JPH04322015A - 高電圧絶縁部材 - Google Patents
高電圧絶縁部材Info
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- JPH04322015A JPH04322015A JP8810891A JP8810891A JPH04322015A JP H04322015 A JPH04322015 A JP H04322015A JP 8810891 A JP8810891 A JP 8810891A JP 8810891 A JP8810891 A JP 8810891A JP H04322015 A JPH04322015 A JP H04322015A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H9/00—Linear accelerators
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電圧を絶縁する部材の
形状に係り、例えば高電圧放電を生じにくい荷電粒子線
用加速管に関する。
形状に係り、例えば高電圧放電を生じにくい荷電粒子線
用加速管に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の高電圧絶縁部材の一例として、電
子顕微鏡用加速管を取り上げて説明する。従来の電子顕
微鏡用加速管は、公開実用新案公報昭６２−６７４５５
号記載のように、絶縁部材（円筒状碍子）の両端部に
導電性皮膜（メタライズ処理）を施し、それを導電性部
材（金属性の電極支持板）を介してロー付けして積み重
ねて、多段加速管を形成していた。上記実用新案は、そ
れ迄の従来技術の問題点が、メタライズ処理部の縁部に
形成された微小な間隙に生じた微小放電が大きな放電を
誘発することに着目し、碍子両端の接続面にメタライズ
層をはみ出して形成することにより、高電圧放電を防止
しようとするものである。
子顕微鏡用加速管を取り上げて説明する。従来の電子顕
微鏡用加速管は、公開実用新案公報昭６２−６７４５５
号記載のように、絶縁部材（円筒状碍子）の両端部に
導電性皮膜（メタライズ処理）を施し、それを導電性部
材（金属性の電極支持板）を介してロー付けして積み重
ねて、多段加速管を形成していた。上記実用新案は、そ
れ迄の従来技術の問題点が、メタライズ処理部の縁部に
形成された微小な間隙に生じた微小放電が大きな放電を
誘発することに着目し、碍子両端の接続面にメタライズ
層をはみ出して形成することにより、高電圧放電を防止
しようとするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、電極
支持板からメタライズ層縁部の間隙を通って碍子にいた
る微小放電を防止するには効果があると思われるが、実
際に起こりやすい微小放電には、電極支持板やメタライ
ズ層を含めた導電性部材の特に突起部に電界が集中し、
そこから碍子へ行くものも多い。このような微小放電に
対しては、上記実用新案では十分な効果は期待できず、
むしろはみ出させたメタライズ層が突起と成りそこに電
界が集中して新たな放電源を形成するなど、かえって逆
効果になる危険性もある。
支持板からメタライズ層縁部の間隙を通って碍子にいた
る微小放電を防止するには効果があると思われるが、実
際に起こりやすい微小放電には、電極支持板やメタライ
ズ層を含めた導電性部材の特に突起部に電界が集中し、
そこから碍子へ行くものも多い。このような微小放電に
対しては、上記実用新案では十分な効果は期待できず、
むしろはみ出させたメタライズ層が突起と成りそこに電
界が集中して新たな放電源を形成するなど、かえって逆
効果になる危険性もある。
【０００４】本発明の目的は、こうした問題点を本質的
に解決するために、まず微小放電が生じにくく、さらに
その微小放電が大きな放電に発達しにくい構造を実現す
ることにある。
に解決するために、まず微小放電が生じにくく、さらに
その微小放電が大きな放電に発達しにくい構造を実現す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、絶縁部材の
導電性部材との接合面、上記従来技術の例では円筒状碍
子の少なくとも相対的に負となる側の接合部の縦断面形
状を略凸状とし、凸状頂部面を導電性部材との接合面と
するとともに、該凸状段部に電界方向を略深さ方向とす
る溝を設けることにより達成される。さらに、凸状頂部
接合面、凸状頂部側面及び溝部に導電性被覆を施すこと
により、より大きな効果を得ることができる。また、上
記溝を大きくし凸状突起部を無くした構造、すなわち碍
子両端部の縦断面形状を略凹状とし、さらに凹状内部に
導電性被覆を施しても、同様の効果が得られる。
導電性部材との接合面、上記従来技術の例では円筒状碍
子の少なくとも相対的に負となる側の接合部の縦断面形
状を略凸状とし、凸状頂部面を導電性部材との接合面と
するとともに、該凸状段部に電界方向を略深さ方向とす
る溝を設けることにより達成される。さらに、凸状頂部
接合面、凸状頂部側面及び溝部に導電性被覆を施すこと
により、より大きな効果を得ることができる。また、上
記溝を大きくし凸状突起部を無くした構造、すなわち碍
子両端部の縦断面形状を略凹状とし、さらに凹状内部に
導電性被覆を施しても、同様の効果が得られる。
【０００６】
【作用】一般に、固体の絶縁性物質の絶縁耐力は、固体
中よりも表面の方がはるかに小さいことがよく知られて
いる。そこで、高電圧放電を防止するには、特に絶縁体
沿面において、まず第１に微小放電が起こりにくいこと
、第２に微小放電が大きな放電に発展しにくいことが必
要である。従来の絶縁部材の構造、例えば前記実用新案
の例の図１及び図３では、メタライズ層及びロー材の先
端部は電界方向に近い方向を向いているため、特に相対
的に負となる側の端面において、（１）メタライズ層の
縁部に生じた微小間隙で微小放電が発生しやすく、（２
）さらに碍子沿面の方向も電界の方向に近いため、微小
放電によって生じた電流および二次電子が相対的に正の
電圧側に加速され、大きな放電に発展しやすい。
中よりも表面の方がはるかに小さいことがよく知られて
いる。そこで、高電圧放電を防止するには、特に絶縁体
沿面において、まず第１に微小放電が起こりにくいこと
、第２に微小放電が大きな放電に発展しにくいことが必
要である。従来の絶縁部材の構造、例えば前記実用新案
の例の図１及び図３では、メタライズ層及びロー材の先
端部は電界方向に近い方向を向いているため、特に相対
的に負となる側の端面において、（１）メタライズ層の
縁部に生じた微小間隙で微小放電が発生しやすく、（２
）さらに碍子沿面の方向も電界の方向に近いため、微小
放電によって生じた電流および二次電子が相対的に正の
電圧側に加速され、大きな放電に発展しやすい。
【０００７】本発明によれば、メタライズ層など導電性
の部材や被覆の先端部の微小放電によって生じた電子流
および二次電子は、溝部から先では絶縁部材の沿面の方
向が電界とほぼ逆方向になるため大きな放電に発展しに
くい。特に相対的に負となる側の端部の凸状頂部，凸状
頂部側面及び溝部に導電性被覆を施すと、（１）導電性
の部材や被覆の先端の絶縁部材との境界開口部は電界方
向とは逆に近い方向を向いており、さらにその先端部に
かかる電界が溝内部の導電性部材の存在によって緩和さ
れているため、微小放電が起こりにくく、（２）絶縁部
材沿面の方向が電界の方向とは大きく異なる上、（１）
と同様電界そのものが緩和されているため、微小放電に
よって生じた二次電子が加速されにくく、大きな放電に
発展しにくい。
の部材や被覆の先端部の微小放電によって生じた電子流
および二次電子は、溝部から先では絶縁部材の沿面の方
向が電界とほぼ逆方向になるため大きな放電に発展しに
くい。特に相対的に負となる側の端部の凸状頂部，凸状
頂部側面及び溝部に導電性被覆を施すと、（１）導電性
の部材や被覆の先端の絶縁部材との境界開口部は電界方
向とは逆に近い方向を向いており、さらにその先端部に
かかる電界が溝内部の導電性部材の存在によって緩和さ
れているため、微小放電が起こりにくく、（２）絶縁部
材沿面の方向が電界の方向とは大きく異なる上、（１）
と同様電界そのものが緩和されているため、微小放電に
よって生じた二次電子が加速されにくく、大きな放電に
発展しにくい。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２によ
り説明する。これは、電子線装置等に用いられる多段加
速方式電子銃に本発明を応用したものである。
り説明する。これは、電子線装置等に用いられる多段加
速方式電子銃に本発明を応用したものである。
【０００９】図２は、多段加速方式の電子銃の縦断面図
である。この電子銃は、電子顕微鏡鏡筒８上に搭載され
る電子銃真空容器５と、その上の加速管２によって真空
容器を形成しており、真空排気は電子銃真空容器あるい
は電子顕微鏡鏡筒側から、図示されていない真空ポンプ
によって行われる。加速管内には、電子線源１と加速電
極３とが設置されている。また加速管の各段外側には、
放電防止電極４が取り付けられている。この加速管部分
は高電圧絶縁容器６によって覆われており、高電圧絶縁
容器中には、６フッ化硫黄などの高絶縁性ガスが充填さ
れている。電子銃に印加される高電圧は、高電圧電源（
図示せず）から高電圧ケーブル７によって高電圧絶縁容
器内に導入され、電子線源に印加される。導入された高
電圧は、同時に加速管各段間に設置された分割抵抗９に
よって分割されて各加速電極３および放電防止電極４に
印加される。本実施例は、この中の加速管を構成する絶
縁部材に適用された。
である。この電子銃は、電子顕微鏡鏡筒８上に搭載され
る電子銃真空容器５と、その上の加速管２によって真空
容器を形成しており、真空排気は電子銃真空容器あるい
は電子顕微鏡鏡筒側から、図示されていない真空ポンプ
によって行われる。加速管内には、電子線源１と加速電
極３とが設置されている。また加速管の各段外側には、
放電防止電極４が取り付けられている。この加速管部分
は高電圧絶縁容器６によって覆われており、高電圧絶縁
容器中には、６フッ化硫黄などの高絶縁性ガスが充填さ
れている。電子銃に印加される高電圧は、高電圧電源（
図示せず）から高電圧ケーブル７によって高電圧絶縁容
器内に導入され、電子線源に印加される。導入された高
電圧は、同時に加速管各段間に設置された分割抵抗９に
よって分割されて各加速電極３および放電防止電極４に
印加される。本実施例は、この中の加速管を構成する絶
縁部材に適用された。
【００１０】図１は図２の電子銃の加速管部分の一部を
拡大して示した縦断面図である。加速管は、相対的に負
の電位側である上端接合部の縦断面形状を略凸状とし、
かつ凸状頂部面，凸状突起部側面，溝の内面および下端
面に導電性被覆１２を有する円筒状の絶縁部材１０（こ
れは鏡筒２を形成する）を、導電性部材１１を介して積
み重ねてロー付けしたものである。導電性部材１１は内
径と外径が偏心しており、その真空内側には加速電極３
，外側には放電防止電極４、さらに絶縁部材１０と放電
防止電極４の間の間隔の広いところに、加速管各段に加
速電圧を分割印加するための分割抵抗９が取り付けられ
ている。この付近の等電位線の概略を図中に記入すると
、Ａ−Ａ曲線のようになる。電子は、等電位線に垂直の
正の方向に力を受け加速されることはよく知られている
。
拡大して示した縦断面図である。加速管は、相対的に負
の電位側である上端接合部の縦断面形状を略凸状とし、
かつ凸状頂部面，凸状突起部側面，溝の内面および下端
面に導電性被覆１２を有する円筒状の絶縁部材１０（こ
れは鏡筒２を形成する）を、導電性部材１１を介して積
み重ねてロー付けしたものである。導電性部材１１は内
径と外径が偏心しており、その真空内側には加速電極３
，外側には放電防止電極４、さらに絶縁部材１０と放電
防止電極４の間の間隔の広いところに、加速管各段に加
速電圧を分割印加するための分割抵抗９が取り付けられ
ている。この付近の等電位線の概略を図中に記入すると
、Ａ−Ａ曲線のようになる。電子は、等電位線に垂直の
正の方向に力を受け加速されることはよく知られている
。
【００１１】一般にこのような構造の加速管においては
、放電が最も発生しやすい部位は導電性部材と絶縁性部
材と真空もしくは絶縁性ガスの三者が接するところ、す
なわち導電性被覆の縁部である。この部分には、従来か
ら良く知られているように微小な間隙が発生しやすい。 その微小間隙では、わずかな電圧がかかっても単位長さ
あたりにすれば極めて大きな電界強度となるため、微小
な放電が生じやすい。ここで微小放電して発生した電子
流がもし相対的に正となる電位の方向に加速されると、
絶縁部材内から二次電子を発生させながら次第に大きな
電子流となり、それが対向する正の電極に到達して大き
な放電になる。また導電性部材の縁部は、必ずしも滑ら
かにはならず、微小な凹凸が形成される。この突起部に
は電界が集中しやすいため、これが放電源となり、電子
流が発生する例も少なくない。この場合にも、電子流が
加速されると上と同様な過程を経て大きな放電に発展す
る。
、放電が最も発生しやすい部位は導電性部材と絶縁性部
材と真空もしくは絶縁性ガスの三者が接するところ、す
なわち導電性被覆の縁部である。この部分には、従来か
ら良く知られているように微小な間隙が発生しやすい。 その微小間隙では、わずかな電圧がかかっても単位長さ
あたりにすれば極めて大きな電界強度となるため、微小
な放電が生じやすい。ここで微小放電して発生した電子
流がもし相対的に正となる電位の方向に加速されると、
絶縁部材内から二次電子を発生させながら次第に大きな
電子流となり、それが対向する正の電極に到達して大き
な放電になる。また導電性部材の縁部は、必ずしも滑ら
かにはならず、微小な凹凸が形成される。この突起部に
は電界が集中しやすいため、これが放電源となり、電子
流が発生する例も少なくない。この場合にも、電子流が
加速されると上と同様な過程を経て大きな放電に発展す
る。
【００１２】本実施例では、溝部の導電性被覆によって
、導電性被覆の縁部の微小突起あるいは微小間隙にかか
る電界が緩和されているので、そもそも微小放電が発生
しにくい構造となっている。さらに、導電性被覆の縁部
の微小突起あるいは微小間隙で放電が発生しても、電子
流が加速される方向と絶縁部材の沿面方向とは大きく異
なっているため、大きな放電には発展しにくい。また、
多段加速管の製造過程においても、本実施例では大きな
メリットが得られる。従来の多段加速管の構造では、導
電性被覆と導電性部材とをロー付けする際にロー材が絶
縁部材沿面に流れ出る不都合がしばしば見られる。この
流れ出たロー材は電界方向を向いた突起を形成するため
明らかに放電原因になるが、本実施例を採用することに
よってロー材の流出を溝で阻止し、突起の形成を防止す
ることができる。
、導電性被覆の縁部の微小突起あるいは微小間隙にかか
る電界が緩和されているので、そもそも微小放電が発生
しにくい構造となっている。さらに、導電性被覆の縁部
の微小突起あるいは微小間隙で放電が発生しても、電子
流が加速される方向と絶縁部材の沿面方向とは大きく異
なっているため、大きな放電には発展しにくい。また、
多段加速管の製造過程においても、本実施例では大きな
メリットが得られる。従来の多段加速管の構造では、導
電性被覆と導電性部材とをロー付けする際にロー材が絶
縁部材沿面に流れ出る不都合がしばしば見られる。この
流れ出たロー材は電界方向を向いた突起を形成するため
明らかに放電原因になるが、本実施例を採用することに
よってロー材の流出を溝で阻止し、突起の形成を防止す
ることができる。
【００１３】電子銃のように電子を加速する場合には、
電子線源に近い側が相対的に負の電位となるため、本実
施例では絶縁部材の上端部の接合部の縦断面形状を凸状
とし、凸状段部に下を深さ方向とする溝を設けて導電性
被覆を施したが、下端部も同様の形状にして差し支えな
い。また、正の電荷を持つ荷電粒子を加速する装置にお
いては、絶縁部材の荷電粒子線源から遠い側の縦断面形
状に上記のような形状を用いることは言うまでもない。 また、本実施例では溝内部に導電性被覆を形成したが、
溝内を導電性材料で充填しても同様の効果が得られる。
電子線源に近い側が相対的に負の電位となるため、本実
施例では絶縁部材の上端部の接合部の縦断面形状を凸状
とし、凸状段部に下を深さ方向とする溝を設けて導電性
被覆を施したが、下端部も同様の形状にして差し支えな
い。また、正の電荷を持つ荷電粒子を加速する装置にお
いては、絶縁部材の荷電粒子線源から遠い側の縦断面形
状に上記のような形状を用いることは言うまでもない。 また、本実施例では溝内部に導電性被覆を形成したが、
溝内を導電性材料で充填しても同様の効果が得られる。
【００１４】図３は本発明の第２の実施例で、第１の実
施例と同じく電子銃に適用したもので、図１と同様加速
管段間の接合部を拡大した縦断面図である。この第２の
実施例では、円筒状の絶縁部材１０の上端を略凸状とし
、凸状頂部面と下端面に導電性被覆１２を形成し、凸状
頂部側面および溝内部には導電性被覆を施していない。 この円筒上絶縁部材１０を凸状頂部面と上の段の円筒状
絶縁部材の下端面の間に導電性部材１１をはさんでロー
付けして加速管を構成している。第１の実施例と同様に
導電性部材の内径側には加速電極３，外径側には放電防
止電極４が取付けられている。この場合も微小放電が発
生しやすい部位は、導電性被覆の縁部であり、等電位線
はＡ−Ａ曲線の様になる。導電性被覆縁部は電界の方向
に近い方向を向いているため、第１の実施例に比べると
、放電防止の効果は劣る。しかしながら、微小放電で生
じた電子流は、溝の底部までは加速されるが、底から先
は絶縁部材沿面と電界の方向が大きく異なるため、放電
で生じた電子が正側の電極に到達しにくく、従って大き
な放電にも発展しにくい。
施例と同じく電子銃に適用したもので、図１と同様加速
管段間の接合部を拡大した縦断面図である。この第２の
実施例では、円筒状の絶縁部材１０の上端を略凸状とし
、凸状頂部面と下端面に導電性被覆１２を形成し、凸状
頂部側面および溝内部には導電性被覆を施していない。 この円筒上絶縁部材１０を凸状頂部面と上の段の円筒状
絶縁部材の下端面の間に導電性部材１１をはさんでロー
付けして加速管を構成している。第１の実施例と同様に
導電性部材の内径側には加速電極３，外径側には放電防
止電極４が取付けられている。この場合も微小放電が発
生しやすい部位は、導電性被覆の縁部であり、等電位線
はＡ−Ａ曲線の様になる。導電性被覆縁部は電界の方向
に近い方向を向いているため、第１の実施例に比べると
、放電防止の効果は劣る。しかしながら、微小放電で生
じた電子流は、溝の底部までは加速されるが、底から先
は絶縁部材沿面と電界の方向が大きく異なるため、放電
で生じた電子が正側の電極に到達しにくく、従って大き
な放電にも発展しにくい。
【００１５】本実施例の加速管の場合耐真空構造が要求
されるため、凸状頂部面に導電性被覆処理を施して導電
性部材とロー付けされている。気密性が必要でない場合
には、効果は劣るが導電性被覆は必ずしも必要無い。
されるため、凸状頂部面に導電性被覆処理を施して導電
性部材とロー付けされている。気密性が必要でない場合
には、効果は劣るが導電性被覆は必ずしも必要無い。
【００１６】図４は、本発明の別の実施例を示す縦断面
図で、先の実施例と同じく電子線の加速装置の一部を拡
大したものである。本装置も円筒状の絶縁部材１０を導
電性部材１１を介して積み重ね、加速管を形成している
。導電性部材の内径側，外径側にはそれぞれ加速電極３
と放電防止電極４とが取り付けられている。絶縁部材の
導電性部材との接合部の縦断面形状を略凹状とし、凹状
内部に導電性被覆１２を形成した。これは第１の実施例
の変形で、第１の実施例の凸状頂部面を溝部と同じ高さ
にしたものである。従って、放電防止の作用，得られる
効果，さらに製造過程におけるメリットも、第１の実施
例と同様である。
図で、先の実施例と同じく電子線の加速装置の一部を拡
大したものである。本装置も円筒状の絶縁部材１０を導
電性部材１１を介して積み重ね、加速管を形成している
。導電性部材の内径側，外径側にはそれぞれ加速電極３
と放電防止電極４とが取り付けられている。絶縁部材の
導電性部材との接合部の縦断面形状を略凹状とし、凹状
内部に導電性被覆１２を形成した。これは第１の実施例
の変形で、第１の実施例の凸状頂部面を溝部と同じ高さ
にしたものである。従って、放電防止の作用，得られる
効果，さらに製造過程におけるメリットも、第１の実施
例と同様である。
【００１７】
【発明の効果】本発明の請求項１の構成によれば、高電
圧絶縁部材の一端における微小放電によって発生した電
子流が絶縁部材表面を通って他端に到達するためには、
逆方向もしくはそれに近い方向の電界がかかる部分を通
過する必要が有る。従って、微小放電が大きな放電に発
展するのを有効に防止できる。
圧絶縁部材の一端における微小放電によって発生した電
子流が絶縁部材表面を通って他端に到達するためには、
逆方向もしくはそれに近い方向の電界がかかる部分を通
過する必要が有る。従って、微小放電が大きな放電に発
展するのを有効に防止できる。
【００１８】請求項２の構成によれば、上記に加えて高
電圧絶縁部材と導電性部材の接触・接合部の微小間隙が
減少し微小放電の発生が抑制されるので、放電防止の効
果がさらに高くなる。
電圧絶縁部材と導電性部材の接触・接合部の微小間隙が
減少し微小放電の発生が抑制されるので、放電防止の効
果がさらに高くなる。
【００１９】請求項３および４の構成では、高電圧絶縁
部材と導電性部材の接触・接合部の開口方向を電界の方
向とは大きく異なる方向にすることができ、かつ電界そ
のものも導電性被覆、あるいは導電性充填物によって緩
和されるので、微小放電の発生およびそれに続く電子流
の加速を抑制することができ、耐放電特性が一層向上す
る。
部材と導電性部材の接触・接合部の開口方向を電界の方
向とは大きく異なる方向にすることができ、かつ電界そ
のものも導電性被覆、あるいは導電性充填物によって緩
和されるので、微小放電の発生およびそれに続く電子流
の加速を抑制することができ、耐放電特性が一層向上す
る。
【００２０】請求項５の構成では、請求項３および４と
同じ考え方に基づいた別の形状の高電圧絶縁部材を提供
するもので、放電にたいして請求項３，４と同等の効果
が有る。
同じ考え方に基づいた別の形状の高電圧絶縁部材を提供
するもので、放電にたいして請求項３，４と同等の効果
が有る。
【００２１】なお本実施例は電子顕微鏡用多段加速管で
あるが、本発明はこれに限らず一般の絶縁碍子や電気回
路の絶縁部の構造等においても同様の効果が期待できる
。
あるが、本発明はこれに限らず一般の絶縁碍子や電気回
路の絶縁部の構造等においても同様の効果が期待できる
。
【図１】本発明を電子銃に適用した第１の実施例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】第１の実施例の装置の全体を示す縦断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２の実施例で、電子銃の一部を拡大
した縦断面図である。
した縦断面図である。
【図４】本発明の第３の実施例で、電子銃の一部を拡大
した縦断面図である。
した縦断面図である。
１…電子線源、２…加速管、３…加速電極、４…放電防
止電極、５…電子銃真空容器、６…高電圧絶縁容器、７
…高電圧ケーブル、８…電子顕微鏡鏡筒、９…分割抵抗
、１０…絶縁部材、１１…導電性部材、１２…導電性被
覆。
止電極、５…電子銃真空容器、６…高電圧絶縁容器、７
…高電圧ケーブル、８…電子顕微鏡鏡筒、９…分割抵抗
、１０…絶縁部材、１１…導電性部材、１２…導電性被
覆。
Claims (6)
- 【請求項１】一部を高電圧側導電性部材、他部を低電圧
側導電性部材に接触もしくは接合してなる高電圧絶縁部
材にして、少なくとも相対的に負となる側の接触部もし
くは接合部の絶縁部材の縦断面形状を略凸状と成し、か
つ上記凸状頂部面を導電性部材との接触面もしくは接合
面とし、該凸状段部に電界方向を略深さ方向とする溝を
設けたことを特徴とする高電圧絶縁部材。 - 【請求項２】前記凸状頂部面に導電性被覆を設けたこと
を特徴とする請求項１記載の高電圧絶縁部材。 - 【請求項３】前記凸状頂部面及び前記凸状頂部側面及び
溝部に導電性被覆を施したことを特徴とする請求項１記
載の高電圧絶縁部材。 - 【請求項４】前記凸状頂部面及び前記凸状頂部側面に導
電性被覆を施し、かつ溝部に導電性物質を充填したこと
を特徴とする請求項１記載の高電圧絶縁部材。 - 【請求項５】一部を高電圧側導電性部材，他部を低電圧
側導電性部材に接触もしくは接合してなる高電圧絶縁部
材にして、少なくとも相対的に負となる側の接触部もし
くは接合部の絶縁部材の縦断面形状を略凹状と成し、か
つ上記凹状底部面を導電性部材と同一電位面とし、該凹
状内面に導電性被覆を施したことを特徴とする高電圧絶
縁部材。 - 【請求項６】前記凹状底部面と導電性部材との間に導電
性のスペーサを配置したことを特徴とする請求項５記載
の高電圧絶縁部材。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8810891A JPH04322015A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 高電圧絶縁部材 |
| EP92303364A EP0509771B1 (en) | 1991-04-19 | 1992-04-15 | High voltage insulation device |
| DE1992601669 DE69201669T2 (de) | 1991-04-19 | 1992-04-15 | Hochspannungs-Isoliervorrichtung. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8810891A JPH04322015A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 高電圧絶縁部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04322015A true JPH04322015A (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=13933685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8810891A Pending JPH04322015A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 高電圧絶縁部材 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0509771B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04322015A (ja) |
| DE (1) | DE69201669T2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2702593B1 (fr) * | 1993-03-09 | 1995-04-28 | Commissariat Energie Atomique | Structure de guidage de particules chargées en électricité. |
| EP4557344A1 (en) * | 2023-11-15 | 2025-05-21 | Comet AG | Electron gun device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211714Y2 (ja) * | 1985-10-18 | 1990-03-28 | ||
| US5059859A (en) * | 1989-04-14 | 1991-10-22 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam generating apparatus of multi-stage acceleration type |
| JPH02273443A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | Hitachi Ltd | 多段加速型荷電粒子線源 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP8810891A patent/JPH04322015A/ja active Pending
-
1992
- 1992-04-15 EP EP92303364A patent/EP0509771B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-15 DE DE1992601669 patent/DE69201669T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69201669D1 (de) | 1995-04-20 |
| DE69201669T2 (de) | 1995-07-13 |
| EP0509771B1 (en) | 1995-03-15 |
| EP0509771A1 (en) | 1992-10-21 |
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