JPH0211359B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0211359B2 JPH0211359B2 JP59127932A JP12793284A JPH0211359B2 JP H0211359 B2 JPH0211359 B2 JP H0211359B2 JP 59127932 A JP59127932 A JP 59127932A JP 12793284 A JP12793284 A JP 12793284A JP H0211359 B2 JPH0211359 B2 JP H0211359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating mirror
- flange
- rotating
- mirror
- elastic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
- B23K26/0673—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing into independently operating sub-beams, e.g. beam multiplexing to provide laser beams for several stations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ加工機に用いる回転ミラー組立
体に関するものである。
体に関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図にレーザ加工機の概観図を示すが、回転
ミラー１は１台のレーザ発振器２により複数の加
工ステーシヨン３で加工を可能にするため、レー
ザ光４を分割するものである。すなわちレーザ発
振器２からのレーザ光４は回転ミラー１により反
射又は透過され、その反射レーザ光６は集光レン
ズ７で加工ステーシヨン３上に集光され加工に供
せられる。
ミラー１は１台のレーザ発振器２により複数の加
工ステーシヨン３で加工を可能にするため、レー
ザ光４を分割するものである。すなわちレーザ発
振器２からのレーザ光４は回転ミラー１により反
射又は透過され、その反射レーザ光６は集光レン
ズ７で加工ステーシヨン３上に集光され加工に供
せられる。
この時回転ミラー１が回転軸５に対して正確に
取り付けられている必要がある。
取り付けられている必要がある。
ところが回転ミラー１が回転軸５に対して傾い
て固定されていると、回転ミラー１より反射され
た反射レーザ光６が変動し、集光レンズ７で集光
されたビームスポツト８が変動して加工精度が悪
化する。反射レーザ光６の変動が加工精度に与え
る影響をを無視できるようにするためには、反射
レーザ光６が集光レンズ７に入射する入射角変動
を30秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸５の回転精度による回転振れも考慮すると、回
転ミラー１は、回転軸５に対して取り付け角誤差
が５秒以内におさまつてなくてはならない。そこ
で、回転軸５に対して回転ミラー１を取り付角誤
差を５秒以内に収めるための従来例を次に述べ
る。
て固定されていると、回転ミラー１より反射され
た反射レーザ光６が変動し、集光レンズ７で集光
されたビームスポツト８が変動して加工精度が悪
化する。反射レーザ光６の変動が加工精度に与え
る影響をを無視できるようにするためには、反射
レーザ光６が集光レンズ７に入射する入射角変動
を30秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸５の回転精度による回転振れも考慮すると、回
転ミラー１は、回転軸５に対して取り付け角誤差
が５秒以内におさまつてなくてはならない。そこ
で、回転軸５に対して回転ミラー１を取り付角誤
差を５秒以内に収めるための従来例を次に述べ
る。
第１の従来例を第２図に示す。同図ａは側面
図、同図ｂは同図ａのＡ―A′における断面図で
ある。
図、同図ｂは同図ａのＡ―A′における断面図で
ある。
これは、第１のフランジ９の基準面１０を回転
軸１１に対しての直角度および平面度をあらかじ
め高精度（直角度1μm以下、平面度1μm以下）に
加工しておきこの面に回転ミラー１８のミラー面
１２を第２のフランジ１９により押しつける方法
である。
軸１１に対しての直角度および平面度をあらかじ
め高精度（直角度1μm以下、平面度1μm以下）に
加工しておきこの面に回転ミラー１８のミラー面
１２を第２のフランジ１９により押しつける方法
である。
これは第１のフランジ９の基準面１０の超精密
加工が必要であり、回転軸１１に対する基準面１
０の直角度及び平面度の超精密測定技術も必要と
なる。
加工が必要であり、回転軸１１に対する基準面１
０の直角度及び平面度の超精密測定技術も必要と
なる。
次に第２の従来例を第３図に示す。同図ａは左
側面図、同図ｂは同図ａのＢ―B′における断面
図、同図ｃは右側面図である。
側面図、同図ｂは同図ａのＢ―B′における断面
図、同図ｃは右側面図である。
これは、第１のフランジ１３、第２のフランジ
１４に取り付けられた締めつけネジ１５の締めつ
け力を調整することにより回転ミラー１９のミラ
ー面１６の倒れ角をオートコリメータで測定しな
がら回転軸１７に対してのミラー面１６の取りつ
け角を調整するものである。
１４に取り付けられた締めつけネジ１５の締めつ
け力を調整することにより回転ミラー１９のミラ
ー面１６の倒れ角をオートコリメータで測定しな
がら回転軸１７に対してのミラー面１６の取りつ
け角を調整するものである。
しかしながらこの構造だけでは、回転ミラー１
９の両側にある締めつけネジ１５を同時に調整し
なければならず高度の塾練度を要し、調整するの
に非常に時間がかかるという問題点を有してい
た。
９の両側にある締めつけネジ１５を同時に調整し
なければならず高度の塾練度を要し、調整するの
に非常に時間がかかるという問題点を有してい
た。
発明の目的
本発明は、以上のような問題点を解決するため
に、回転ミラー面の回転軸に対する取り付け角を
容易に調整できるようにした取り付け角補正機構
をもつ回転ミラー組立体を提供することを目的と
する。
に、回転ミラー面の回転軸に対する取り付け角を
容易に調整できるようにした取り付け角補正機構
をもつ回転ミラー組立体を提供することを目的と
する。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、回転ミラ
ーの両側にフランジを設け、このフランジの少な
くとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を設け、
フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取りつけ角を補正するようにし
た回転ミラー組立体を提供するものである。
ーの両側にフランジを設け、このフランジの少な
くとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を設け、
フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取りつけ角を補正するようにし
た回転ミラー組立体を提供するものである。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
第４図ａは本発明の一実施例における回転ミラ
ー組立体を示す側面図、同図ｂはそのＣ―C′にお
ける断面図である。
ー組立体を示す側面図、同図ｂはそのＣ―C′にお
ける断面図である。
同図において１０１は回転軸、１０２は反射部
を回転軸１０１の周辺に複数個設けた回転ミラ
ー、１０３は第１のフランジ、１０４は第２のフ
ランジ、１０６は第１のフランジ１０３に取り付
けられた締めつけネジ、１０７は第２のフランジ
１０４に取り付けられた締めつけネジ、１０８は
第１のフランジ１０３と回転ミラー１０２の間に
挿入された弾性体１０８である。回転ミラー１０
２のミラー面１０９の取り付け角補正機構は、第
１のフランジ１０３、第２のフランジ１０４、締
め付けネジ１０６，１０７、弾性体１０８から構
成されるものである。
を回転軸１０１の周辺に複数個設けた回転ミラ
ー、１０３は第１のフランジ、１０４は第２のフ
ランジ、１０６は第１のフランジ１０３に取り付
けられた締めつけネジ、１０７は第２のフランジ
１０４に取り付けられた締めつけネジ、１０８は
第１のフランジ１０３と回転ミラー１０２の間に
挿入された弾性体１０８である。回転ミラー１０
２のミラー面１０９の取り付け角補正機構は、第
１のフランジ１０３、第２のフランジ１０４、締
め付けネジ１０６，１０７、弾性体１０８から構
成されるものである。
弾性体１０８としてはウレタンゴムなどのゴム
が好適である。
が好適である。
この機構を用いた回転ミラー面１０９の回転軸
１０１に対する取りつけ角調整方法を以下に述べ
る。
１０１に対する取りつけ角調整方法を以下に述べ
る。
締めつけネジ１０６及び１０７をゆるめた状態
では弾性体１０８の弾性により回転ミラー１０２
は第２のフランジ１０４に押しつけられた状態に
なつている。当然このままでは回転ミラー面１０
９は回転軸１０１に対して直角度はでていない。
そこでまず締めつけネジ１０７のみで回転ミラー
面１０９の回転軸１０１に対する取りつけ角を５
秒以内に収める。このとき取りつけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整
中回転ミラー１０２は弾性体１０８の弾性により
保持されている。この調整が終つたら、締め付け
ネジ１０６で取りつけ角がくるわないように締め
つける。以上で作業は完了する。
では弾性体１０８の弾性により回転ミラー１０２
は第２のフランジ１０４に押しつけられた状態に
なつている。当然このままでは回転ミラー面１０
９は回転軸１０１に対して直角度はでていない。
そこでまず締めつけネジ１０７のみで回転ミラー
面１０９の回転軸１０１に対する取りつけ角を５
秒以内に収める。このとき取りつけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整
中回転ミラー１０２は弾性体１０８の弾性により
保持されている。この調整が終つたら、締め付け
ネジ１０６で取りつけ角がくるわないように締め
つける。以上で作業は完了する。
このように本実施例では回転ミラー１０２と第
１のフランジ１０３との間に弾性体１０８を挿入
することにより、締め付けネジによる調整が片側
ずつ単独に行えるので作業性が大いに改善され
る。
１のフランジ１０３との間に弾性体１０８を挿入
することにより、締め付けネジによる調整が片側
ずつ単独に行えるので作業性が大いに改善され
る。
なお弾性体１０８の位置は回転ミラー１０２と
第２のフランジ１０４との間に設けても良く、ま
た回転ミラー１０２の両側に設けても前記実施例
と同様の効果を奏する。
第２のフランジ１０４との間に設けても良く、ま
た回転ミラー１０２の両側に設けても前記実施例
と同様の効果を奏する。
発明の効果
以上要するに本発明は回転ミラーの両側に設け
られたフランジの少なくとも一方と回転ミラーと
の間に弾性体を設け、フランジに設けられた締め
つけ手段により回転ミラーのミラー面の取り付け
角を補正するようにしたもので、従来のように回
転ミラーを介して相対する締めつけネジを同時
に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角を調
整することはなく、片面からの締めつけネジの調
整を２回行うだけですみ非常に作業性が良くな
り、塾練していない者でも比較的簡単に短時間で
調整を行うことができる。
られたフランジの少なくとも一方と回転ミラーと
の間に弾性体を設け、フランジに設けられた締め
つけ手段により回転ミラーのミラー面の取り付け
角を補正するようにしたもので、従来のように回
転ミラーを介して相対する締めつけネジを同時
に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角を調
整することはなく、片面からの締めつけネジの調
整を２回行うだけですみ非常に作業性が良くな
り、塾練していない者でも比較的簡単に短時間で
調整を行うことができる。
第１図は回転ミラーを用いたレーザ加工機の概
要を示す概観図、第２図ａは回転ミラー組立体の
第１の従来例を示す側面図、同図ｂはａのＡ―
A′における断面図、第３図ａは回転ミラー組立
体の第２の従来例を示す左側面図、同図ｂはａの
Ｂ―B′における断面図、同図ｃは右側面図、第
４図ａは本発明の一実施例における回転ミラー組
立体の側面図、同図ｂはaC―C′における断面図
である。 １０１……回転軸、１０２……回転ミラー、１
０３……第１のフランジ、１０４……第２のフラ
ンジ、１０６……締めつけネジ、１０７……締め
つけネジ、１０８……弾性体、１０９……回転ミ
ラー面。
要を示す概観図、第２図ａは回転ミラー組立体の
第１の従来例を示す側面図、同図ｂはａのＡ―
A′における断面図、第３図ａは回転ミラー組立
体の第２の従来例を示す左側面図、同図ｂはａの
Ｂ―B′における断面図、同図ｃは右側面図、第
４図ａは本発明の一実施例における回転ミラー組
立体の側面図、同図ｂはaC―C′における断面図
である。 １０１……回転軸、１０２……回転ミラー、１
０３……第１のフランジ、１０４……第２のフラ
ンジ、１０６……締めつけネジ、１０７……締め
つけネジ、１０８……弾性体、１０９……回転ミ
ラー面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転軸に挿設された回転ミラーと、前記回転
ミラーの両側に設けられたフランジと、前記フラ
ンジに設けられ、フランジを貫通して回転ミラー
を締着する締めめつけ手段と、前記フランジの少
なくとも一方と回転ミラーとの間に挿設された弾
性体とを具備することを特徴とする回転ミラー組
立体。 ２ 弾性体がウレタンゴムからなることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の回転ミラー組立
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617085A JPS617085A (ja) | 1986-01-13 |
| JPH0211359B2 true JPH0211359B2 (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=14972200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59127932A Granted JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617085A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640176B2 (ja) * | 1989-01-30 | 1994-05-25 | 精電舎電子工業株式会社 | 光分岐装置 |
| US20060114948A1 (en) * | 2004-11-29 | 2006-06-01 | Lo Ho W | Workpiece processing system using a common imaged optical assembly to shape the spatial distributions of light energy of multiple laser beams |
| CN106735876B (zh) * | 2016-12-16 | 2019-03-01 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光分能装置 |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59127932A patent/JPS617085A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS617085A (ja) | 1986-01-13 |
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