JPH02113258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02113258U JPH02113258U JP2272889U JP2272889U JPH02113258U JP H02113258 U JPH02113258 U JP H02113258U JP 2272889 U JP2272889 U JP 2272889U JP 2272889 U JP2272889 U JP 2272889U JP H02113258 U JPH02113258 U JP H02113258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- holding ring
- board
- folded part
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る基板保持
装置の基板保持状態を示す断面図である。第２図
は、第１図の基板保持装置の押えリング開放状態
を示す部分断面図である。第３図は、伝熱子のベ
ース上の配列の一例を部分的に示す平面図である
。第４図は、伝熱子の一例を拡大して示すもので
あり、Ａはその平面図、Ｂは側面図である。第５
図ないし第７図は、それぞれ、従来の基板保持装
置の例を示す断面図である。 ２……基板、４……ベース、６……押えリング
、１２……伝熱子、１２１……基部、１２２……
折り返し部。
装置の基板保持状態を示す断面図である。第２図
は、第１図の基板保持装置の押えリング開放状態
を示す部分断面図である。第３図は、伝熱子のベ
ース上の配列の一例を部分的に示す平面図である
。第４図は、伝熱子の一例を拡大して示すもので
あり、Ａはその平面図、Ｂは側面図である。第５
図ないし第７図は、それぞれ、従来の基板保持装
置の例を示す断面図である。 ２……基板、４……ベース、６……押えリング
、１２……伝熱子、１２１……基部、１２２……
折り返し部。
Claims (1)
- ベースと、基板の周縁部をベースに向けて押さ
え付ける押えリングと、前記ベースの押えリング
内領域の表面に取り付けられた多数の金属製の伝
熱子であつて、それぞれがＬ字状の基部と先端部
にコ字状の折り返し部とを有する板ばね構造をし
ており、かつ基板を押えリングで押さえ付けたと
きに折り返し部の上面が基板の下面に当接するよ
うにされたものとを備えることを特徴とする基板
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2272889U JPH02113258U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2272889U JPH02113258U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113258U true JPH02113258U (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=31241101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2272889U Pending JPH02113258U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113258U (ja) |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP2272889U patent/JPH02113258U/ja active Pending