JPH02119344U - - Google Patents

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JPH02119344U
JPH02119344U JP2812789U JP2812789U JPH02119344U JP H02119344 U JPH02119344 U JP H02119344U JP 2812789 U JP2812789 U JP 2812789U JP 2812789 U JP2812789 U JP 2812789U JP H02119344 U JPH02119344 U JP H02119344U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のイオン源の一例を示す縦断面
図。第２図は本考案者らが以前に作つたイオン源
の一例を示す縦断面図。 １……イオン源チヤンバ、２……蓋、３……内
張り、４……引出電極、５……フイラメント、６
……フイラメント用電源、７……アーク電源、８
……蒸発源、９……オーブン、１０……試料、１
１………オーブン加熱フイラメント、１２……オ
ーブン加熱電源、１３……可変抵抗、１４……イ
オン、１５……電子、１６……オーブンチヤンバ
、１７，１８……絶縁物、２０，２１……導入端
子、２３……リード線、２４……導入端子、２５
，２６，２７……リード線、２９……試料接触リ
ード。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 常温で固体または液体である試料をイオン化す
    るためのイオン源であつて、内部を真空に引くこ
    とができ放電またはマイクロ波励起によつて、導
    入された気体をイオン化するイオン源チヤンバ１
    １と、イオン源チヤンバ１の側壁に設けられ広い
    開口を介して連続するオーブンチヤンバ１６と、
    オーブンチヤンバ１６の中に設けられ常温で固体
    または液体である試料１０を入れ上方の広く開口
    したオーブン９と、オーブンチヤンバ１６の中に
    設けられオーブン９を加熱するためのオーブン加
    熱フイラメント１１と、オーブン加熱フイラメン
    ト１１に給電するためのオーブン加熱電源１２と
    、試料１０の中に接触するよう設けられた試料接
    触リード２９とよりなり、試料接触リード２９は
    イオン源チヤンバ内のプラズマ電位よりも高い電
    位に保たれ、プラズマ中の電子が試料１０の表面
    に衝突することにより試料１０を加熱できるよう
    にした事を特徴とするイオン源。
JP2812789U 1989-03-14 1989-03-14 Expired - Lifetime JPH0542603Y2 (ja)

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JP2812789U JPH0542603Y2 (ja) 1989-03-14 1989-03-14

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JPH02119344U true JPH02119344U (ja) 1990-09-26
JPH0542603Y2 JPH0542603Y2 (ja) 1993-10-27

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