JPH02107906A - 物体表面の層構造の厚さの測定方法 - Google Patents
物体表面の層構造の厚さの測定方法Info
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- JPH02107906A JPH02107906A JP63259443A JP25944388A JPH02107906A JP H02107906 A JPH02107906 A JP H02107906A JP 63259443 A JP63259443 A JP 63259443A JP 25944388 A JP25944388 A JP 25944388A JP H02107906 A JPH02107906 A JP H02107906A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物体表面に形成された層構造の厚さを、当該
物体を破壊することなく測定する物体表面の層構造の厚
さの測定方法に関する。
物体を破壊することなく測定する物体表面の層構造の厚
さの測定方法に関する。
近年、機械加工はますますその高精度化が要望されると
ともに、加工製品の高性能や長寿命等も要望されている
。ところで、加工製品の性能や寿命には機械加工により
母材表面に生じる加工変質層が大きく関与し、この加工
変質層の厚さ（深さ）を測定することにより、加工製品
の性能や寿命を評価することができる。このような加工
変質層の厚さの測定法が特開昭６２−８１５６１号公報
に提示されている。その概略を図により説明する。
ともに、加工製品の高性能や長寿命等も要望されている
。ところで、加工製品の性能や寿命には機械加工により
母材表面に生じる加工変質層が大きく関与し、この加工
変質層の厚さ（深さ）を測定することにより、加工製品
の性能や寿命を評価することができる。このような加工
変質層の厚さの測定法が特開昭６２−８１５６１号公報
に提示されている。その概略を図により説明する。
第３図は従来の加工変質層の厚さの測定方法に使用され
る装置の系統図である。図で、１は加工された試料、２
は試料１を載置する台、３は超音波プローブを示す。超
音波プローブ３は、球面レンズ３ａ、球面レンズ３ａの
上面に設置された圧電薄膜３ｂ、および圧電薄膜３ｂの
電極３ｃで構成されている。球面レンズ３ａの開口は可
成り広い寸法に選定されている。４は電極３Ｃにパルス
電圧を印加するパルス発振器、５は電極３Ｃに発生する
超音波反射波信号（エコー信号）を受信してこれに応じ
たビデオ信号を出力する受信器、６はビデオ信号を入力
してエコー信号波形を表示するデイスプレィ装置（ＣＲ
Ｔ）である。７は台２を駆動する駆動機構を示す。試料
１と球面レンズ３の間には図示されていないが水が介在
せしめられている。
る装置の系統図である。図で、１は加工された試料、２
は試料１を載置する台、３は超音波プローブを示す。超
音波プローブ３は、球面レンズ３ａ、球面レンズ３ａの
上面に設置された圧電薄膜３ｂ、および圧電薄膜３ｂの
電極３ｃで構成されている。球面レンズ３ａの開口は可
成り広い寸法に選定されている。４は電極３Ｃにパルス
電圧を印加するパルス発振器、５は電極３Ｃに発生する
超音波反射波信号（エコー信号）を受信してこれに応じ
たビデオ信号を出力する受信器、６はビデオ信号を入力
してエコー信号波形を表示するデイスプレィ装置（ＣＲ
Ｔ）である。７は台２を駆動する駆動機構を示す。試料
１と球面レンズ３の間には図示されていないが水が介在
せしめられている。
パルス発振器４から電極３Ｃに電圧が印加されると、圧
電薄膜３ｂは超音波を放射し、この超音波は球面レンズ
３ａおよび水を介して試料１に向けて放射され、その放
射経路に存在する各界面で反射する。反射された超音波
は再び水および球面レンズ３ａを介して圧電薄膜３ｂに
達する。これにより圧電薄膜３ｂの電極３Ｃには、反射
された超音波に応じた信号（エコー信号）が発生する。
電薄膜３ｂは超音波を放射し、この超音波は球面レンズ
３ａおよび水を介して試料１に向けて放射され、その放
射経路に存在する各界面で反射する。反射された超音波
は再び水および球面レンズ３ａを介して圧電薄膜３ｂに
達する。これにより圧電薄膜３ｂの電極３Ｃには、反射
された超音波に応じた信号（エコー信号）が発生する。
このエコー信号は受信器５で受信処理された後、デイス
プレィ６に表示される。
プレィ６に表示される。
ところで、球面レンズ３ａから放射された超音波の焦点
と試料１の表面とが一致したときの両者の垂直方向（Ｘ
軸方向）の位置をＯとし、両者が接近する移動方向を負
方向とし、駆動機構７を駆動じて試料１を球面レンズ３
ａに接近させながらエコー信号の大きさを採取してゆく
と、特定の曲線（この曲線はＶ （Ｚ）曲線と称されて
いる）が得られることが知られている。この曲線が第４
図に示されている。第４図で、横軸にはＸ軸方向の距離
が、又、縦軸にはエコー信号の大きさがとられている。
と試料１の表面とが一致したときの両者の垂直方向（Ｘ
軸方向）の位置をＯとし、両者が接近する移動方向を負
方向とし、駆動機構７を駆動じて試料１を球面レンズ３
ａに接近させながらエコー信号の大きさを採取してゆく
と、特定の曲線（この曲線はＶ （Ｚ）曲線と称されて
いる）が得られることが知られている。この曲線が第４
図に示されている。第４図で、横軸にはＸ軸方向の距離
が、又、縦軸にはエコー信号の大きさがとられている。
ΔＺはＶ （Ｚ）曲線の周期を示す。このようなＶ （
Ｚ）曲線が生じる理由を図により説明する。
Ｚ）曲線が生じる理由を図により説明する。
第５図は加工母材表面近傍を示す図である。図でＳは母
材、０は母材Ｓを加工したときに生じる加工変質層、ｆ
は水の層を示す。ＺはＸ軸方向の距離、ＸはＺ軸と直角
のＸ軸方向の距離を示す。
材、０は母材Ｓを加工したときに生じる加工変質層、ｆ
は水の層を示す。ＺはＸ軸方向の距離、ＸはＺ軸と直角
のＸ軸方向の距離を示す。
球面レンズ３ａと試料１とが位置０の関係にあるとき、
超音波ビームＡの焦点は破線で示されるように加工変質
層０の表面の一点に集束しているが、駆動機構７が駆動
されて試料１が球面レンズ３ａに接近するにしたがって
焦点のずれが大きくなり、図中、距離Ｘで示される超音
波照射領域が大きくなる。このとき、加工変質層Ｏにお
ける当該領域には弾性表面波Ｒが生じ、この弾性表面波
Ｒと表面反射波との間で干渉が発生する。この干渉は試
料１と球面レンズ３ａとのＸ軸方向の位置に応じて強め
られたり弱められたりするので、その結果、第４図に示
すＶ （Ｚ）曲線が得られることになる。
超音波ビームＡの焦点は破線で示されるように加工変質
層０の表面の一点に集束しているが、駆動機構７が駆動
されて試料１が球面レンズ３ａに接近するにしたがって
焦点のずれが大きくなり、図中、距離Ｘで示される超音
波照射領域が大きくなる。このとき、加工変質層Ｏにお
ける当該領域には弾性表面波Ｒが生じ、この弾性表面波
Ｒと表面反射波との間で干渉が発生する。この干渉は試
料１と球面レンズ３ａとのＸ軸方向の位置に応じて強め
られたり弱められたりするので、その結果、第４図に示
すＶ （Ｚ）曲線が得られることになる。
ここで、弾性表面波Ｒの加工変質層０における伝播速度
をＶ、、Ｖ （Ｚ）曲線の周期をΔＺ、超音波の波長を
λ、水中における超音波の音速をＶ。
をＶ、、Ｖ （Ｚ）曲線の周期をΔＺ、超音波の波長を
λ、水中における超音波の音速をＶ。
とすると、次式の関係が成立する。
ΔＺ−（ｖＲ／Ｖ、１）２ ・λ・・・・・・・・・（
１）即ち、Ｖ （Ｚ）曲線に基づいてその周期ΔＺが判
明すると、値■。、λは既知であるから、弾性表面波の
伝播速度ＶＲを求めることができる。
１）即ち、Ｖ （Ｚ）曲線に基づいてその周期ΔＺが判
明すると、値■。、λは既知であるから、弾性表面波の
伝播速度ＶＲを求めることができる。
ところで、加工変質層０の表面弾性波の伝播は超音波の
周波数が高くなるほど浅くなるので、加工変質層０の厚
みは、弾性表面波の伝播速度■８の上記周波数特性にお
ける変曲点をみつけることにより推定することができる
。
周波数が高くなるほど浅くなるので、加工変質層０の厚
みは、弾性表面波の伝播速度■８の上記周波数特性にお
ける変曲点をみつけることにより推定することができる
。
上記従来の測定方法により、母材表面に加工変質層が存
在する場合、その厚さを推定することができ、又、加工
変質層ばかりでなく、例えばプリント配線基板の表面に
印刷された銅層の厚さ等も推定することができ、これに
より非破壊で製品の品質管理、評価を行なうことができ
る。しかしながら、上記伝播速度■８の変曲点を見出す
ためには、超音波の周波数を広範囲に亘って変化させね
ばならず、その変化の間隔も相当程度に狭（しなければ
変曲点を見落とすおそれがある。又、当該変曲点は判然
と表れるものではなく、可成り微妙な変化態様となる。
在する場合、その厚さを推定することができ、又、加工
変質層ばかりでなく、例えばプリント配線基板の表面に
印刷された銅層の厚さ等も推定することができ、これに
より非破壊で製品の品質管理、評価を行なうことができ
る。しかしながら、上記伝播速度■８の変曲点を見出す
ためには、超音波の周波数を広範囲に亘って変化させね
ばならず、その変化の間隔も相当程度に狭（しなければ
変曲点を見落とすおそれがある。又、当該変曲点は判然
と表れるものではなく、可成り微妙な変化態様となる。
したがって、変曲点を見出すためには、多くの時間と手
間、および検査員の極度の緊張が必要となる。
間、および検査員の極度の緊張が必要となる。
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
手間や時間を要することなく容易に測定することができ
る物体表面の層構造の厚さの測定方法を提供するにある
。
手間や時間を要することなく容易に測定することができ
る物体表面の層構造の厚さの測定方法を提供するにある
。
上記の目的を達成するため、本発明は、測定対象と同じ
既知の母材表面の層構造に対して超音波を放射したとき
に前記層構造から反射する空間反射パワーと前記層構造
の厚さとの関係を理論解析により、又はモデルを実測す
ることにより予め求めておき、超音波を放射するととも
にその反射波を電気信号に変換する超音波プローブを測
定対象母材表面の層構造に対して垂直方向に移動させる
ことにより、その反射波の空間反射パワーの大きさを実
測で求め、この空間反射パワーに対応する前記測定対象
の層構造の厚さを前記予め求められた関係要用いて求め
ることを特徴とする。
既知の母材表面の層構造に対して超音波を放射したとき
に前記層構造から反射する空間反射パワーと前記層構造
の厚さとの関係を理論解析により、又はモデルを実測す
ることにより予め求めておき、超音波を放射するととも
にその反射波を電気信号に変換する超音波プローブを測
定対象母材表面の層構造に対して垂直方向に移動させる
ことにより、その反射波の空間反射パワーの大きさを実
測で求め、この空間反射パワーに対応する前記測定対象
の層構造の厚さを前記予め求められた関係要用いて求め
ることを特徴とする。
さきに述べたＶ （Ｚ）曲線、即ちＺ軸方向の距離に対
する超音波の反射強度の関係は、母材表面の層構造の厚
さ（深さ）および母材と層構造の材質が既知であれば理
論解析により求めることができる。又、Ｖ （Ｚ）曲線
はモデル部材を作成しその実測によっても求めることが
できる。さらに、このＶ （Ｚ）曲線をフーリエ解析す
ることにより反射波の空間反射パワーを求めることがで
きる。
する超音波の反射強度の関係は、母材表面の層構造の厚
さ（深さ）および母材と層構造の材質が既知であれば理
論解析により求めることができる。又、Ｖ （Ｚ）曲線
はモデル部材を作成しその実測によっても求めることが
できる。さらに、このＶ （Ｚ）曲線をフーリエ解析す
ることにより反射波の空間反射パワーを求めることがで
きる。
結局、層構造の既知の厚さに対する空間反射パワーを理
論的に求めることができる。そこで、種々の材質毎に、
予め上述のように層構造の厚さとその空間反射パワーと
の関係を求めておき、測定対象についてＶ（Ｚ）曲線を
実測で求め、このＶ（Ｚ）曲線をフーリエ解析して空間
反射パワーを求め、この空間反射パワーに相当する厚さ
をさきに求めである空間反射パワーと層構造厚さの関係
から求める。
論的に求めることができる。そこで、種々の材質毎に、
予め上述のように層構造の厚さとその空間反射パワーと
の関係を求めておき、測定対象についてＶ（Ｚ）曲線を
実測で求め、このＶ（Ｚ）曲線をフーリエ解析して空間
反射パワーを求め、この空間反射パワーに相当する厚さ
をさきに求めである空間反射パワーと層構造厚さの関係
から求める。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
本実施例においては、まず、既知の材料における、設定
したある層構造の厚さｄについて理論解析により第４図
に示すようなＶ （Ｚ）曲線を求め、このＶ （Ｚ）曲
線をフーリエ解析することにより反射波の空間反射パワ
ー（後述）を求める。全く同様の手法により他の種々の
厚さｄについても空間反射パワーを求める。そして、各
厚さｄに対する各空間反射パワーをプロットして特性曲
線を作成する。この特性曲線が第１図に示されている。
したある層構造の厚さｄについて理論解析により第４図
に示すようなＶ （Ｚ）曲線を求め、このＶ （Ｚ）曲
線をフーリエ解析することにより反射波の空間反射パワ
ー（後述）を求める。全く同様の手法により他の種々の
厚さｄについても空間反射パワーを求める。そして、各
厚さｄに対する各空間反射パワーをプロットして特性曲
線を作成する。この特性曲線が第１図に示されている。
第１図に示す特性曲線では横軸に厚さｄを弾性表面波Ｒ
の波長λ、で除した値が、縦軸に空間反射パワーがとっ
である。なお、第２図は理論解析して得られたＶ （Ｚ
）曲線をフーリエ解析した周波数特性を示し、横軸に周
波数、縦軸にパワースペクトルがとっである。そして、
このパワースペクトルの合計、即ち図示の特性曲線で囲
まれた面積が空間反射パワーとなる。以下、第１図に示
す特性曲線の作成について説明する。
の波長λ、で除した値が、縦軸に空間反射パワーがとっ
である。なお、第２図は理論解析して得られたＶ （Ｚ
）曲線をフーリエ解析した周波数特性を示し、横軸に周
波数、縦軸にパワースペクトルがとっである。そして、
このパワースペクトルの合計、即ち図示の特性曲線で囲
まれた面積が空間反射パワーとなる。以下、第１図に示
す特性曲線の作成について説明する。
今、第５図に示すように、水の層ｆから加工変質層０に
入射角θ、で入射する超音波について着目する。ここで
、縦波を表すスカラポテンシャルをΦ、横波を表すベク
トルポテンシャルを甲とし、ラメ定数をλ、μとすると
、加工変質層０に生じる変位（Ｕ、 Ｗ） 、および応
力（σ２□、σつ２）は次式で表される。
入射角θ、で入射する超音波について着目する。ここで
、縦波を表すスカラポテンシャルをΦ、横波を表すベク
トルポテンシャルを甲とし、ラメ定数をλ、μとすると
、加工変質層０に生じる変位（Ｕ、 Ｗ） 、および応
力（σ２□、σつ２）は次式で表される。
ａｚ ａｘ
例えば、加工変質層０を伝播する縦波のポテンシャルを
Φ０とし、当該縦波の入射波と反射波の振幅をそれぞれ
Φ？、Φ？とすると、ポテンシャルΦＯは Φ０−Φ？ ｅｘｐ（ｉζｇｈ Ｚ ＋ｉ η）＋Φ￥
ｅｘｐ（−ｉ Ｃｇ Ｚ ＋ ｉ η）−（６）ただ
し、Ｃａは、 である。（７）式で、ωは円振動数、Ｃｆは音響媒体で
ある水中ｆを伝播する縦波の音速を示す。
Φ０とし、当該縦波の入射波と反射波の振幅をそれぞれ
Φ？、Φ？とすると、ポテンシャルΦＯは Φ０−Φ？ ｅｘｐ（ｉζｇｈ Ｚ ＋ｉ η）＋Φ￥
ｅｘｐ（−ｉ Ｃｇ Ｚ ＋ ｉ η）−（６）ただ
し、Ｃａは、 である。（７）式で、ωは円振動数、Ｃｆは音響媒体で
ある水中ｆを伝播する縦波の音速を示す。
又、ｄａは複素音速であり、加工変質層０を伝播する縦
波の音速、減衰定数、波長をそれぞれＣａ。
波の音速、減衰定数、波長をそれぞれＣａ。
αａ、λａとすると次式で定義される。
さらに、上記（６）式におけるηは、
Ｃｆ
である。
一方、水の層ｆと加工変質層０の界面、および加工変質
層０と母材Ｓの界面においては、の境界条件が成り立つ
。したがって、この（１０）式の境界条件を上記（２）
〜（９）式に代入することにより、深さｄを含むマトリ
クスの方程式を得ることができる。この方程式における
深さｄに任意の値を与えて距離Ｚの値を変化させてゆく
と第４図に示すようなＶ （Ｚ）曲線を得ることができ
、このＶ （Ｚ）曲線をフーリエ解析してその深さｄに
ついての空間反射パワーを求めることができる。
層０と母材Ｓの界面においては、の境界条件が成り立つ
。したがって、この（１０）式の境界条件を上記（２）
〜（９）式に代入することにより、深さｄを含むマトリ
クスの方程式を得ることができる。この方程式における
深さｄに任意の値を与えて距離Ｚの値を変化させてゆく
と第４図に示すようなＶ （Ｚ）曲線を得ることができ
、このＶ （Ｚ）曲線をフーリエ解析してその深さｄに
ついての空間反射パワーを求めることができる。
このように、各深さｄとこれに対応する空間反射パワー
とを求めた後、両者の関係を表わす特性曲線を描くこと
になるが、この場合、両者の特性をより一層明確にする
ため、深さｄを弾性表面波Ｒの波長λつで除した値−ｄ
／λ、を横軸、空間反射パワーを縦軸にとる。このよう
にして描かれた特性曲線が第１図に示されている。
とを求めた後、両者の関係を表わす特性曲線を描くこと
になるが、この場合、両者の特性をより一層明確にする
ため、深さｄを弾性表面波Ｒの波長λつで除した値−ｄ
／λ、を横軸、空間反射パワーを縦軸にとる。このよう
にして描かれた特性曲線が第１図に示されている。
第１図の特性曲線をみると、加工変質層０の空間反射パ
ワーは深さｄが大きくなるにしたがって非線形に増加し
てゆき、深さｄが図示の値ｄ ｍａｘに達すると以後は
一定値となる。このような深さｄと空間反射パワーとの
関係は、弾性表面波Ｒが励起される加工変質層Ｏの機械
的性質に依存して変化するものと考えられる。そして測
定可能範囲は深さｄ ｍａｘ以内となる。
ワーは深さｄが大きくなるにしたがって非線形に増加し
てゆき、深さｄが図示の値ｄ ｍａｘに達すると以後は
一定値となる。このような深さｄと空間反射パワーとの
関係は、弾性表面波Ｒが励起される加工変質層Ｏの機械
的性質に依存して変化するものと考えられる。そして測
定可能範囲は深さｄ ｍａｘ以内となる。
次に、上記理論解析に用いたのと同じ材質の母材を加工
した場合の加工変質層の深さの測定について述べる。超
音波プローブをＺ軸上に移動させながらこの母材表面に
超音波を放射し、その反射波の大きさを採取すると、そ
の測定対象から第４図に示すようなＶ （Ｚ）曲線が得
らる。このように実測されたＶ （Ｚ）曲線をフーリエ
解析することにより空間反射パワーが求められる。そし
て、この求められた空間反射パワーに対応するｄ／λ、
の値を第１図に示す特性曲線から求め、その値にλ８を
乗じると加工変質層の深さを知ることかで舎る。
した場合の加工変質層の深さの測定について述べる。超
音波プローブをＺ軸上に移動させながらこの母材表面に
超音波を放射し、その反射波の大きさを採取すると、そ
の測定対象から第４図に示すようなＶ （Ｚ）曲線が得
らる。このように実測されたＶ （Ｚ）曲線をフーリエ
解析することにより空間反射パワーが求められる。そし
て、この求められた空間反射パワーに対応するｄ／λ、
の値を第１図に示す特性曲線から求め、その値にλ８を
乗じると加工変質層の深さを知ることかで舎る。
このように、本実施例では、理論解析によりＶ（Ｚ）曲
線を求め、このＶ （Ｚ）曲線に基づいて空間反射パワ
ーと加工変質層の深さの関係を特性曲線に作成しておき
、測定対象に対しては超音波を放射してＶ （Ｚ）曲線
を実測により求め、これをフーリエ解析して空間反射パ
ワーを求め、この空間反射パワーに対応する深さを予め
作成されている特性曲線から求めるようにしたので、き
わめて容易に加工変質層の深さを測定することができる
。
線を求め、このＶ （Ｚ）曲線に基づいて空間反射パワ
ーと加工変質層の深さの関係を特性曲線に作成しておき
、測定対象に対しては超音波を放射してＶ （Ｚ）曲線
を実測により求め、これをフーリエ解析して空間反射パ
ワーを求め、この空間反射パワーに対応する深さを予め
作成されている特性曲線から求めるようにしたので、き
わめて容易に加工変質層の深さを測定することができる
。
なお、上記実施例の説明では、ある特定の材質の母材に
おける加工変質層の深さの測定について述べたが、他の
種々の材質の母材についても、各母材について上記説明
と同様の手法で予め特性曲線を作成しておくことにより
、それら母材の加工変質層の深さの測定を行なうことが
できるのは明らかである。又、加工変質層の深さの測定
だけでなく、例えばプリント配線基板の表面に印刷され
た銅層の厚さの測定等にも適用可能である。さらに、上
記実施例の説明では、理論解析による特性曲線を作成す
る場合、横軸に−ｄ／λ８をとったが、深さｄそのもの
を横軸としてもよいのは当然である。又、上記実施例の
説明では母材表面の一点について加工変質層の深さにつ
いて測定する例を説明したが、母材表面の各点について
の測定を行ない、その測定結果を画像処理すれば、定め
られた深さ範囲毎に、母材表面に存在する加工変質層の
深さを等直線、色別、濃淡等により表示することができ
る。
おける加工変質層の深さの測定について述べたが、他の
種々の材質の母材についても、各母材について上記説明
と同様の手法で予め特性曲線を作成しておくことにより
、それら母材の加工変質層の深さの測定を行なうことが
できるのは明らかである。又、加工変質層の深さの測定
だけでなく、例えばプリント配線基板の表面に印刷され
た銅層の厚さの測定等にも適用可能である。さらに、上
記実施例の説明では、理論解析による特性曲線を作成す
る場合、横軸に−ｄ／λ８をとったが、深さｄそのもの
を横軸としてもよいのは当然である。又、上記実施例の
説明では母材表面の一点について加工変質層の深さにつ
いて測定する例を説明したが、母材表面の各点について
の測定を行ない、その測定結果を画像処理すれば、定め
られた深さ範囲毎に、母材表面に存在する加工変質層の
深さを等直線、色別、濃淡等により表示することができ
る。
以上述べたように、本発明では、理論解析によリ、又は
モデルを実測することにより、予め測定対象と同一の層
構造の空間反射パワーと測定対象の厚さとの関係を求め
ておき、実際の層構造に対しては超音波を放射すること
により空間反射パワーを実測し、予め求められている関
係により対応する厚さを見出すようにしたので、超音波
の周波数を広い範囲に亘って変化させ、得られる特性曲
線の変曲点を見出すという従来の方法に比較して、きわ
めて容易に測定を行なうことができる。
モデルを実測することにより、予め測定対象と同一の層
構造の空間反射パワーと測定対象の厚さとの関係を求め
ておき、実際の層構造に対しては超音波を放射すること
により空間反射パワーを実測し、予め求められている関
係により対応する厚さを見出すようにしたので、超音波
の周波数を広い範囲に亘って変化させ、得られる特性曲
線の変曲点を見出すという従来の方法に比較して、きわ
めて容易に測定を行なうことができる。
第１図は空間反射パワーと加工変質層の深さの関係を示
す特性曲線図、第２図はＶ （Ｚ）曲線の周波数特性図
、第３図は従来の測定方法に使用される装置のブロック
図、第４図は超音波反射波の強度と超音波プローブの相
対位置との関係を示す特性曲線図、第５図は加工変質層
近辺の拡大図である。 代理人 弁理士 武 顕次部（外１名）′：Ｉ＞ 〆で（’ｌ Ｊ−ｆ 細動■凶；″Ｓい−
す特性曲線図、第２図はＶ （Ｚ）曲線の周波数特性図
、第３図は従来の測定方法に使用される装置のブロック
図、第４図は超音波反射波の強度と超音波プローブの相
対位置との関係を示す特性曲線図、第５図は加工変質層
近辺の拡大図である。 代理人 弁理士 武 顕次部（外１名）′：Ｉ＞ 〆で（’ｌ Ｊ−ｆ 細動■凶；″Ｓい−
Claims (1)
- 測定対象と同じ既知の母材表面の層構造に対して超音
波を放射したときに前記層構造から反射する空間反射パ
ワーと前記層構造の厚さとの関係を予め求めておき、超
音波を放射するとともにその反射波を電気信号に変換す
る超音波プローブを測定対象母材表面の層構造に対して
垂直方向に移動させることにより、その反射波の空間反
射パワーの大きさを実測で求め、この空間反射パワーに
対応する前記測定対象の層構造の厚さを前記予め求めら
れた関係を用いて求めることを特徴とする物体表面の層
構造の厚さの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63259443A JPH02107906A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 物体表面の層構造の厚さの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63259443A JPH02107906A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 物体表面の層構造の厚さの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02107906A true JPH02107906A (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=17334156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63259443A Pending JPH02107906A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 物体表面の層構造の厚さの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02107906A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59192907A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Toppan Printing Co Ltd | 厚み測定方法 |
| JPS6281561A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡を用いた計測方法 |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP63259443A patent/JPH02107906A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59192907A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Toppan Printing Co Ltd | 厚み測定方法 |
| JPS6281561A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡を用いた計測方法 |
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