JPH021108A - 縮小投影露光装置 - Google Patents
縮小投影露光装置Info
- Publication number
- JPH021108A JPH021108A JP63142391A JP14239188A JPH021108A JP H021108 A JPH021108 A JP H021108A JP 63142391 A JP63142391 A JP 63142391A JP 14239188 A JP14239188 A JP 14239188A JP H021108 A JPH021108 A JP H021108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lcd
- pattern
- reticle
- exposure
- exposure pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレチクルに形成された露光パターンを半導体ウ
ェーハに縮小投影して、所定のパターンを有する半導体
チップを製造する縮小投影露光装置に係り、特に異なる
露光パターン毎にレチクルを取り換える必要のない縮小
投影露光装置に関する。
ェーハに縮小投影して、所定のパターンを有する半導体
チップを製造する縮小投影露光装置に係り、特に異なる
露光パターン毎にレチクルを取り換える必要のない縮小
投影露光装置に関する。
従来の縮小投影露光装置は、所定の露光パターンが描か
れたレチクルと、所定の縮尺率で露光パターンを縮小す
る縮小投影レンズとが紫外線などの照明光の光路内に配
設されると共に、縮小投影レンズの光路下流側にはフォ
トレジストが均一に塗布された半導体ウェーハがセット
されて構成されている。半導体ウェーハへの露光にあた
っては、光源から出射した照明光をレチクルを通過させ
、縮小投影レンズで露光パターンを縮小してフォトレジ
ストを感光させることにより行い、この操作を半導体ウ
ェーハ上でステップ・アンド・リピートして、−チップ
ごとに焼き付けていく。
れたレチクルと、所定の縮尺率で露光パターンを縮小す
る縮小投影レンズとが紫外線などの照明光の光路内に配
設されると共に、縮小投影レンズの光路下流側にはフォ
トレジストが均一に塗布された半導体ウェーハがセット
されて構成されている。半導体ウェーハへの露光にあた
っては、光源から出射した照明光をレチクルを通過させ
、縮小投影レンズで露光パターンを縮小してフォトレジ
ストを感光させることにより行い、この操作を半導体ウ
ェーハ上でステップ・アンド・リピートして、−チップ
ごとに焼き付けていく。
このような従来の縮小投影露光装置においては２露光パ
ターンがレチクルに描かれているため、露光パターンの
切り替え毎にレチクルを取り替える必要がある。しかし
、このレチクルの交換はレチクルを照明光の光路内の所
定位置に取り付けることが必要なため、その交換作業が
面倒となっている。また、レチクル交換時には光路内に
埃が混入し易く、侵入した埃が露光されてパターン不良
ともなる。
ターンがレチクルに描かれているため、露光パターンの
切り替え毎にレチクルを取り替える必要がある。しかし
、このレチクルの交換はレチクルを照明光の光路内の所
定位置に取り付けることが必要なため、その交換作業が
面倒となっている。また、レチクル交換時には光路内に
埃が混入し易く、侵入した埃が露光されてパターン不良
ともなる。
そこで本発明は、異なる露光パターンへの切り替えにあ
たっても、レチクルの交換を不要とした縮小投影露光装
置を提供することにより、上記問題を解決するものであ
る。
たっても、レチクルの交換を不要とした縮小投影露光装
置を提供することにより、上記問題を解決するものであ
る。
本発明は、液晶（ＬＣＤ）分子の配向変形を露光パター
ンに適用して露光パターンの切り替えに応用したもので
あり、ＬＣＤ板を備えてなるＬＣＤレチクルと、このＬ
ＣＤレチクルを駆動するＬＣＤ駆動部と、ＬＣＤレチク
ルで表わされる露光パターンを記憶するパターン記憶部
と、露光パターンを切り替えるパターン切替部と、この
パターン切替部で切り替えられた露光パターンがＬＣＤ
レチクルで表わされるようにＬＣＤ駆動部を制御する制
御部とを備えていることを特徴とする。
ンに適用して露光パターンの切り替えに応用したもので
あり、ＬＣＤ板を備えてなるＬＣＤレチクルと、このＬ
ＣＤレチクルを駆動するＬＣＤ駆動部と、ＬＣＤレチク
ルで表わされる露光パターンを記憶するパターン記憶部
と、露光パターンを切り替えるパターン切替部と、この
パターン切替部で切り替えられた露光パターンがＬＣＤ
レチクルで表わされるようにＬＣＤ駆動部を制御する制
御部とを備えていることを特徴とする。
本発明は上記の通りに構成されるので、パターン記憶部
は複数の露光パターンが記憶されており、その内の−の
露光パターンがパターン切替部により取り出される。取
り出された露光パターンはＬＣＤ駆動部の駆動によって
ＬＣＤレチクルに表現される。従って、ＬＣＤ駆動部の
駆動を制御することにより、ＬＣＤレチクルでは取り出
された露光パターンに対応する露光パターンを切り替え
表示する。
は複数の露光パターンが記憶されており、その内の−の
露光パターンがパターン切替部により取り出される。取
り出された露光パターンはＬＣＤ駆動部の駆動によって
ＬＣＤレチクルに表現される。従って、ＬＣＤ駆動部の
駆動を制御することにより、ＬＣＤレチクルでは取り出
された露光パターンに対応する露光パターンを切り替え
表示する。
以下、本発明の実施例を添付図面により詳細に説明する
。
。
第１図は実施例に係る縮小投影露光装置１０の斜視図を
示す。縮小投影露光装置１０はＬＣＤ板１１が支持枠１
２内に取り付けられたＬＣＤレチクル１３と、ＬＣＤレ
チクル１３を駆動するためのＬＣＤ駆動部１４．１５と
、このＬＣＤ駆動部１４．１５を制御する制御部１６と
、複数の露光パターンが記憶されたパターン記憶部１７
と、パターン記憶部１７から所定の露光パターンを取り
出して露光パターンの切り替えを行うパターン切替部１
８とを備えている。また、ＬＣＤレチクル１３の下方に
は、縮小投影レンズ（図示せず）が適宜、配設される。
示す。縮小投影露光装置１０はＬＣＤ板１１が支持枠１
２内に取り付けられたＬＣＤレチクル１３と、ＬＣＤレ
チクル１３を駆動するためのＬＣＤ駆動部１４．１５と
、このＬＣＤ駆動部１４．１５を制御する制御部１６と
、複数の露光パターンが記憶されたパターン記憶部１７
と、パターン記憶部１７から所定の露光パターンを取り
出して露光パターンの切り替えを行うパターン切替部１
８とを備えている。また、ＬＣＤレチクル１３の下方に
は、縮小投影レンズ（図示せず）が適宜、配設される。
ＬＣＤ板１１内には電界の印加によって液晶分子が直交
方向に配向する液晶セルが設けられている。そして、Ｌ
ＣＤ駆動部１４．１５は多数の駆動リード線１９．２０
を備えており、ＬＣＤ駆動部１４の駆動リード線１９は
例えばＬＣＤ板１１の上面に配設された透明電極（図示
せず）に接続され、ＬＣＤ駆動部１５の駆動リード線２
０は例えばＬＣＤ板の下面に配設された透明電極（図示
せず）に接続され、これによって上記の液晶分子を配向
させるように駆動する。このような構成では、ＬＣＤ駆
動部１４．１５の駆動を制御することにより上記の透明
電極間に所定の電界が発生するので、所定の露光パター
ンを形成することができる。
方向に配向する液晶セルが設けられている。そして、Ｌ
ＣＤ駆動部１４．１５は多数の駆動リード線１９．２０
を備えており、ＬＣＤ駆動部１４の駆動リード線１９は
例えばＬＣＤ板１１の上面に配設された透明電極（図示
せず）に接続され、ＬＣＤ駆動部１５の駆動リード線２
０は例えばＬＣＤ板の下面に配設された透明電極（図示
せず）に接続され、これによって上記の液晶分子を配向
させるように駆動する。このような構成では、ＬＣＤ駆
動部１４．１５の駆動を制御することにより上記の透明
電極間に所定の電界が発生するので、所定の露光パター
ンを形成することができる。
制御部１６はこれらＬＣＤ駆動部１４．１５に接続され
て、所定の露光パターンがＬＣＤ板１１に表わされるよ
うにＬＣＤ駆動部１４．１’５を制御する。パターン切
替部１８はパターン記憶部１７内にディジタル記憶され
ている露光パターンから所定の露光パターンを選択し、
制御部１６はこの選択された露光パターンに基いてＬＣ
Ｄ駆動部１４．１５を制御する。ここで、パターン記憶
部１７はＲＯＭや磁気記憶装置で構成され、パターン切
替部１８はキーボード、切替スイッチなどで構成される
。
て、所定の露光パターンがＬＣＤ板１１に表わされるよ
うにＬＣＤ駆動部１４．１’５を制御する。パターン切
替部１８はパターン記憶部１７内にディジタル記憶され
ている露光パターンから所定の露光パターンを選択し、
制御部１６はこの選択された露光パターンに基いてＬＣ
Ｄ駆動部１４．１５を制御する。ここで、パターン記憶
部１７はＲＯＭや磁気記憶装置で構成され、パターン切
替部１８はキーボード、切替スイッチなどで構成される
。
次に、上記実施例に係る縮小投影露光装置の作動を説明
する。
する。
露光される半導体ウェーハ１は上面にフォトレジストが
塗布されており、ステージ３上の所定位置にセットされ
ている。ＬＣＤレチクル１３および縮小投影レンズはス
テッパ（図示せず）によって半導体ウェーハ１上方でス
テップ・アンド・リピート駆動されて、チップ２毎に移
動する。光源（図示せず）からの紫外線などの照射光Ｕ
Ｖは、ＬＣＤレチクル１３を通過し縮小投影レンズで集
光された後、半導体ウェーハ１上に結像する。これによ
り、ＬＣＤ板１１で表わされた露光パターンが縮小され
て露光され、チップ２にパターンが形成される。
塗布されており、ステージ３上の所定位置にセットされ
ている。ＬＣＤレチクル１３および縮小投影レンズはス
テッパ（図示せず）によって半導体ウェーハ１上方でス
テップ・アンド・リピート駆動されて、チップ２毎に移
動する。光源（図示せず）からの紫外線などの照射光Ｕ
Ｖは、ＬＣＤレチクル１３を通過し縮小投影レンズで集
光された後、半導体ウェーハ１上に結像する。これによ
り、ＬＣＤ板１１で表わされた露光パターンが縮小され
て露光され、チップ２にパターンが形成される。
かかる作動において、露光パターンを切り替える場合に
はパターン切替部１８がその露光パターンをパターン記
憶部１７から選択し、この露光パターンを制御部１６に
出力する。制御部１６はこの露光パターンがＬＣＤ板１
１に表わされるようにＬＣＤ駆動部１４．１５を制御す
る。
はパターン切替部１８がその露光パターンをパターン記
憶部１７から選択し、この露光パターンを制御部１６に
出力する。制御部１６はこの露光パターンがＬＣＤ板１
１に表わされるようにＬＣＤ駆動部１４．１５を制御す
る。
このような構成では、パターン切替部１８で切り替えら
れた複数の露光パターンを−のＬＣＤ板１１で切り替え
表示することができるので、露光パターンの切り替え毎
にレチクルを交換する必要がない。このため、レチクル
交換作業が不要となり露光処理の迅速化が可能となると
共に、レチクル交換に起因する埃の侵入もなくなり、埃
によるパターン不良もなくなる。なお、ＬＣＤによるパ
ターンは微細化の点で問題があるが、光学系の改良など
によって微細化に対応することが可能である。
れた複数の露光パターンを−のＬＣＤ板１１で切り替え
表示することができるので、露光パターンの切り替え毎
にレチクルを交換する必要がない。このため、レチクル
交換作業が不要となり露光処理の迅速化が可能となると
共に、レチクル交換に起因する埃の侵入もなくなり、埃
によるパターン不良もなくなる。なお、ＬＣＤによるパ
ターンは微細化の点で問題があるが、光学系の改良など
によって微細化に対応することが可能である。
以上、詳細に説明したように本発明は、ＬＣＤ板をレチ
クルとして使用し、ＬＣＤ駆動部および制御部によって
露光パターンを切り替え可能にＬＣＤ板に表わすように
したので、−のレチクルで多数の露光パターンを表示す
ることができ、露光パターン毎のレチクルの交換が不要
となる。
クルとして使用し、ＬＣＤ駆動部および制御部によって
露光パターンを切り替え可能にＬＣＤ板に表わすように
したので、−のレチクルで多数の露光パターンを表示す
ることができ、露光パターン毎のレチクルの交換が不要
となる。
第１図は、本発明の一実施例に係る縮小投影露光装置を
示す斜視図である。 １０・・・縮小投影露光装置、１１・・・ＬＣＤ板、１
３・・・ＬＣＤレチクル、１４．１５・・・ＬＣＤ駆動
部、１６・・・制御部、１７・・・パターン記憶部、１
８・・・パターン切替部。
示す斜視図である。 １０・・・縮小投影露光装置、１１・・・ＬＣＤ板、１
３・・・ＬＣＤレチクル、１４．１５・・・ＬＣＤ駆動
部、１６・・・制御部、１７・・・パターン記憶部、１
８・・・パターン切替部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＬＣＤ板を備えてなるＬＣＤレチクルと、 このＬＣＤレチクルを駆動するＬＣＤ駆動部と、前記Ｌ
ＣＤレチクルで表わされる露光パターンを記憶するパタ
ーン記憶部と、 前記露光パターンを切り替えるパターン切替部と、 このパターン切替部で切り替えられた露光パターンが前
記ＬＣＤレチクルで表わされるように前記ＬＣＤ駆動部
を制御する制御部とを備えていることを特徴とする縮小
投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63142391A JPH021108A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 縮小投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63142391A JPH021108A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 縮小投影露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021108A true JPH021108A (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=15314272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63142391A Pending JPH021108A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 縮小投影露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6705228B1 (en) * | 1999-09-17 | 2004-03-16 | Basys Print Gmbh Systeme Fuer Druckindustrie | Method for synchronizing positioning and exposure processes |
-
1988
- 1988-06-08 JP JP63142391A patent/JPH021108A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6705228B1 (en) * | 1999-09-17 | 2004-03-16 | Basys Print Gmbh Systeme Fuer Druckindustrie | Method for synchronizing positioning and exposure processes |
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