JPH02110165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02110165U JPH02110165U JP1849789U JP1849789U JPH02110165U JP H02110165 U JPH02110165 U JP H02110165U JP 1849789 U JP1849789 U JP 1849789U JP 1849789 U JP1849789 U JP 1849789U JP H02110165 U JPH02110165 U JP H02110165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- voltage
- elements
- power supply
- supply device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の適用例を示す、電子線照射装
置の電子源用フイラメントの電源装置の概要構成
図、第２図イは電子流の対時間関係図、同図ロは
フイラメント電圧の対時間関係図、第３図は従来
の電子源用フイラメントの電源装置の概要構成図
、第４図イは従来の電子源用フイラメントの電源
装置における電子流の対時間関係図、同図ロはフ
イラメント電圧の対時間関係図である。 １……フイラメント、２……フイラメントトラ
ンス、３……発電機、４……加速管、５……直流
高電圧発生装置、６……電流検出回路、７……プ
ロセス制御回路、８……電動機、９……フイラメ
ント電圧計、１０……フイラメントの電源装置、
１１……電子流、１２……切替制御回路、１３…
…中間タツプ、１４……フイラメント素子。
置の電子源用フイラメントの電源装置の概要構成
図、第２図イは電子流の対時間関係図、同図ロは
フイラメント電圧の対時間関係図、第３図は従来
の電子源用フイラメントの電源装置の概要構成図
、第４図イは従来の電子源用フイラメントの電源
装置における電子流の対時間関係図、同図ロはフ
イラメント電圧の対時間関係図である。 １……フイラメント、２……フイラメントトラ
ンス、３……発電機、４……加速管、５……直流
高電圧発生装置、６……電流検出回路、７……プ
ロセス制御回路、８……電動機、９……フイラメ
ント電圧計、１０……フイラメントの電源装置、
１１……電子流、１２……切替制御回路、１３…
…中間タツプ、１４……フイラメント素子。
Claims (1)
- ジユール加熱によつて熱電子を発生させる電子
源用フイラメントの電源装置において、前記フイ
ラメントの中間点から引き出した中間端子によつ
て電気的に２分割されたフイラメント素子と、こ
れら２つのフイラメント素子を、フイラメント電
圧が一定値に達するまでは、前記電気的に２分割
されたフイラメント素子を並列接続してフイラメ
ント電圧を印加し、前記フイラメント電圧が前記
一定値と等しいか、より大となつた時に、前記２
つのフイラメント素子を直列接続してフイラメン
ト電圧を印加するように切り替える切替装置とか
らなることを特徴とする電子線照射装置の電子源
用フイラメントの電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1849789U JPH02110165U (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1849789U JPH02110165U (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02110165U true JPH02110165U (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=31233200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1849789U Pending JPH02110165U (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02110165U (ja) |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP1849789U patent/JPH02110165U/ja active Pending
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