JPH02113018U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02113018U JPH02113018U JP2253889U JP2253889U JPH02113018U JP H02113018 U JPH02113018 U JP H02113018U JP 2253889 U JP2253889 U JP 2253889U JP 2253889 U JP2253889 U JP 2253889U JP H02113018 U JPH02113018 U JP H02113018U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supply passage
- air supply
- bearing gap
- table guide
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る静圧スライド装置の第
１の実施例を示す縦断正面図、第２図は同縦断側
面図、第３図乃至第５図の各々は同上に組込み使
用する開閉弁の異なつた例を示す拡大縦断面図、
第６図は第２の実施例を示す縦断正面図、第７図
と第８図は同上に組込み使用する開閉弁の拡大縦
断面図、第９図は同第３の実施例を示す縦断正面
図、第１０図は同縦断側面図、第１１図と第１２
図は同上に組込み使用する開閉弁の拡大縦断面図
、第１３図は従来の静圧スライド装置を示す縦断
正面図、第１４図は同上の縦断側面図である。 １１……テーブルガイド、１２……移動テーブ
ル、１３……軸受隙間、１４……給気通路、１５
……噴射孔、１６……開閉弁、１７……マグネツ
ト、１８……ノズル部、２２……止め栓、２３…
…固定マグネツト、２５……圧縮コイルばね、２
６……引張りコイルばね、３１……切替えスプー
ル、３４，３５……環状溝、３６……通路、３９
……分岐通路、４０……流出通路、４１……噴出
通路、５１……底板、５２……軸、５３……通孔
、５４……弁体。
１の実施例を示す縦断正面図、第２図は同縦断側
面図、第３図乃至第５図の各々は同上に組込み使
用する開閉弁の異なつた例を示す拡大縦断面図、
第６図は第２の実施例を示す縦断正面図、第７図
と第８図は同上に組込み使用する開閉弁の拡大縦
断面図、第９図は同第３の実施例を示す縦断正面
図、第１０図は同縦断側面図、第１１図と第１２
図は同上に組込み使用する開閉弁の拡大縦断面図
、第１３図は従来の静圧スライド装置を示す縦断
正面図、第１４図は同上の縦断側面図である。 １１……テーブルガイド、１２……移動テーブ
ル、１３……軸受隙間、１４……給気通路、１５
……噴射孔、１６……開閉弁、１７……マグネツ
ト、１８……ノズル部、２２……止め栓、２３…
…固定マグネツト、２５……圧縮コイルばね、２
６……引張りコイルばね、３１……切替えスプー
ル、３４，３５……環状溝、３６……通路、３９
……分岐通路、４０……流出通路、４１……噴出
通路、５１……底板、５２……軸、５３……通孔
、５４……弁体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) テーブルガイドとこのテーブルガイドを外
包する移動テーブルとの間に微小な軸受隙間を形
成し、テーブルガイドの内部に設けた給気通路を
通つて軸受隙間に圧縮空気を供給し、その静圧作
用によつて移動テーブルをテーブルガイドから浮
上させる静圧スライド装置において、給気通路の
軸受隙間に臨む空気噴射孔をノズル部に形成し、
移動テーブルにマグネツトを取付け、前記給気通
路に、この給気通路を開閉自在とし、マグネツト
の吸引力によつて給気通路を開く開閉弁を設けた
ことを特徴とする静圧スライド装置。 (2) テーブルガイドとこのテーブルガイドを外
包する移動テーブルとの間に微小な軸受隙間を形
成し、テーブルガイドの内部に設けた給気通路を
通つて軸受隙間に圧縮空気を供給し、その静圧作
用によつて移動テーブルをテーブルガイドから浮
上させる静圧スライド装置において、給気通路の
軸受隙間に臨む空気噴射孔をノズル部に形成し、
前記給気通路に、光感応膨張型高分子材料を用い
て給気通路を開閉自在とし、移動テーブルによる
光のカツトで給気通路を開く開閉弁を設けたこと
を特徴とする静圧スライド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253889U JPH02113018U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253889U JPH02113018U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113018U true JPH02113018U (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=31240746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253889U Pending JPH02113018U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113018U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043434A1 (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Nikon Corporation | 軸受装置及びステージ装置並びに露光装置 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP2253889U patent/JPH02113018U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043434A1 (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Nikon Corporation | 軸受装置及びステージ装置並びに露光装置 |
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