JPH0211714Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は高電圧電子顕微鏡等に用いられる加速
管に関し、特に碍子と電極支持体との接続構造の
改良に関する。

［従来の技術］ 一般に、加速電圧が例えば200KV以上の高電
圧電子顕微鏡においては、加速電圧が非常に高い
ため、電子線発生部に加速管を用いて加速電圧を
何段かに分割しなければならない。

かかる加速管としては第２図に示すように加速
電極１ａ，１ｂ，１ｃ、…を支持した電極支持板
２ａ，２ｂ，２ｃ、…をその間に筒状の碍子３
ａ，３ｂ，３ｃ、…を介在して積重ねると共に、
第２図に示すように各接続部をロー材４によりロ
ー付して一体化することにより構成されている。
尚、図中５ａ，５ｂ，５ｃ，…は電界緩和リング
である。

［考案が解決しようとする問題点］ ところで、絶縁物である碍子と金属である電極
支持体とをロ−付により一体化するには、碍子の
接続面をメタライズする必要がある。この碍子接
続面のメタル化にあつては、Mo.W，Mn，Tio₂，
SiO₂…等の耐熱金属粉末及び酸化物紛末を有機
バインダーと溶剤によりペースト状にしたメタラ
イズインキを印刷等により碍子の接続面上に塗布
した後、還元雰囲気中で加熱して碍子に焼付け焼
結させることにより行つている。

しかしながら、第２図に示すように碍子に焼結
させるメタライズ層６はこの碍子の接触面内だけ
に形成するようになしているため、接続面の縁部
分においててメタライズインキが均一に塗布され
ないことがある。その結果、碍子の接触面縁部分
においてミクロ的な隙間が形成されるため、微小
放電が発生し、それによつて高圧に変動が生じ、
分解能の低下を来たす。また、この微小放電がト
リガーとなつてなだれ現象を起こし、逐には沿面
放電が発生して絶縁破壊に至り、使用不可能にな
る恐れがある。

本考案はかような不都合を解決することを目的
とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本考案は加速電極
を有する複数の電極支持体を接続面にメタライズ
層を形成した筒状の碍子を介在させて積重ねると
共に、各接続部をロー付または接着剤で一体化す
ることにより構成される加速管において、前記碍
子の接続面に形成されるメタライズ層をこの碍子
の接続面の大きさよりもはみだして形成すること
を特徴とする。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す要部断面図で
あり、第２図及び第３図と同一符号のものは同一
構成要素を示す。

即ち、本実施例では、各碍子３の接触面に形成
するメタライズ層６を符号Ａで示すように碍子の
接触面の大きさよりも例えば0.5mm程度はみだし
て形成することを特徴とするものである。また、
このはみだしたメタライズ層６と電極支持板２と
の間には、ロー材４が盛りあがるようにロー付さ
れている。

このようにメタライズ層を碍子の接触面よりも
はみだして形成するようになせば、碍子の接触面
縁部分にメタライズインキをむらなく均一に塗布
させることができるため、碍子の接触面縁部分に
おける電極支持板との間にミクロ的な隙間が形成
されるのを防止することができる。

尚、前述の説明では、碍子と電極支持板とをロ
ー付により一体化した場合について述べたが、こ
れに限定されることなく、真空中で使用すること
のできるバツクシール等の接着剤によつて一体化
しても良い。

［考案の効果］ 以上のように構成することにより、本考案は碍
子の接触縁部分と電極支持板との間にミクロ的な
隙間が形成されることを防止できるため、それに
よる微小枚電の発生を抑えることができる。その
結果、高圧は常に一定に保たれるため、分解能の
向上を図ることができる。また、沿面放電による
絶縁破壊もなくなり、それだけ寿命を長くするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す要部断面図、
第２図及び第３図は従来例を説明するための図で
ある。 １ａ，１ｂ，１ｃ……加速電極、２ａ，２ｂ，
２ｃ……電極支持板、３ａ，３ｂ，３ｃ……碍
子、４……ロ−材、５ａ，５ｂ，５ｃ……電界緩
和リング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 加速電極を有する複数の電極支持体を接続面に
   メタライズ層を形成した筒状の碍子を介在させて
   積重ねると共に、各接続部をロー付または接着剤
   で一体化することにより構成される加速管におい
   て、前記碍子の接続面に形成されるメタライズ層
   をこの碍子の接続面の大きさよりもはみだして形
   成することを特徴とする電子顕微鏡等用加速管。