１の長手方向に沿
う各位置に対して変化させることだけによっては解決で
きないのである。なぜならばトラバース速度を変える対
策は、ターゲット部材１の長手方向に沿ってある長さ分
だけ一定量このコア／クラッド比の変動が生じている場
合は合理的であるが、ターゲット部材の長手方向に絶え
ず小変化が連続している場合はその変化に追随対応する
ことが困難だからである。
母材の製造開始時におけるターゲット部材１そのものの
コア／クラッド比が長手方向に一定でないから、ガラス
スートを生成するバーナへの材料ガス供給量を一定にし
たままそのバーナを一定速度でトラバースさせるのでは
、コア／クラッド比が長手方向に沿って一定な光ファイ
バ母材を得ることは当然不可能であり、またこの問題は
単にトラバース速度をターゲット部材１の長手方向に沿
う各位置に対して変化させることだけによっては解決で
きないのである。なぜならばトラバース速度を変える対
策は、ターゲット部材１の長手方向に沿ってある長さ分
だけ一定量このコア／クラッド比の変動が生じている場
合は合理的であるが、ターゲット部材の長手方向に絶え
ず小変化が連続している場合はその変化に追随対応する
ことが困難だからである。
【０００５】また一般に光ファイバ母材の製造において
、スートの同じ堆積量を長時間かけて得る場合と、短時
間に得る場合とを比較すると、前者の方がガラススート
堆積層が均質で質のよいものが得られることは自明であ
るが、製造効率から考えれば長時間かければかける程よ
いというわけにはいかない。このように光ファイバ母材
の製造においてはターゲット部材の単位時間当たりの重
量増加、つまり堆積するガラススートの重量増加速度に
おのずから最適値が存在するのである。したがってこの
ような理想的な重量増加速度を得るための、バーナの最
適なトラバース速度およびこのバーナへのガラス材料ガ
スの最適な供給量が決定されるべきである。
、スートの同じ堆積量を長時間かけて得る場合と、短時
間に得る場合とを比較すると、前者の方がガラススート
堆積層が均質で質のよいものが得られることは自明であ
るが、製造効率から考えれば長時間かければかける程よ
いというわけにはいかない。このように光ファイバ母材
の製造においてはターゲット部材の単位時間当たりの重
量増加、つまり堆積するガラススートの重量増加速度に
おのずから最適値が存在するのである。したがってこの
ような理想的な重量増加速度を得るための、バーナの最
適なトラバース速度およびこのバーナへのガラス材料ガ
スの最適な供給量が決定されるべきである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の課題を
解決するためになされたものであって、ターゲット部材
を回転させながらその長手方向に、ガラス材料ガスを酸
素および水素と共に燃焼させるバーナをトラバースさせ
ることにより、そのターゲット部材の周囲にガラススー
トを生成堆積させて光ファイバ母材を製造する方法にお
いて、あらかじめ測定された前記ターゲット部材の長手
方向におけるコア／クラッド比の変化に対応して、前記
バーナのトラバース速度および前記ガラス材料ガスの供
給量を制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法である。
解決するためになされたものであって、ターゲット部材
を回転させながらその長手方向に、ガラス材料ガスを酸
素および水素と共に燃焼させるバーナをトラバースさせ
ることにより、そのターゲット部材の周囲にガラススー
トを生成堆積させて光ファイバ母材を製造する方法にお
いて、あらかじめ測定された前記ターゲット部材の長手
方向におけるコア／クラッド比の変化に対応して、前記
バーナのトラバース速度および前記ガラス材料ガスの供
給量を制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法である。
【０００７】またこの発明はターゲット部材を回転させ
ながらその長手方向に、ガラス材料ガスを酸素および水
素と共に燃焼させるバーナをトラバースさせることによ
り、そのターゲット部材の周囲にガラススートを生成堆
積させて光ファイバ母材を製造する方法において、前記
ターゲット部材の重量増加速度およびあらかじめ測定さ
れた前記ターゲット部材の長手方向におけるコア／クラ
ッド比の変化に対応して、前記バーナのトラバース速度
および前記ガラス材料ガスの供給量を制御することを特
徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
ながらその長手方向に、ガラス材料ガスを酸素および水
素と共に燃焼させるバーナをトラバースさせることによ
り、そのターゲット部材の周囲にガラススートを生成堆
積させて光ファイバ母材を製造する方法において、前記
ターゲット部材の重量増加速度およびあらかじめ測定さ
れた前記ターゲット部材の長手方向におけるコア／クラ
ッド比の変化に対応して、前記バーナのトラバース速度
および前記ガラス材料ガスの供給量を制御することを特
徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
【０００８】
【作用】ターゲット部材のコア／クラッド比は長手方向
の各位置においてあらかじめ測定されているから、バー
ナのターゲット部材の長手方向に沿う位置を知ることに
よってその位置のコア／クラッド比に対応した適正なガ
ラス材料ガス供給量およびバーナのトラバース速度を与
え、これにより良質の光ファイバ母材を製造できる。
の各位置においてあらかじめ測定されているから、バー
ナのターゲット部材の長手方向に沿う位置を知ることに
よってその位置のコア／クラッド比に対応した適正なガ
ラス材料ガス供給量およびバーナのトラバース速度を与
え、これにより良質の光ファイバ母材を製造できる。
【０００９】またターゲット部材の重量増加速度が最適
値に落ち着くようにバーナのトラバース速度を決定し、
その決定されたトラバース速度においてターゲット部材
の長手方向のコア／クラッド比の変動を修正するように
ガラス材料ガス供給量を制御してこれにより完成状態に
おいて長手方向にコア／クラッド比の一様な光ファイバ
母材を製造することができる。
値に落ち着くようにバーナのトラバース速度を決定し、
その決定されたトラバース速度においてターゲット部材
の長手方向のコア／クラッド比の変動を修正するように
ガラス材料ガス供給量を制御してこれにより完成状態に
おいて長手方向にコア／クラッド比の一様な光ファイバ
母材を製造することができる。
【００１０】
【実施例】図１を参照してこの発明の実施するための装
置の一例を説明する。全体として符号３で示されるもの
はターゲット部材支持装置であって、ほぼコ字状をなす
フレームの中程にはこれを回転可能に支持するための回
転支持軸３１，３１が取り付けられ、コ字の両端部には
ターゲット部材１の両端をつかむ１対のチャック部３３
，３３が設けられ、その外側にはこのチャック部３３を
回す回転駆動モータ４が設けられる。また回転支持軸３
１に関してこのチャック部３３と反対側にはターゲット
部材１側の重量とほぼ等しい重量のバランスウェイト３
２が設けられる。回転支持軸３１の回転軸線から比較的
離れたフレームの一部には荷重測定アーム３４が取り付
けられるが、この荷重測定アーム３４は重量検出用のロ
ードセル５に係合して、ターゲット部材１の、バランス
ウェイト３２との釣り合い状態を越えた重量増加分を測
定するものである。
置の一例を説明する。全体として符号３で示されるもの
はターゲット部材支持装置であって、ほぼコ字状をなす
フレームの中程にはこれを回転可能に支持するための回
転支持軸３１，３１が取り付けられ、コ字の両端部には
ターゲット部材１の両端をつかむ１対のチャック部３３
，３３が設けられ、その外側にはこのチャック部３３を
回す回転駆動モータ４が設けられる。また回転支持軸３
１に関してこのチャック部３３と反対側にはターゲット
部材１側の重量とほぼ等しい重量のバランスウェイト３
２が設けられる。回転支持軸３１の回転軸線から比較的
離れたフレームの一部には荷重測定アーム３４が取り付
けられるが、この荷重測定アーム３４は重量検出用のロ
ードセル５に係合して、ターゲット部材１の、バランス
ウェイト３２との釣り合い状態を越えた重量増加分を測
定するものである。
【００１１】ガラス材料ガスを燃焼させるバーナは複数
個設けられるのが普通であるが、この図で２個のバーナ
８Ａ，８Ｂが示されている。これらのバーナ８Ａ，８Ｂ
は一種の送りねじカムであるトラバース軸６Ａ，６Ｂに
それぞれ係合するカム従動子７Ａ，７Ｂに取り付けられ
、トラバース軸６Ａ，６Ｂの回転にしたがってターゲッ
ト部材１の長手方向に往復動する。また、トラバース軸
６Ａ，６Ｂの端部には一種のロータリーエンコーダであ
る位置センサ９Ａ，９Ｂがそれぞれ取り付けられてそれ
らトラバース軸６Ａ，６Ｂの回転量、つまりカム従動子
７Ａ，７Ｂの送り量、さらに換言すればそれらのターゲ
ット部材１の長手方向についての位置を検出する。ここ
で符号１１はトラバース軸の回転駆動モータである。
個設けられるのが普通であるが、この図で２個のバーナ
８Ａ，８Ｂが示されている。これらのバーナ８Ａ，８Ｂ
は一種の送りねじカムであるトラバース軸６Ａ，６Ｂに
それぞれ係合するカム従動子７Ａ，７Ｂに取り付けられ
、トラバース軸６Ａ，６Ｂの回転にしたがってターゲッ
ト部材１の長手方向に往復動する。また、トラバース軸
６Ａ，６Ｂの端部には一種のロータリーエンコーダであ
る位置センサ９Ａ，９Ｂがそれぞれ取り付けられてそれ
らトラバース軸６Ａ，６Ｂの回転量、つまりカム従動子
７Ａ，７Ｂの送り量、さらに換言すればそれらのターゲ
ット部材１の長手方向についての位置を検出する。ここ
で符号１１はトラバース軸の回転駆動モータである。
【００１２】符号１０Ａ，１０Ｂはそれぞれバーナ８Ａ
，８Ｂに対するガラス材料ガスの供給装置を示し、その
バーナへの供給量の増減調節はたとえば電磁弁の開閉度
の調整によって中央制御装置１２からの電気信号によっ
て容易に実施できる。この中央制御装置１２からはまた
トラバース軸の回転駆動モータ１１にも制御信号が送ら
れる。反対にこの中央制御装置１２への入力信号はター
ゲット部材１の重量増加分を検出できるロードセル５か
らの信号、およびバーナ８Ａ，８Ｂの位置を示す位置セ
ンサ９Ａ，９Ｂからの信号である。
，８Ｂに対するガラス材料ガスの供給装置を示し、その
バーナへの供給量の増減調節はたとえば電磁弁の開閉度
の調整によって中央制御装置１２からの電気信号によっ
て容易に実施できる。この中央制御装置１２からはまた
トラバース軸の回転駆動モータ１１にも制御信号が送ら
れる。反対にこの中央制御装置１２への入力信号はター
ゲット部材１の重量増加分を検出できるロードセル５か
らの信号、およびバーナ８Ａ，８Ｂの位置を示す位置セ
ンサ９Ａ，９Ｂからの信号である。
【００１３】ターゲット部材１の長手方向に沿ういくつ
かの点の当初のコア／クラッド比、たとえば図２に示さ
れるように、ターゲット部材１の端から距離ｘ１ の位
置でのｄ１ ／Ｄ１ 、また同じくｘ２ の位置でのｄ
２ ／Ｄ２ はプリフォームアナライザと呼ばれる装置
によってそれらの各点における屈折率を測定解析するこ
とによって知ることができるから、それらの各点におけ
る適正なガラス材料ガスの供給量はあらかじめ中央制御
装置１２に記憶させておく。したがって位置センサ９Ａ
，９Ｂがそれぞれこれらの位置を検出すれば対応するバ
ーナ８Ａ，８Ｂへの材料ガスの供給量はこの中央制御装
置１２からの指令によってただちにはじめの設定値に調
整されるわけである。なお、コア／クラッド比はターゲ
ット部材１の長手方向に沿ってできるだけ多くの点につ
いてあらかじめ知っていればそれだけ精密な管理が可能
になることは当然である。
かの点の当初のコア／クラッド比、たとえば図２に示さ
れるように、ターゲット部材１の端から距離ｘ１ の位
置でのｄ１ ／Ｄ１ 、また同じくｘ２ の位置でのｄ
２ ／Ｄ２ はプリフォームアナライザと呼ばれる装置
によってそれらの各点における屈折率を測定解析するこ
とによって知ることができるから、それらの各点におけ
る適正なガラス材料ガスの供給量はあらかじめ中央制御
装置１２に記憶させておく。したがって位置センサ９Ａ
，９Ｂがそれぞれこれらの位置を検出すれば対応するバ
ーナ８Ａ，８Ｂへの材料ガスの供給量はこの中央制御装
置１２からの指令によってただちにはじめの設定値に調
整されるわけである。なお、コア／クラッド比はターゲ
ット部材１の長手方向に沿ってできるだけ多くの点につ
いてあらかじめ知っていればそれだけ精密な管理が可能
になることは当然である。
【００１４】一方、図１に示したこの装置によって光フ
ァイバ母材の重量増加速度の適正範囲内管理も同時に可
能である。ガラス材料ガスの燃焼によってターゲット部
材１の外周面にガラススート２が付着堆積してゆくと、
当然その重量が増加してターゲット部材支持装置３の回
転支持軸３１のまわりの均衡が破れ、ターゲット部材支
持装置３は回転支持軸３１のまわりに回動してバランス
ウェイト３２側が紙面の上面に向うように動く。こうす
ると荷重測定アーム３４はロードセル５を押してターゲ
ット部材１の重量増加分を中央制御装置１２に伝えるこ
とになるから、これがあらかじめ中央制御装置１２に記
憶させてある適正な重量増加速度と比較して、たとえば
速いときは回転駆動モータ１１を速く回転させてバーナ
８Ａ等の送りを速く（付着速度は遅くなる）するように
調整すればよいわけである。バーナ８Ａなどの送り速度
の調節とガラス材料ガス供給量の調節とは別個のもので
あるから、母材の重量増加速度を所望の範囲内に納める
ように管理した上で、さらに上述したようにターゲット
部材１の長手方向のコア／クラッド比の変化に応じてガ
ラス材料ガスの供給量を増減調節できるのである。
ァイバ母材の重量増加速度の適正範囲内管理も同時に可
能である。ガラス材料ガスの燃焼によってターゲット部
材１の外周面にガラススート２が付着堆積してゆくと、
当然その重量が増加してターゲット部材支持装置３の回
転支持軸３１のまわりの均衡が破れ、ターゲット部材支
持装置３は回転支持軸３１のまわりに回動してバランス
ウェイト３２側が紙面の上面に向うように動く。こうす
ると荷重測定アーム３４はロードセル５を押してターゲ
ット部材１の重量増加分を中央制御装置１２に伝えるこ
とになるから、これがあらかじめ中央制御装置１２に記
憶させてある適正な重量増加速度と比較して、たとえば
速いときは回転駆動モータ１１を速く回転させてバーナ
８Ａ等の送りを速く（付着速度は遅くなる）するように
調整すればよいわけである。バーナ８Ａなどの送り速度
の調節とガラス材料ガス供給量の調節とは別個のもので
あるから、母材の重量増加速度を所望の範囲内に納める
ように管理した上で、さらに上述したようにターゲット
部材１の長手方向のコア／クラッド比の変化に応じてガ
ラス材料ガスの供給量を増減調節できるのである。
【００１５】
【発明の効果】この発明によれば、ターゲット部材のコ
ア／クラッド比は長手方向の各位置においてあらかじめ
測定され中央制御装置に記憶されているから、バーナの
ターゲット部材の長手方向に沿う位置を知ることによっ
てその位置のコア／クラッド比に対応した適正なガラス
材料ガス供給量およびバーナのトラバース速度を与え、
これにより長手方向にコア／クラッド比の一定した良質
の光ファイバ母材を製造できる効果がある。
ア／クラッド比は長手方向の各位置においてあらかじめ
測定され中央制御装置に記憶されているから、バーナの
ターゲット部材の長手方向に沿う位置を知ることによっ
てその位置のコア／クラッド比に対応した適正なガラス
材料ガス供給量およびバーナのトラバース速度を与え、
これにより長手方向にコア／クラッド比の一定した良質
の光ファイバ母材を製造できる効果がある。
【００１６】またこの発明によれば、ターゲット部材の
重量増加速度が最適値になるようにバーナのトラバース
速度を決定し、その決定されたトラバース速度において
ターゲット部材の長手方向のコア／クラッド比の変動を
修正するようにガラス材料ガス供給量を増減調節してこ
れにより均質で緻密な、かつ長手方向にコア／クラッド
比の一様な光ファイバ母材を製造することができる効果
がある。
重量増加速度が最適値になるようにバーナのトラバース
速度を決定し、その決定されたトラバース速度において
ターゲット部材の長手方向のコア／クラッド比の変動を
修正するようにガラス材料ガス供給量を増減調節してこ
れにより均質で緻密な、かつ長手方向にコア／クラッド
比の一様な光ファイバ母材を製造することができる効果
がある。
【図１】この発明方法を実施するために用いる装置例を
示す側断面図。
示す側断面図。
【図２】この発明に使用するターゲット部材の拡大部分
側断面図。
側断面図。
１ ターゲット部材
２ ガラススート
３ ターゲット部材支持装置
３１ 回転支持軸
３２ バランスウェイト
５ ロードセル
６Ａ，６Ｂ トラバース軸
８Ａ，８Ｂ バーナ
９Ａ，９Ｂ 位置センサ
１０Ａ，１０Ｂ ガラス材料ガス供給装置１１ 回
転駆動モータ １２ 中央制御装置
転駆動モータ １２ 中央制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ターゲット部材を回転させながらその
長手方向に、ガラス材料ガスを酸素および水素と共に燃
焼させるバーナをトラバースさせることにより、そのタ
ーゲット部材の周囲にガラススートを生成堆積させて光
ファイバ母材を製造する方法において、あらかじめ測定
された前記ターゲット部材の長手方向におけるコア／ク
ラッド比の変化に対応して、前記バーナのトラバース速
度および前記ガラス材料ガスの供給量を制御することを
特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 ターゲット部材を回転させながらその
長手方向に、ガラス材料ガスを酸素および水素と共に燃
焼させるバーナをトラバースさせることにより、そのタ
ーゲット部材の周囲にガラススートを生成堆積させて光
ファイバ母材を製造する方法において、前記ターゲット
部材の重量増加速度およびあらかじめ測定された前記タ
ーゲット部材の長手方向におけるコア／クラッド比の変
化に対応して、前記バーナのトラバース速度および前記
ガラス材料ガスの供給量を制御することを特徴とする光
ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7846891A JPH04292434A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7846891A JPH04292434A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04292434A true JPH04292434A (ja) | 1992-10-16 |
Family
ID=13662857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7846891A Pending JPH04292434A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04292434A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6474105B1 (en) * | 1994-12-29 | 2002-11-05 | Alcatel Cable | Modulating a diameter-increasing step of a fiber preform with no modulation prior to a predetermined diameter |
| WO2003004426A1 (fr) * | 2001-07-06 | 2003-01-16 | Fujikura Ltd. | Procede de fabrication d'une preforme de fibre optique |
| JP2003020245A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 外付け法による光ファイバ用母材の製造方法及びその装置 |
| US6546759B1 (en) * | 1999-07-02 | 2003-04-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Glass base material manufacturing apparatus with super imposed back-and-forth burner movement |
| EP1201613A3 (en) * | 2000-10-30 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing optical fiber preform |
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