JPH02118928U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02118928U JPH02118928U JP2777989U JP2777989U JPH02118928U JP H02118928 U JPH02118928 U JP H02118928U JP 2777989 U JP2777989 U JP 2777989U JP 2777989 U JP2777989 U JP 2777989U JP H02118928 U JPH02118928 U JP H02118928U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cutting blade
- rotary table
- curved
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例装置の刃の斜視
図である。第２図はデマウンド装置の平面図で、
第３図は第２図の側面図である。第４図は、従来
装置の刃の斜視図である。 １……ウエーハ、１ａ……突起物、３……アー
ム、７……（曲面状の）刃。
図である。第２図はデマウンド装置の平面図で、
第３図は第２図の側面図である。第４図は、従来
装置の刃の斜視図である。 １……ウエーハ、１ａ……突起物、３……アー
ム、７……（曲面状の）刃。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エピタキシヤル成長工程にて発生したウエーハ
上の突起物をカツテイングするための、ウエーハ
を吸着保持した回転台と、アームの先端に取り付
けられウエーハの上方に微小隙間で浮遊状態に配
置されてウエーハの半径方向に移動可能なカツテ
イング刃とを備えてなる装置において、 カツテイング刃の角部を曲面状にしたことを特
微とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2777989U JPH02118928U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2777989U JPH02118928U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118928U true JPH02118928U (ja) | 1990-09-25 |
Family
ID=31250573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2777989U Pending JPH02118928U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02118928U (ja) |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP2777989U patent/JPH02118928U/ja active Pending