JPH02118427A - トルク検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】

（産業上の利用分野） この発明は、被測定軸の磁気歪効果を利用して当該被測
定軸に加えられたトルクを検出するのに利用される磁歪
式のトルク検出装置に関するものである。 （従来の技術） 第１４図はこの種の磁気歪効果を利用したトルク検出装
置の概略構造を例示するものであって、この磁歪式のト
ルク検出装置５１は、被測定軸５２として磁気歪効果を
有する例えばＦｅ−１３重量％Ａ交合金や機械構造用鋼
（ＳＣＭやＳＮＣＭなど）を用い１表面に中心軸５２ａ
の方向に対し左右において同じ０度（例えば４５度）の
角度をなし且つ左右において同じ幅Ｗを有すると共に円
周方向に複数の部分らせん状溝５３ａ。 ５３ｂを右側部分を左側部分とにおいて対称となるよう
に同じ軸方向幅りで形成してこれらの部分で透磁率の表
皮効果による形状的な磁気異方性部５４ａ　、５４ｂを
設け、この被測定軸５２の磁気異方性部５４ａ　、５４
ｂの近傍に励磁用兼検出用コイル５５ａ、５５ｂを配設
した構造をなすものである。 そのほか、被測定軸５２の表面に非磁性の電気良導体例
えば銅よりなる部分らせん状薄膜をめっきや溶射などに
よって形成することによりこれらの部分に形状的な磁気
異方性部を設けるようにしたものや、第１４図に示した
部分らせん状溝５３ａ　、５３ｂの中に非磁性の電気良
導体例えば銅を埋め込んで被測定軸５２の表面を円周方
向に滑らかなものにしたものもあった（例えば特開昭６
２−１８５１３６号公報）。 このような構造をもつ磁歪式のトルク検出装置５１を用
いて被測定軸５２に加えられたトルクを検出する要領に
ついて説明すると、まず、トルクの検出に先立って、第
１５図に示すように、二つの励磁用兼検出用コイル５５
ａ、５５ｂと二つの抵抗５６ａ、５６ｂとでブリッジ回
路を形成し、対向する一方の接続点Ｃ−Ｄ間を交流電源
５７の供給側とし、対向する他方の接続点Ａ−Ｂ間に差
動増幅器５８を接続してこの差動増幅器５８の出力側を
出力端６１．６２とした回路構成とし、接続点Ｃ−Ｄ間
を介して両コイル５５ａ、５５ｂに各々交流の一定電圧
を加えておく、このようにすると、部分らせん状溝５３
ａ　、５３ｂによって形成された形状磁気異方性部５４
ａ　、５４ｂを通る磁気回路が両コイル５５ａ、５５ｂ
のまわりにそれぞれ形成される。 この状態において、被測定軸５２に対して右方向（例え
ば正方向）にねじりトルクＴが加わると、一方の部分ら
せん状溝５３ａによって形成された一方の磁気異方性部
５４ａは引張変形を受けるとともに他方の部分らせん状
溝５３ｂによって形成された他方の磁気異方性部５４ｂ
は圧縮変形を受ける０例えば、磁歪定数入〉０を有する
被測定軸５２を用いた場合には、引張変形では透磁率が
増加し、圧縮変形では透磁率が減少する。これによって
、一方のコイル５５ａのインピーダンスＺａは増加し、
他方のコイル５５ｂのインピーダンスｚｂは減少するこ
とになる。そして、被測定軸５２に対して上記とは逆に
左方向（例えば負方向）のねじりトルクが付加されたと
きには上記の場合と逆になり、ヒステリシスを無視した
場合に第１６図に示すようなトルクと出力との関係が得
られる。 （発明が解決しようとする課題） このように、従来のトルク検出装置５１では、二つの磁
気異方性部５４ａ　、５４ｂが同じ角度（ただし、向き
は反対）θ、同じ幅Ｗ、同じ軸方向幅り等を有する左右
対称形状のものとなっていたため、第１６図に示したよ
うに正回転方向と負回転方向のトルク検出出力が絶対値
で同じものとなっていたため、適用範囲が限定されてし
まうという課題があった。 すなわち１例えば、一方向の回転においてのみトルクの
検出を行おうとする場合や、正回転方向と負回転方向に
付加される最大トルクの大きさが異なる場合などには、
トルクの検出特性や素材強度などの面から正回転方向と
負回転方向とにおいてトルクの検出感度や分解能を変え
たいという必要性を生ずることがあるが、従来のトルク
検出装置５１ではこのような要望に対応することができ
ないという課題があった。 また、用途によっては被測定軸の軸径が途中で異なる場
合もないとはいえず、このような場合に軸径の異なる部
分を中心にして対称をなす磁気異方性部を設けると、正
回転方向と負回転方向とにおける感度や分解能の調整が
困難であるという課題があった。 （発明の目的） この発明は、このような従来の課題にかんがみてなされ
たもので、被測定軸の少なくとも表面における磁気歪効
果を利用して当該被測定軸に加えられたトルクの検出を
行うトルク検出装置において、被測定軸の正回転方向と
負回転方向とにおけるトルクの検出感度や分解能の設定
にあたっである程度の自由度をもたせることが可能であ
り、この種のトルク検出装置の適用範囲をさらに広める
ことができるようにした磁歪式のトルク検出装置を提供
することを目的としているものである。

【発明の構成】

（課題を解決するための手段） この発明は、表面に磁気異方性部を有する被測定軸と、
前記被測定軸の磁気異方性部を磁路の一部とする磁気回
路を形成する励磁手段と、前記被測定軸に加えられたト
ルクにより生じる磁気歪を検出する検出手段をそなえた
トルク検出装置において、前記磁気異方性部を非対称を
なす複数の磁気異方性部により形成した構成としたこと
を特徴としており、このようなトルク検出装置の構成を
上述した従来の課題を解決するための手段としている。 この発明に係る磁歪式のトルク検出装置において適用さ
れる被測定軸は、少なくとも表面で磁気歪効果を有して
いてこの表面部分に磁気異方性部をそなえているもので
あり、磁気歪効果を有していないかあるいは小さい素材
からなる軸本体部の表面に磁気歪効果を有する材質のも
のを貼着。 めっき、溶射等の手段により設けた構成のものとするこ
とが可能であり、また、磁気歪効果を有する一体の素材
からなるものとすることも可能である。 そして、少なくとも表面部分に磁気歪効果を有する被測
定軸の表面に磁気異方性部を設けるにあたっては、中心
軸方向に対して所定の角度をなす部分らせん状溝部およ
びこれと相対して形成される部分らせん状突部を円周方
向に複数形成するようになしたものとすることができ、
また、被測定軸の表面に非磁性の電気良導体例えば銅よ
りなる部分らせん状薄膜をめっき、溶射、蒸着などによ
って円周方向に複数形成するようになすこともでき、そ
の他磁気異方性部を形成する膜を貼着したり、表面処理
を施したりすることもできるが、とくに限定はされない
。 さらに、前記被測定軸の磁気異方性部を磁路の一部とす
る磁気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸に加え
もえたトルクにより生ずる磁気歪を検出する検出手段の
構成においても特に限定されず、例えば、励磁ヘッドを
そなえた励磁手段と、検出ヘッドをそなえた検出手段と
を別々に設けた構成のものとしたり、共通のコイルを設
けてこれを励磁手段と検出手段とに兼用させた構成のも
のとしたりすることも可能である。 そして、この発明に係るトルク検出装置では、被測定軸
に設けた磁気異方性部を非対称をなす複数の磁気異方性
部により形成したものとしており、このような非対称の
磁気異方性部により形成したものとすることによって被
測定軸の正回転方向と負回転方向とでトルクの検出感度
や分解能を変えることが可能となる理由について第１図
ないし第３図をもとに説明する。 第１図に示すトルク検出装置１は、磁気歪効果を有する
。被測定軸２の表面部分の右側と左側にそれぞれ円周方
向に複数設けた部分らせん状溝３ａ、３ｂによって形成
される形状的な磁気異方性部４ａ　、４ｂをそなえてお
り、各磁気異方性部４ａ　、４ｂの近傍に励磁手段およ
び検出手段に用いられる励磁用兼検出用コイル５ａ、５
ｂをそなえた構造をなしている。 この場合、一方のらせん状溝３ａによって形成される一
方の磁気異方性部４ａにおいては、部分らせん状溝３ａ
の幅Ｗａ、円周方向の間隔Ｓａ。 軸方向の幅Ｌａ、径方向の深さＤａ、中心軸線２ａに対
する角度０３９円周方向の溝数Ｎａなどでその仕様が表
わされるものとなっており、他方のらせん状溝３ｂによ
って形成される他方の磁気異方性部４ｂにおいても、部
分らせん状溝３ｂの幅Ｗｂ９円周方向の間隔Ｓｂ、軸方
向の幅Ｌｂ。 径方向の深さＤｂ、中心軸線２ａに対する角度Ｏｂ２円
周方向の溝数Ｎｂなどでその仕様が表わされるものとな
っており、この第１図に示したものでは一方の磁気異方
性部４ａの軸方向幅Ｌａと他方の磁気異方性部４ｂの軸
方向幅Ｌｂとが異なっている場合（Ｌ　ａ＞Ｌ　ｂの場
合）を例にとって示している。 したがって、第１（ｉｌに示すトルク検出装設１におい
て、被測定軸２に対してトルクＴを加えた場合に、軸方
向の幅Ｌａがより大きい一方の磁気異方性部４ａおよび
一方の励磁用兼検出用コイル５ａで構成される一方のト
ルク検出部１ａの感度は、軸方向の幅Ｌｂがより小さい
他方の磁気異方性部４ｂおよび他方の励磁用兼検出用コ
イル５ｂで構成される他方のトルク検出部１ｂの感度よ
りも大きいものとなっているため、被測定軸２にトルク
Ｔを加えたときには、一方のトルク検出部１ａにおける
トルクと出力との関係は第２図の線Ａで示すものとなり
、他方のトルク検出部１ｂにおけるトルクと出力との関
係は第２図の線Ｂで示すものとなって、同一のトルクＴ
において一方のトルク検出部１ａにおける出力の方が他
方のトルク検出部１ｂにおける出力よりも大きなものと
なり、第１５図に示した回路に接続して差動増幅器５８
により差動増幅されたのちに出力端６１゜６２で得られ
る出力は、第３図に示すように、正回転方向の出力の方
が負回転方向の出力よりも大きなものとなり、正負回転
方向の感度や分解能を変更したい場合に適したトルク検
出装置１となる。 第１図のトルク検出装置１では、一方のトルク検出部１
ａと他方のトルク検出部１ｂとにおいて、軸方向の幅Ｌ
ａ、Ｌｂを変えることによって、左右非対称をなす磁気
異方性部４ａ、４ｂが形成されるようにした場合を例に
とって説明しているが、そのほか、部分らせん状溝３ａ
、３ｂの幅Ｗ　ａ　、　Ｗ　ｂを変えることによっても
、また円周方向の間隔Ｓａ、Ｓｂを変えることによって
も、また径方向の深さＤａ、Ｄｂを変えることによって
も、また中心軸線２ａに対する角度θａ、θｂを変える
ことによっても、また円周方向の溝数Ｎａ、Ｎｂを変え
ることによっても非対称のものとすることができ、さら
にはらせん状溝３　ａ　＋３ｂの円周方向の配列位相Ｐ
をずらすことによっても非対称のものとすることができ
、トルク検出装置の感度や分解能を適宜のものに設定で
きるようになる。さらにまた、一方の磁気異方性部４ａ
の軸直径φａと、他方の磁気異方性部４ｂの軸直径φｂ
とが異なる被測定軸２の場合にも磁気異方性部を左右非
対称のものとすることができ、これによってトルク検出
装置の感度や分解能を左右同じものにしたり異なるもの
にしたりすることが可能であり、トルク検出装置の感度
や分解能を適宜に設定できるようになる。 （発明の作用） この発明に係るトルク検出装置では、少なくとも表面で
磁気歪効果を有し且つ表面に磁気異方性部を有する被測
定軸に加えられたトルクにより生ずる磁気歪を検出して
前記トルクを検出するトルク検出装置において、磁気異
方性部を非対称をなす複数の磁気異方性部により形成し
ているので、各磁気異方、件部によって形成される各ト
ルク検出部の感度が異なったものにできることから、被
測定軸の回転方向によってトルク−出力特性が異なるも
のとなるように設定されたり、あるいは軸径が途中で異
なるときでも感度が等しいものとなるように設定された
りするというように、感度や分解能が適宜調整されるも
のになる。 （実施例） 夾崖Ａ」 第４図はこの発明の実施例１におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の素
材としてニッケル拳クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ４
２０）を用い、これを直径２３ｍｍの丸棒に加工し、こ
の丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために、角
度θａが４５°、深さＤａが１ｍｍ、幅Ｗａが１ｍｍ、
軸心方向の幅Ｌａが１５ｍｍの部分らせん状溝３ａを円
周方向の溝数Ｎａが１４となる数だけ形成し、他方の磁
気異方性部４ｂを設けるために、角度θｂが４５°、深
さＤｂが１　ｍ　ｍ　、幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向の幅
Ｌｂが１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の溝数
Ｎｂが１４となる数だけ形成して実施例１の被測定軸２
とした。 次いで、この被測定軸２を用い、各磁気異方性部４ａ、
４ｂに近接して励磁用兼検出用コイル５ａ、５ｂを配設
したトルク検出装置１によってトルク−出力特性を調べ
たところ、第５図に示すものとなり、感度は正方向が負
方向よりも約２０％高くなっており、分解能については
ＳＮ比を考慮した場合に正方向が負方向よりも約２０％
向上したものとなっていた。 実Ｊ１１ヱ 第６図はこの発明の実施例２におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の素
材としてニッケル・クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ４
２０）を用い、これを直径２３ｍｍの丸棒に加工し、こ
の丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために、角
度θａが４５°、深さＤａが１　ｍ　ｍ　、幅Ｗａがｉ
ｎｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状溝３
ａを円周方向の溝数Ｎａが１４となる数だけ形成し、他
方の磁気異方性部４ｂを設けるために、角度θｂが３０
０．深さＤｂがｉｎｍ、幅ｗｂがｉｎｍ、軸心方向の幅
Ｌｂが１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の溝数
Ｎｂが１４となる数だけ形成して実施例２の被測定軸２
とした。 医ｍ旦 第７図はこの発明の実施例３におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の素
材としてニッケル・クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ４
２０）を用い、これを直径２３　ｍ　ｍの丸棒に加工し
、この丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために
、角度θａが４５°、深さＤａが２　ｍ　ｍ　、幅Ｗａ
がｉｎｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状
溝３ａを円周方向の溝数Ｎａが１４となる数だけ形成し
、他方の磁気異方性部４ｂを設けるために、角度θｂが
４５°、深さＤｂがｉｎｍ、幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向
の幅Ｌｂが１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の
溝数Ｎｂが１４となる数だけ形成して実施例３の被測定
軸２とした。 実施例４ 第８図はこの発明の実施例４におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の素
材としてニッケル・クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ４
２０）を用い、これを直径２３ｍｍの丸棒に加工し、こ
の丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために、角
度θａが４５°、深さＤａが１ｍｍ、幅Ｗａが１ｍｍ、
軸心方向の１１１ｉ１Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状溝
３ａを円周方向の溝数Ｎａが１８となる数だけ形成し、
他方の磁気異方性部４ｂを設けるために、角度Ｏｂが４
５°、深さＤｂが１ｍｍ、幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向の
幅Ｌｂが１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の溝
数Ｎｂが１４となる数だけ形成して実施例４の被測定軸
２とした。 実施例５ 第９図はこの発明の実施例５におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の素
材としてニッケルφクロム拳モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ４
２０）を用い、これを直径φａが２０ｍｍ、直径φｂが
２５ｍｍの直径の異なる丸棒に加工し、この丸棒の直径
φａが２０ｍｍの部分に、一方の磁気異方性部４ａを設
けるために、角度θａが４５°、深さＤａが１ｍｍ。 幅Ｗａがｉｎｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分ら
せん状溝３ａを円周方向の溝数Ｎａが１４となる数だけ
形成し、直径φｂが２５ｍｍの部分に、他方の磁気異方
性部４ｂを設けるために、角度θｂが４５°、深さＤｂ
が１ｍｍ、幅ｗｂが１　ｍ　ｍ　、軸心方向の幅Ｌｂが
１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の溝数Ｎｂが
１４となる数だけ形成して実施例５の被測定軸２とした
。 実施例６ 第１０図はこの発明の実施例６におけるトルク検出装置
を示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の
素材としてニッケル会クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ
４２０）を用い、これを直径２５ｍｍの丸棒に加工し、
この丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために、
角度Ｏａが４５°、深さＤａがｉｎｍ、幅Ｗａが１．５
ｍｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状溝３
ａを円周方向の溝数Ｎａが１４となる数だけ形成し、他
方の磁気異方性部４ｂを設けるために、角度Ｏｂが４５
°、深さＤｂが１ｍｍ、幅ｗｂが２．５ｍｍ、軸心方向
の幅Ｌｂが１１ｍｍの部分らせん状溝３ｂを円周方向の
溝数Ｎｂが１４となる数だけ形成して実施例６の被測定
軸２とした。 比較例 第１４図はこの発明の比較例におけるトルク検出装置を
示しており、このトルク検出装着５１は、被測定軸５２
の素材としてニッケル・クロム−モリブデン鋼（ＳＮ０
Ｍ４２０）を用い、これを直径２３ｍｍの丸棒に加ニレ
、この丸棒に、−方の磁気異方性部５４ａを設けるため
に、角度θａが４５°、深さＤａがｉｍｍ、幅Ｗａが１
ｍｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状溝５
３ａを円周方向の溝数Ｎ＆が１４となる数だけ形成し、
他方の磁気異方性部５４ｂを設けるために、角度θｂが
４５°、深さＤｂがｉｎｍ。 幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向の幅Ｌｂが１１ｍｍの部分ら
せん状溝５３ｂを円周方向の溝数Ｎｂが１４となる数だ
け形成して比較例の被測定軸５２とした。 次いで、この被測定軸５２を用い、各磁気異方性部５４
ａ　、５４ｂに近接して励磁用兼検出用コイル５５ａ、
５５ｂを配設したトルク検出装置５１によってトルク−
出力特性を調べたところ。 第１６図に示すものとなり、正方向と負方向の感度は同
じものであった。 評価例 実施例１〜６の被測定軸２と、比較例１の被測定軸５２
をそれぞれ用いたトルク検出装置１゜５１の正負方向に
おける感度差を比較したところ、第１１図に示す結果で
あった。 第１１図に示すように、実施例１〜６のものでは正負方
向の感度差が１０〜５２％の範囲で異なるものであった
が、比較例のものでは正負方向の感度差はほとんど０で
あった。 このように、この発明による場合は、正負方向の感度を
自由に設定することが可能であるとともに、感度の高低
を選定することにより分解能の設定も容易になしうるも
のとなる。 笈ム［ 第１２図はこの発明の実施例７におけるトルク検出装置
を示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の
素材としてニッケル・クロム・モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ
４２０）を用い、これを直径２３ｍｍの丸棒に加工し、
この丸棒に、一方の磁気異方性部４ａを設けるために、
角度θａが４５°、深さＤａが１ｍｍ、幅Ｗａが１　ｍ
　ｍ　、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部分らせん状溝
３ａを円周方向の溝数Ｎａが１２となる数だけ形成し、
他方の磁気異方性部４ｂを設けるために、角度θｂが４
５°、深さＤｂが１ｍｍ、幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向の
幅Ｌｂが１１ｍｍで且つ前記一方の部分らせん状溝３ａ
に対し円周方向の配列位相Ｐが１５°だけずれている部
分らせん状溝３ｂを円周方向の溝数Ｎｂが１２となる数
だけ形成して実施例７の被測定軸２とした。 この実施例７の被測定軸２を用いたトルク検出装置１で
は、磁気異方性部４ａ、４ｂが左右非対称であるが、正
負方向の感度は同じものであり、測定の一例によれば正
負方向の感度差は±１％以内であった。 夫良璽１ 第１３図はこの発明の実施例８におけるトルク検出装置
を示しており、このトルク検出装置１は、被測定軸２の
素材としてニッケル・クロム争モリブデン鋼（ＳＮ０Ｍ
４２０）を用い、これを直径φａが２ｏｍｍ、直径φｂ
が２５ｍｍの直径の異なる丸棒に加ニレ、この丸棒の直
径φａが２０　ｍ　ｍの部分に、一方の磁気異方性部４
ａを設けるために、角度θａが４５°、深さＤａが１ｍ
ｍ、幅Ｗａが１ｍｍ、軸心方向の幅Ｌａが１１ｍｍの部
分らせん状溝３ａを円周方向の溝数Ｎａが１２となる数
だけ形成し、直径φｂが２５ｍｍの部分に、他方の磁気
異方性部４ｂを設けるために、角度θｂが４５°、深さ
Ｄｂが２　ｍ　ｍ　。 幅ｗｂが１ｍｍ、軸心方向の幅Ｌｂが１５ｍｍｃ７）部
分らせん状溝３ｂを円周方向の溝数Ｎｂが１６となる数
だけ形成して実施例８の被測定軸２とした。 次いで、この被測定軸２を用い、各磁気異方性部４ａ、
４ｂに近接して励磁用兼検出用コイル５ａ、５ｂを配設
したトルク検出装置１によってトルク−出力特性を調べ
たところ、正負方向の感度差は±１％以内であり、被測
定軸２の軸径が異なる場合であっても磁気異方性部４ａ
。 ４ｂを左右非対称にすることによって正負方向の感度を
等しいものとすることも容易に可能であった。

【発明の効果】

この発明によれば、少なくとも表面で磁気歪効果を有し
且つ表面に磁気異方性部を有する被測定軸に加えられた
トルクにより生じる磁気歪を検出して前記トルクを検出
するトルク検出装置において、磁気異方性部を非対称を
なす複数の磁気異方性部により形成する構成としたから
、軸径が同じであるときに複数の磁気異方性部を非対称
のものとすることによって各トルク検出部の感度を変え
ることが可能であり、被測定軸の正方向回転と負方向回
転とで感度や分解ｆ＠を異ならせたものとすることが可
能であり、また、軸径が途中で異なる被測定軸の場合に
おいても正方向回転と負方向回転で感度や分解能を同じ
ものとしたり異なるものとしたりすることが可能であり
、トルク検出の際の感度や分解能の設定を任意に行うこ
とができるので、トルク検出装置の適用分野をさらに広
めることができるようになるという非常に優れた効果が
もたらされる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るトルク検出装置の基本構成を示
す説明図、第２図は第１図に示したトルク検出装置の各
トルク検出部のトルク−出力特性を示すグラフ、第３図
は第１図のトルク検出装置の第１５図の電気回路による
差動増幅後のトルク−出力特性を示すグラフ、第４図お
よび第５図はこの発明の実施例１におけるトルク検出装
置のそれぞれ説明図および第１５図の電気回路による差
動増幅後のトルク−出力特性を示すグラフ、第６図、第
７図、第８図、第９図および第１Ｏ図はそれぞれこの発
明の実施例２，３，４．５および６におけるトルク検出
装置の説明図、第１１図は実施例１〜６および比較例の
トルク検出装置における評価結果を示すグラフ、第１２
図および第１３図はそれぞれこの発明の実施例７および
８におけるトルク検出装置の説明図、第１４図は従来の
トルク検出装置の説明図、第１５図はトルク検出装置に
接続する電気回路を例示する説明図、第１６図は第１４
図の従来のトルク検出装置の第１５図１５図の電気回路
による差動増幅後のトルク−出力特性を示すグラフであ
る。 １・・・トルク検出装置、２・・・被測定軸、４ａ。 ４ｂ・・・磁気異方性部、５ａ、５ｂ・・・励磁手段兼
検出手段。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面に磁気異方性部を有する被測定軸と、前記被
   測定軸の磁気異方性部を磁路の一部とする磁気回路を形
   成する励磁手段と、前記被測定軸に加えられたトルクに
   より生じる磁気歪を検出する検出手段をそなえたトルク
   検出装置において、前記磁気異方性部を非対称をなす複
   数の磁気異方性部により形成したことを特徴とするトル
   ク検出装置。