JPH02116473A - 弾性研摩砥石 - Google Patents
弾性研摩砥石Info
- Publication number
- JPH02116473A JPH02116473A JP26858488A JP26858488A JPH02116473A JP H02116473 A JPH02116473 A JP H02116473A JP 26858488 A JP26858488 A JP 26858488A JP 26858488 A JP26858488 A JP 26858488A JP H02116473 A JPH02116473 A JP H02116473A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- polishing
- grindstone
- diamond
- abrasive grains
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、特に超硬合金の超精密研磨用として開発する
弾性砥石である。
弾性砥石である。
本発明は、結合材にエポキシ樹脂を用い、砥粒にダイヤ
モンド及び金属酸化物を用いたー化物の固定砥石であり
、固定砥石自体が全て研磨材部なので砥石として最後ま
で使用できる。しかも固定砥石自体が弾性に富んで、研
磨能率を向上した超精密研磨加工に最適な弾性研磨砥石
である。
モンド及び金属酸化物を用いたー化物の固定砥石であり
、固定砥石自体が全て研磨材部なので砥石として最後ま
で使用できる。しかも固定砥石自体が弾性に富んで、研
磨能率を向上した超精密研磨加工に最適な弾性研磨砥石
である。
従来、使用されていた研磨パッド、研磨シート及び酸化
クロームを焼結した弾性砥石は取扱い上、次の欠点があ
った。
クロームを焼結した弾性砥石は取扱い上、次の欠点があ
った。
研磨バンド、研磨シートの場合は、研磨材部の表面層が
薄いため極端に寿命が短いこと、被研磨加工物の外径が
３鰭程度の棒状部材を研磨加工すると面積当たりの荷重
が大きくなるため、目詰まり等を起こすことがある。さ
らに、研磨パッドにあっては研磨の手段とされるダイヤ
モンドなどのＴ１１ｉ１砥粒を供給しなければならず、
作業汚れと環境汚染が発生する。また、酸化クロームを
焼結した弾性砥石の場合は、前記研磨パッドや研磨シー
トのような弾性を得られないため、被研磨面への強い食
い込みを生じ深いスクラッチを発生し易いこと、スムー
ズな弾性が得られないため、磁石の均一摩耗が得られず
、扱いも難しく、さらに研磨材部表面を最後まで使用で
きないなどの欠点があった。
薄いため極端に寿命が短いこと、被研磨加工物の外径が
３鰭程度の棒状部材を研磨加工すると面積当たりの荷重
が大きくなるため、目詰まり等を起こすことがある。さ
らに、研磨パッドにあっては研磨の手段とされるダイヤ
モンドなどのＴ１１ｉ１砥粒を供給しなければならず、
作業汚れと環境汚染が発生する。また、酸化クロームを
焼結した弾性砥石の場合は、前記研磨パッドや研磨シー
トのような弾性を得られないため、被研磨面への強い食
い込みを生じ深いスクラッチを発生し易いこと、スムー
ズな弾性が得られないため、磁石の均一摩耗が得られず
、扱いも難しく、さらに研磨材部表面を最後まで使用で
きないなどの欠点があった。
本発明は、このような欠点を改善するものであって、研
磨材部も最後まで使用可能で、高弾性で、研磨能率を向
上し、目詰まり、研磨焼けが少なく、しかも、研磨の手
段である遊離砥粒の供給も不要となし、結合材としてエ
ポキシ樹脂を用い、合わせて結合材の中に金属酸化物と
して酸化クローム（Ｃｒｙ’ｓ）と酸化鉄（Ｐｅｇ’ｓ
、 ＦｅｚＯＪ及びダイヤモンド（Ｃ）を含有した弾性
砥石である。
磨材部も最後まで使用可能で、高弾性で、研磨能率を向
上し、目詰まり、研磨焼けが少なく、しかも、研磨の手
段である遊離砥粒の供給も不要となし、結合材としてエ
ポキシ樹脂を用い、合わせて結合材の中に金属酸化物と
して酸化クローム（Ｃｒｙ’ｓ）と酸化鉄（Ｐｅｇ’ｓ
、 ＦｅｚＯＪ及びダイヤモンド（Ｃ）を含有した弾性
砥石である。
この発明の砥石は、ダイヤモンド及び金属酸化物からな
る砥粒をエポキシ樹脂の結合材で成形硬化されたもので
ある。また、この発明に用いるエポキシ樹脂の硬化方法
は、通常常温硬化と熱硬化の２方法があるが、本発明は
、前記した２方法のどちらでも可能である。このように
して得られるダイヤモンド及び金属酸化物の含まれたエ
ポキシ樹脂硬化物は、従来の弾性砥石と比べて、エポキ
シ樹脂の存在により砥粒の結合度が高いほかに高弾性に
富み、超硬合金（金属）、サファイヤガラス等との面接
状態でも摩擦抵抗が低く、適正な微少量研磨が極めて容
易であるなどの優れた性能を有するものである。また、
この性能は前記砥粒の含有量を適宜混入することにより
更に改善され、砥石の性能を助成向上させ、かつ経済的
な加工を可能にするものである。
る砥粒をエポキシ樹脂の結合材で成形硬化されたもので
ある。また、この発明に用いるエポキシ樹脂の硬化方法
は、通常常温硬化と熱硬化の２方法があるが、本発明は
、前記した２方法のどちらでも可能である。このように
して得られるダイヤモンド及び金属酸化物の含まれたエ
ポキシ樹脂硬化物は、従来の弾性砥石と比べて、エポキ
シ樹脂の存在により砥粒の結合度が高いほかに高弾性に
富み、超硬合金（金属）、サファイヤガラス等との面接
状態でも摩擦抵抗が低く、適正な微少量研磨が極めて容
易であるなどの優れた性能を有するものである。また、
この性能は前記砥粒の含有量を適宜混入することにより
更に改善され、砥石の性能を助成向上させ、かつ経済的
な加工を可能にするものである。
次に、弾性砥石を成形加工する方法としては、通常の方
法にしたがって所定寸法の型内にダイヤモンドを適宜混
入したエポキシ樹脂のバインダーを注入し、真空管理状
態において加圧することなく、常温もしくは加温しなが
らダイヤモンドを均一に分散し、しかも気孔率を低く保
ち硬化成形する。この際、利用する型には、一般的な金
属型等よりもテフロン材質のものが好ましい。何故なら
ば、テフロンは非粉着性、耐熱性、耐候性、耐薬品性に
優れているからである。しかも非粉着性により成形品の
取り出しが容易であり、繰り返し使用回数にも耐え経済
的である。次に本発明を半導体のＩＣリードフレームの
カット及びそ−ルド樹脂打ち抜き超硬パンチの刃を研磨
用として使用した場合の実施例を説明すると、粒度３〜
４μのダイヤモンドを常温硬化タイプのエポキシ樹脂に
混入したバインダーをテフロン材質の型の空間に注入し
、真空管理状態で、しがも常温で約２０時間硬化促進後
、型より取り出した弾性研磨砥石を得る。
法にしたがって所定寸法の型内にダイヤモンドを適宜混
入したエポキシ樹脂のバインダーを注入し、真空管理状
態において加圧することなく、常温もしくは加温しなが
らダイヤモンドを均一に分散し、しかも気孔率を低く保
ち硬化成形する。この際、利用する型には、一般的な金
属型等よりもテフロン材質のものが好ましい。何故なら
ば、テフロンは非粉着性、耐熱性、耐候性、耐薬品性に
優れているからである。しかも非粉着性により成形品の
取り出しが容易であり、繰り返し使用回数にも耐え経済
的である。次に本発明を半導体のＩＣリードフレームの
カット及びそ−ルド樹脂打ち抜き超硬パンチの刃を研磨
用として使用した場合の実施例を説明すると、粒度３〜
４μのダイヤモンドを常温硬化タイプのエポキシ樹脂に
混入したバインダーをテフロン材質の型の空間に注入し
、真空管理状態で、しがも常温で約２０時間硬化促進後
、型より取り出した弾性研磨砥石を得る。
砥石の寸法形状は直径１００ｍｍ、厚さ８龍の円板状に
研磨装置に弾性砥石を保持する目的の１０１１の穴が中
央に設けられた一体物の砥石である。このようにして得
られた砥石を前記した超硬パンチの刃先研磨において超
精密研磨を試みた。その結果は、パンチ−個を研磨する
のに従来のＡの３０〜６０秒でもきれいな仕上げ面が得
られた。更に引き続きパンチを１００個まで研磨したが
、初期研磨と同一な仕上げ面が得られた。このときの仕
上げ面の面粗度はＲＩＩｌａｘで０．０１μ〜０．０５
μの範囲である。砥石の摩耗はパンチ−個当たり１μ以
下であり、砥石寿命も極めて長いものである。さらに弾
性砥石を成形する方法において、前記ダイヤモンドの含
有率をあげたこと以外すべて同一な成形品を製作した。
研磨装置に弾性砥石を保持する目的の１０１１の穴が中
央に設けられた一体物の砥石である。このようにして得
られた砥石を前記した超硬パンチの刃先研磨において超
精密研磨を試みた。その結果は、パンチ−個を研磨する
のに従来のＡの３０〜６０秒でもきれいな仕上げ面が得
られた。更に引き続きパンチを１００個まで研磨したが
、初期研磨と同一な仕上げ面が得られた。このときの仕
上げ面の面粗度はＲＩＩｌａｘで０．０１μ〜０．０５
μの範囲である。砥石の摩耗はパンチ−個当たり１μ以
下であり、砥石寿命も極めて長いものである。さらに弾
性砥石を成形する方法において、前記ダイヤモンドの含
有率をあげたこと以外すべて同一な成形品を製作した。
得られた砥石で前記した超硬パンチを所要時間−分で研
磨した結果、パンチの刃先研磨部を９球面加工ができる
ことも可能であることがわかった。
磨した結果、パンチの刃先研磨部を９球面加工ができる
ことも可能であることがわかった。
以上詳述したように本発明の弾性研磨砥石は、ダイヤモ
ンド砥粒及び金属酸化物を含有するエポキシ樹脂のバイ
ンダーを用いて真空管理状態で加圧することなく、テフ
ロン型内で成形されるので複雑形状な一体物でも容易に
成形でき、しかも高弾性で均一分散性が良く、気孔率が
低く、ダイヤモンド砥粒及び金属酸化物がエポキシ樹脂
と適宜混入硬化され、被加工物や加工条件に適合して研
磨面への最適な微少量研磨の特性を有するものである。
ンド砥粒及び金属酸化物を含有するエポキシ樹脂のバイ
ンダーを用いて真空管理状態で加圧することなく、テフ
ロン型内で成形されるので複雑形状な一体物でも容易に
成形でき、しかも高弾性で均一分散性が良く、気孔率が
低く、ダイヤモンド砥粒及び金属酸化物がエポキシ樹脂
と適宜混入硬化され、被加工物や加工条件に適合して研
磨面への最適な微少量研磨の特性を有するものである。
また、前記した混入する砥粒の適宜混入調整により、さ
らに砥石の性能を助成して超精密研磨としての所定の加
工精度と仕上げ面精度を得ることが可能であり、その工
業的価値及び効果は大きいものである。
らに砥石の性能を助成して超精密研磨としての所定の加
工精度と仕上げ面精度を得ることが可能であり、その工
業的価値及び効果は大きいものである。
以上
出願人 セイコー電子部品株式会社
代理人 弁理士 林 敬 之 助
Claims (1)
- 結合材と砥粒とを主成分とする固定磁石において、結合
材にエポキシ樹脂を用い、砥粒にダイヤモンド及び金属
酸化物が含有される弾性研磨砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26858488A JPH02116473A (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 弾性研摩砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26858488A JPH02116473A (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 弾性研摩砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116473A true JPH02116473A (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=17460559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26858488A Pending JPH02116473A (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 弾性研摩砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02116473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115338786A (zh) * | 2022-08-22 | 2022-11-15 | 广东新劲刚金刚石工具有限公司 | 一种浇注弹性磨块及其制备方法 |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP26858488A patent/JPH02116473A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115338786A (zh) * | 2022-08-22 | 2022-11-15 | 广东新劲刚金刚石工具有限公司 | 一种浇注弹性磨块及其制备方法 |
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