JPH02114217U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02114217U JPH02114217U JP2362689U JP2362689U JPH02114217U JP H02114217 U JPH02114217 U JP H02114217U JP 2362689 U JP2362689 U JP 2362689U JP 2362689 U JP2362689 U JP 2362689U JP H02114217 U JPH02114217 U JP H02114217U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- measuring means
- bearing
- circuit
- feedback circuit
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示し、第
１図はターボ分子ポンプに適用されたものを示す
回路図、第２図は電源切換回路の作用説明図、第
３図ａ，ｂはそれぞれ保護ベアリングの状態に応
じて回転体に現れる変位の違いを示す説明図であ
る。また、第４図および第５図は従来のターボ分
子ポンプを示し、第４図は部分破砕縦断面図、第
５図は回路図である。 ２……回転体（ロータシヤフト）、７，８，９
……磁気軸受、７ａ，８ａ，９ａ……電磁石、７
ｂ，８ｂ，９ｂ……変位センサ、１１……フイー
ドバツク回路、１２……主電源、１３……バツテ
リ電源、１６……保護ベアリング、２１……計測
手段、２３……電源切換回路。
１図はターボ分子ポンプに適用されたものを示す
回路図、第２図は電源切換回路の作用説明図、第
３図ａ，ｂはそれぞれ保護ベアリングの状態に応
じて回転体に現れる変位の違いを示す説明図であ
る。また、第４図および第５図は従来のターボ分
子ポンプを示し、第４図は部分破砕縦断面図、第
５図は回路図である。 ２……回転体（ロータシヤフト）、７，８，９
……磁気軸受、７ａ，８ａ，９ａ……電磁石、７
ｂ，８ｂ，９ｂ……変位センサ、１１……フイー
ドバツク回路、１２……主電源、１３……バツテ
リ電源、１６……保護ベアリング、２１……計測
手段、２３……電源切換回路。
Claims (1)
- 電磁石と変位センサからなる磁気軸受と、この
磁気軸受を能動的に制御することによつて回転体
を浮上支持するフイードバツク回路と、このフイ
ードバツク回路を主電源又はバツテリ電源に選択
的に接続する電源切換回路と、前記磁気軸受に併
設した回転体支持用の添接形保護ベアリングとを
具備してなる回転機械に適用されるものであつて
、前記変位センサに変位レベル判定のための計測
手段を接続するとともに、この計測手段を前記バ
ツテリ電源と前記電源切換回路を通じて断接可能
に接続し、電源切換回路がフイードバツク回路の
両電源を断つた以後の一定時間内は少なくとも計
測手段をバツテリ電源に接続しておくことができ
るようにしたことを特徴とする保護ベアリングの
異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2362689U JPH02114217U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2362689U JPH02114217U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02114217U true JPH02114217U (ja) | 1990-09-12 |
Family
ID=31242777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2362689U Pending JPH02114217U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02114217U (ja) |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP2362689U patent/JPH02114217U/ja active Pending