JPH02120218A - 高結晶性黒鉛の製造方法 - Google Patents
高結晶性黒鉛の製造方法Info
- Publication number
- JPH02120218A JPH02120218A JP63272330A JP27233088A JPH02120218A JP H02120218 A JPH02120218 A JP H02120218A JP 63272330 A JP63272330 A JP 63272330A JP 27233088 A JP27233088 A JP 27233088A JP H02120218 A JPH02120218 A JP H02120218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- aromatic polyimide
- polyimide film
- highly crystalline
- carbonization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/20—Graphite
- C01B32/205—Preparation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ線や中性子線のモノクロメータ−スピーカー
コーン等の振動子、黒鉛層間化合物製造用の基材、及び
Ｘ線リソグラフィ用マスク材さらにはヒートシンクや気
体不透過用途の黒鉛フィルムなどに用いられる高結晶性
黒鉛の製造方法に係るものである。
コーン等の振動子、黒鉛層間化合物製造用の基材、及び
Ｘ線リソグラフィ用マスク材さらにはヒートシンクや気
体不透過用途の黒鉛フィルムなどに用いられる高結晶性
黒鉛の製造方法に係るものである。
従来、上記の様な黒鉛の結晶としての性質を利用する用
途に供する高結晶性黒鉛としては、天然黒鉛が用いられ
ているほか、生産量が限られ、純度が低い等の問題点が
ある天然黒鉛に代わるものとして、Ｆｅ、Ｎｉ／Ｃ系融
体からの析出結晶であるキッシュ黒鉛、Ｓｉ、Ａｊ！等
の炭化物の分解黒鉛、炭化水素の熱分解沈積物を高温下
で機械加圧しつつ熱処理して製造される高配向パイログ
ラファイト等がある。又、ほかに芳香族高分子のフィル
ムを熱処理して黒鉛フィルムを得る方法が知られている
。
途に供する高結晶性黒鉛としては、天然黒鉛が用いられ
ているほか、生産量が限られ、純度が低い等の問題点が
ある天然黒鉛に代わるものとして、Ｆｅ、Ｎｉ／Ｃ系融
体からの析出結晶であるキッシュ黒鉛、Ｓｉ、Ａｊ！等
の炭化物の分解黒鉛、炭化水素の熱分解沈積物を高温下
で機械加圧しつつ熱処理して製造される高配向パイログ
ラファイト等がある。又、ほかに芳香族高分子のフィル
ムを熱処理して黒鉛フィルムを得る方法が知られている
。
しかし、キッシュ黒鉛は通常は薄片状であって、塊状キ
ッシュ黒鉛の製造は多大の労力を要し、炭化物の分解黒
鉛は純度に問題点があり、高配向パイログラファイトは
製造方法が複雑である。又、芳香族高分子のフィルムを
熱処理する方法においては、材料の選択及び熱処理の方
法等の製造条件の選択が難しく、電気的、磁気的特性の
点で満足すべき性能を示す高結晶性黒鉛は未だ得られて
おらず、前記のいずれの方法も工業的利用を制約する欠
点がある。
ッシュ黒鉛の製造は多大の労力を要し、炭化物の分解黒
鉛は純度に問題点があり、高配向パイログラファイトは
製造方法が複雑である。又、芳香族高分子のフィルムを
熱処理する方法においては、材料の選択及び熱処理の方
法等の製造条件の選択が難しく、電気的、磁気的特性の
点で満足すべき性能を示す高結晶性黒鉛は未だ得られて
おらず、前記のいずれの方法も工業的利用を制約する欠
点がある。
本発明者等はこれらの欠点を解決すべく鋭意検討した結
果、可及的薄い芳香族ポリイミドフィルムを、特定の炭
化条件で炭化し、更に非常に高温で黒鉛化したとき黒鉛
単結晶に近い良質の高結晶性の黒鉛が容易に得られるこ
とを見出し、本発明に到達した。
果、可及的薄い芳香族ポリイミドフィルムを、特定の炭
化条件で炭化し、更に非常に高温で黒鉛化したとき黒鉛
単結晶に近い良質の高結晶性の黒鉛が容易に得られるこ
とを見出し、本発明に到達した。
即ち、本発明の目的は、可及的黒鉛単結晶に近い、良質
の高結晶性黒鉛を工業的有利に製造することにある。
の高結晶性黒鉛を工業的有利に製造することにある。
しかして、かかる本発明の目的は、厚さ５０μｍ未満の
芳香族ポリイミドフィルムを平均昇温速度２００℃／時
以上で９００℃以上まで昇温して焼成・炭化し、次いで
３０００℃以上で黒鉛化することにより容易に達成され
る。
芳香族ポリイミドフィルムを平均昇温速度２００℃／時
以上で９００℃以上まで昇温して焼成・炭化し、次いで
３０００℃以上で黒鉛化することにより容易に達成され
る。
以下、本発明の詳細な説明する。
黒鉛は炭素六方網平面の積層物たる黒鉛層からなる結晶
子が規則的に集合・配列して成るものであって、この結
晶子同士が、互いに向きが揃いよく一体化し、且つ該結
晶子の大きさが大きい程良質の高結晶性黒鉛であるとい
える。又、炭化及び黒鉛化なる用語は、互いの境界が必
ずしも明瞭ではないが、通常、前者は有機物が熱分解し
て異種元素を放出するとともに炭素六方網平面の生成す
る反応を意味し、後者は加熱によって炭素六方網平面が
積層して黒鉛微結晶を成し、該微結晶が成長・配列する
ことをいう。しかし、本発明において炭化とは、上記の
通常の意味での炭化が終了し、黒鉛化が未だ完了せず進
行しつつある状態をも含む用語として使用することとす
る。
子が規則的に集合・配列して成るものであって、この結
晶子同士が、互いに向きが揃いよく一体化し、且つ該結
晶子の大きさが大きい程良質の高結晶性黒鉛であるとい
える。又、炭化及び黒鉛化なる用語は、互いの境界が必
ずしも明瞭ではないが、通常、前者は有機物が熱分解し
て異種元素を放出するとともに炭素六方網平面の生成す
る反応を意味し、後者は加熱によって炭素六方網平面が
積層して黒鉛微結晶を成し、該微結晶が成長・配列する
ことをいう。しかし、本発明において炭化とは、上記の
通常の意味での炭化が終了し、黒鉛化が未だ完了せず進
行しつつある状態をも含む用語として使用することとす
る。
黒鉛の結晶を評価するにはしばしば電気的・磁気的性質
から評価する方法がとられ、その指標として磁気抵抗及
び抵抗比等が挙げられる。
から評価する方法がとられ、その指標として磁気抵抗及
び抵抗比等が挙げられる。
磁気抵抗は電気抵抗率を磁場Ｂの関数ρ（Ｂ）として表
したとき 量であって、黒鉛の場合、その結晶構造から磁気抵抗に
異方性を示す。フィルム状又は板状の黒鉛試料では、試
料の面は、黒鉛を構成する炭素六方網平面とほぼ平行と
見られるが、該試料面内の一定の方向に電流を流し、一
定の大きさの磁場を種々の方向に印加して磁気抵抗を測
定するものとしたとき、磁場の印加方向により最大横磁
気抵抗（Δρ／ρ）１．、、最小横磁気抵抗（Δρ／ρ
）？ｓｉａ及び最小縦磁気抵抗（Δρ／ρ）、Ｌｌ、が
定義される。即ち、前記試料面に垂直に磁場を印加した
とき測定されるのが最大横磁気抵抗、前記試料面内で、
電流の方向と垂直に磁場を印加したとき測定されるのが
最小横磁気抵抗、電流と同方向に磁場を印加して測定さ
れるのが最小縦磁気抵抗である。
したとき 量であって、黒鉛の場合、その結晶構造から磁気抵抗に
異方性を示す。フィルム状又は板状の黒鉛試料では、試
料の面は、黒鉛を構成する炭素六方網平面とほぼ平行と
見られるが、該試料面内の一定の方向に電流を流し、一
定の大きさの磁場を種々の方向に印加して磁気抵抗を測
定するものとしたとき、磁場の印加方向により最大横磁
気抵抗（Δρ／ρ）１．、、最小横磁気抵抗（Δρ／ρ
）？ｓｉａ及び最小縦磁気抵抗（Δρ／ρ）、Ｌｌ、が
定義される。即ち、前記試料面に垂直に磁場を印加した
とき測定されるのが最大横磁気抵抗、前記試料面内で、
電流の方向と垂直に磁場を印加したとき測定されるのが
最小横磁気抵抗、電流と同方向に磁場を印加して測定さ
れるのが最小縦磁気抵抗である。
又、下記式（１）及び（２）で定義されるｒ７及びｒｔ
ｔを、それぞれ＊［気抵抗の異方比及び縦磁気抵抗の異
方比という。
ｔを、それぞれ＊［気抵抗の異方比及び縦磁気抵抗の異
方比という。
ｒｔ ＝ （Δｐ／ ｐ＞ ｙｍｔｎ ／ （Δｐ ／
Ｉ’ ） −ａｘ ・” （１）ｒｔＬ＝（Δｐ ／
ｐ ） ？Ｌ＋＊ｉａ ／（ΔＦ’ ／ Ｐ ） −
ａｘ ”（２）ひとつの黒鉛試料について最大横磁気抵
抗が大きく、磁気抵抗の異方比の絶対値が小さく、抵抗
比が大きい程該黒鉛試料は黒鉛構造が発達し、且つ黒鉛
の結晶子同士の一体化が進み、より完全な黒鉛結晶に近
いといえる。
Ｉ’ ） −ａｘ ・” （１）ｒｔＬ＝（Δｐ ／
ｐ ） ？Ｌ＋＊ｉａ ／（ΔＦ’ ／ Ｐ ） −
ａｘ ”（２）ひとつの黒鉛試料について最大横磁気抵
抗が大きく、磁気抵抗の異方比の絶対値が小さく、抵抗
比が大きい程該黒鉛試料は黒鉛構造が発達し、且つ黒鉛
の結晶子同士の一体化が進み、より完全な黒鉛結晶に近
いといえる。
本発明方法においては、かかる良質の高結晶性黒鉛を製
造すべ（厚さ５０μｍ未満、好ましくは３０μｍ以下の
芳香族ポリイミドフィルムを昇温速度２００℃／時以上
、好ましくは３００℃／時以上で９００℃以上、好まし
くは１０００℃以上まで昇温して焼成・炭化し、次いで
３０００℃以上で黒鉛化することが特徴である。
造すべ（厚さ５０μｍ未満、好ましくは３０μｍ以下の
芳香族ポリイミドフィルムを昇温速度２００℃／時以上
、好ましくは３００℃／時以上で９００℃以上、好まし
くは１０００℃以上まで昇温して焼成・炭化し、次いで
３０００℃以上で黒鉛化することが特徴である。
芳香族ポリイミドは炭化温度以上で焼成したとき、その
炭素骨格の形状を保ったまま固相炭化するから、本発明
に原料として用いる芳香族ポリイミドのフィルムはこの
点を考慮してその内部で芳香環の面の向きのできるだけ
揃ったものが好ましい。具体的には、例えば下記式（１
）でその構成単位が表される様な分子内の芳香環同士が
互いに平行となり得る構造の芳香族ポリイミドのフィル
ムが好ましく、又、フィルムの厚みの点からは５０μｍ
未満、より好ましくは３０μｍ以下のものを用いると好
結果が得られる。
炭素骨格の形状を保ったまま固相炭化するから、本発明
に原料として用いる芳香族ポリイミドのフィルムはこの
点を考慮してその内部で芳香環の面の向きのできるだけ
揃ったものが好ましい。具体的には、例えば下記式（１
）でその構成単位が表される様な分子内の芳香環同士が
互いに平行となり得る構造の芳香族ポリイミドのフィル
ムが好ましく、又、フィルムの厚みの点からは５０μｍ
未満、より好ましくは３０μｍ以下のものを用いると好
結果が得られる。
これは、通常、流延法なる方法で製造される芳香族ポリ
イミドのフィルムは、その製造工程途中で生じるフィル
ムの面方向の収縮応力の為に分子中の芳香環の向きがフ
ィルムの面の向きに引き揃えられる傾向にあり、該傾向
が特に薄いフィルムの場合に顕著である為と考えられる
。
イミドのフィルムは、その製造工程途中で生じるフィル
ムの面方向の収縮応力の為に分子中の芳香環の向きがフ
ィルムの面の向きに引き揃えられる傾向にあり、該傾向
が特に薄いフィルムの場合に顕著である為と考えられる
。
芳香族ポリイミドフィルムの炭化焼成温度は、９００℃
以上、好ましくは１０００℃以上とするのがよく、これ
以下の温度だと窒素、酸素等の異種元素が残留し、炭化
が完全には進行せず、炭化時の収縮も完了しない。
以上、好ましくは１０００℃以上とするのがよく、これ
以下の温度だと窒素、酸素等の異種元素が残留し、炭化
が完全には進行せず、炭化時の収縮も完了しない。
一般に、炭素質物質の炭化は、全体を均一に加熱する為
に通常５〜ｂ ℃／時程度の昇温速度で昇温し、焼成することによって
行われているが、本発明の場合の様に芳香族ポリイミド
のフィルムを炭化する場合には、炭化の為の最低の温度
である９００℃までの平均昇温速度を２００℃／時以上
、好ましくは３００℃／時以上とすることが重要であっ
て、これより昇温速度が遅いと炭化に続いて黒鉛化して
製造される製品の黒鉛としての特性が低下する場合があ
る。
に通常５〜ｂ ℃／時程度の昇温速度で昇温し、焼成することによって
行われているが、本発明の場合の様に芳香族ポリイミド
のフィルムを炭化する場合には、炭化の為の最低の温度
である９００℃までの平均昇温速度を２００℃／時以上
、好ましくは３００℃／時以上とすることが重要であっ
て、これより昇温速度が遅いと炭化に続いて黒鉛化して
製造される製品の黒鉛としての特性が低下する場合があ
る。
該昇温速度は概して速い方が黒鉛化後の結晶性の良い黒
鉛が得られ、又、当然エネルギー的にも時間的にも工業
的有利に黒鉛を製造することができる。特に６００℃／
時以上、好ましくは８００℃／時以上、最も好ましくは
１０００℃／時以上としたとき電気抵抗率が非常に小さ
く、抵抗比が大きく、最大横磁気抵抗が大きい、即ち、
黒鉛の結晶子同士の向きがよく揃い、一体化の進んだ黒
鉛が得られる。
鉛が得られ、又、当然エネルギー的にも時間的にも工業
的有利に黒鉛を製造することができる。特に６００℃／
時以上、好ましくは８００℃／時以上、最も好ましくは
１０００℃／時以上としたとき電気抵抗率が非常に小さ
く、抵抗比が大きく、最大横磁気抵抗が大きい、即ち、
黒鉛の結晶子同士の向きがよく揃い、一体化の進んだ黒
鉛が得られる。
尚、平均昇温速度３００〜ｂ
し、次いで黒鉛化して得られる黒鉛は、炭化時の昇温速
度がより速い場合と比べて電気抵抗は大きいが、非常に
小さい最小横磁気抵抗、最小縦磁気抵抗及び磁気抵抗の
異方比を示し、この場合には結晶子同士の一体化には不
完全さが残っているが、ひとつひとつの結晶子内の炭素
六方網平面の積重なりの規則性がより完全である黒鉛が
得られたものと考えられる。
度がより速い場合と比べて電気抵抗は大きいが、非常に
小さい最小横磁気抵抗、最小縦磁気抵抗及び磁気抵抗の
異方比を示し、この場合には結晶子同士の一体化には不
完全さが残っているが、ひとつひとつの結晶子内の炭素
六方網平面の積重なりの規則性がより完全である黒鉛が
得られたものと考えられる。
通常芳香族ポリイミドの炭化品の様に固相炭化によって
得られる炭化品は難黒鉛化性であるとされるが、本発明
方法では上記の様にして得られた炭化品を３０００℃以
上の高温で焼成することにより黒鉛化することに成功し
た。又、この場合、製造される高結晶性黒鉛の幅が黒鉛
化前と比べて１０〜１３％拡大することが確認された。
得られる炭化品は難黒鉛化性であるとされるが、本発明
方法では上記の様にして得られた炭化品を３０００℃以
上の高温で焼成することにより黒鉛化することに成功し
た。又、この場合、製造される高結晶性黒鉛の幅が黒鉛
化前と比べて１０〜１３％拡大することが確認された。
これは、子同士が互いに向きを揃え、整列積層化する為
であると考えられる 以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本
発明はその要旨を超えない限り、下記実施例により限定
されるものではない。
であると考えられる 以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本
発明はその要旨を超えない限り、下記実施例により限定
されるものではない。
（実施例１）
上記式（Ｉ）で表される繰り返し単位からなる芳香族ポ
リイミドの厚さ２５μｍのフィルム（東しデュポン社製
「カプトン１００ＨＪ）から２５龍四方の正方形の試料
を切り出し、これをその表面を平滑に研磨した黒鉛板に
挟み、アルゴンガス気流中で室温から１０００℃までを
１２００℃／時の昇温速度で昇温して焼成し、１０００
℃で３０分間保持して焼成・炭化した。次いで、得られ
た炭化フィルムを前記黒鉛板に挟んだままアルゴンガス
気流を流した黒鉛管状炉に入れ、３２００℃まで昇温し
、そのまま１時間保持したのち炉中で放冷した。
リイミドの厚さ２５μｍのフィルム（東しデュポン社製
「カプトン１００ＨＪ）から２５龍四方の正方形の試料
を切り出し、これをその表面を平滑に研磨した黒鉛板に
挟み、アルゴンガス気流中で室温から１０００℃までを
１２００℃／時の昇温速度で昇温して焼成し、１０００
℃で３０分間保持して焼成・炭化した。次いで、得られ
た炭化フィルムを前記黒鉛板に挟んだままアルゴンガス
気流を流した黒鉛管状炉に入れ、３２００℃まで昇温し
、そのまま１時間保持したのち炉中で放冷した。
得られた高結晶性黒鉛シートの電気的・磁気的特性を「
炭素の磁気抵抗効果」 （菱山幸宥、炭素患１０７，１
４９頁（１９８１））に記載された方法に準拠し、四端
子法で測定した結果を表１に示す。ただし、磁気抵抗の
測定に際して印加する磁場の強さはＩＴ（テスラ）とし
た。
炭素の磁気抵抗効果」 （菱山幸宥、炭素患１０７，１
４９頁（１９８１））に記載された方法に準拠し、四端
子法で測定した結果を表１に示す。ただし、磁気抵抗の
測定に際して印加する磁場の強さはＩＴ（テスラ）とし
た。
又、咳高結晶性黒鉛シートの断面写真であって、走査型
電子顕微鏡を用い、日本学術振興会第１１７委員会費料
１１７−２００−Ｂ−１（１９８８年７月１５日）に示
された方法で撮影した写真を第１図に示す。
電子顕微鏡を用い、日本学術振興会第１１７委員会費料
１１７−２００−Ｂ−１（１９８８年７月１５日）に示
された方法で撮影した写真を第１図に示す。
（実施例２）
芳香族ポリイミドのフィルムを炭化する際の昇温速度を
４００℃／時に変更した以外は前記実施例１と全く同様
にしたところ、得られた高結晶黒鉛シートの各特性値及
び断面の写真はそれぞれ表１及び第２図に示す通りとな
った。
４００℃／時に変更した以外は前記実施例１と全く同様
にしたところ、得られた高結晶黒鉛シートの各特性値及
び断面の写真はそれぞれ表１及び第２図に示す通りとな
った。
（比較例）
原料として、厚さ２５μｍの芳香族ポリイミドのフィル
ムを用いるかわりに厚さ７５μｍの芳香族ポリイミドの
フィルム（東しデュポン社製「カプトン３００ＨＪ）を
用いた以外は前記実施例１と全く同様にしたところ、得
られた黒鉛シートの各特性値及び断面の写真はそれぞれ
表１及び第３図に示す通りとなった。
ムを用いるかわりに厚さ７５μｍの芳香族ポリイミドの
フィルム（東しデュポン社製「カプトン３００ＨＪ）を
用いた以外は前記実施例１と全く同様にしたところ、得
られた黒鉛シートの各特性値及び断面の写真はそれぞれ
表１及び第３図に示す通りとなった。
尚、参考の為３６００℃で加圧熱処理して得られた高配
向熱分解黒鉛（以下ＨＯＰＧ３６００と略記する）と、
融鉄中で成長させ純化して注意深く製作されたキッシュ
黒鉛の黒鉛単結晶について、前記実施例１と全く同様に
して測定した各特性値を、それぞれ参考例１及び２とし
て表１に示す。
向熱分解黒鉛（以下ＨＯＰＧ３６００と略記する）と、
融鉄中で成長させ純化して注意深く製作されたキッシュ
黒鉛の黒鉛単結晶について、前記実施例１と全く同様に
して測定した各特性値を、それぞれ参考例１及び２とし
て表１に示す。
又、該キッシュ黒鉛の黒鉛単結晶については前記実施例
と全く同様にして撮影した断面の写真を第４図に示す。
と全く同様にして撮影した断面の写真を第４図に示す。
（効 果）
本発明方法によれば、黒鉛単結晶に非常に近い良質の高
結晶性黒鉛を製造でき、又、炭化の際の昇温速度を変え
ることにより得られる高結晶性黒鉛の電気的・磁気的性
質を調節することが可能であって、多大な工業的利益を
提供するものである。
結晶性黒鉛を製造でき、又、炭化の際の昇温速度を変え
ることにより得られる高結晶性黒鉛の電気的・磁気的性
質を調節することが可能であって、多大な工業的利益を
提供するものである。
第１〜４図は黒鉛の結晶の構造を表す図面に代わる写真
であって、第１〜３図はそれぞれ本明細書中の発明の詳
細な説明に記載された実施例１及び２並びに比較例で製
造された高結晶性黒鉛シートの断面写真、第４図は参考
例２として示した黒鉛単結晶の断面写真である。 尚、これらの写真はいずれも日本学術振興会第１１７委
員会費料１１７−２００−Ｂ−１（１９８８年７月１５
日）に示された方法で撮影したものである。 Ｉ（）よ 愕１３ Ｚ １μ糟 ηへ２ 、：。 １μｍ 特 許 庁 長 官 殿 事件の表示 昭和６３年特許願第２７２３３０号 発明の名称 高結晶性黒鉛の製造方法 補正をする者 事件との関係
であって、第１〜３図はそれぞれ本明細書中の発明の詳
細な説明に記載された実施例１及び２並びに比較例で製
造された高結晶性黒鉛シートの断面写真、第４図は参考
例２として示した黒鉛単結晶の断面写真である。 尚、これらの写真はいずれも日本学術振興会第１１７委
員会費料１１７−２００−Ｂ−１（１９８８年７月１５
日）に示された方法で撮影したものである。 Ｉ（）よ 愕１３ Ｚ １μ糟 ηへ２ 、：。 １μｍ 特 許 庁 長 官 殿 事件の表示 昭和６３年特許願第２７２３３０号 発明の名称 高結晶性黒鉛の製造方法 補正をする者 事件との関係
Claims (1)
- 厚さ５０μｍ未満の芳香族ポリイミドフィルムを平均昇
温速度２００℃／時以上で９００℃以上まで昇温して焼
成炭化し、次いで３０００℃以上で黒鉛化することを特
徴とする高結晶性黒鉛の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272330A JP2645874B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 高結晶性黒鉛の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272330A JP2645874B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 高結晶性黒鉛の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120218A true JPH02120218A (ja) | 1990-05-08 |
| JP2645874B2 JP2645874B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=17512384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63272330A Expired - Lifetime JP2645874B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 高結晶性黒鉛の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2645874B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003105108A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fine Rubber Kenkyusho:Kk | 熱伝導性シート |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP63272330A patent/JP2645874B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003105108A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fine Rubber Kenkyusho:Kk | 熱伝導性シート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2645874B2 (ja) | 1997-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Inagaki | New carbons-control of structure and functions | |
| US7071258B1 (en) | Nano-scaled graphene plates | |
| Ishimaru et al. | Characterization of sp2-and sp3-bonded carbon in wood charcoal | |
| Hishiyama et al. | Characterization of structure and microtexture of carbon materials by magnetoresistance technique | |
| JPH05125619A (ja) | 円筒状構造をもつ黒鉛繊維 | |
| WO2013015347A1 (ja) | 多結晶ダイヤモンドおよびその製造方法 | |
| KR102212985B1 (ko) | 탄화규소 분말 제조방법 | |
| CN102534866B (zh) | 高模量碳纤维及其制造方法 | |
| KR101031689B1 (ko) | 반도체 제조 장치용 고순도 탄소 섬유 강화 탄소 복합재 및 그의 제조 방법 | |
| JPH02120218A (ja) | 高結晶性黒鉛の製造方法 | |
| JPH0660451B2 (ja) | ピッチ系黒鉛繊維の製造方法 | |
| KR20150142245A (ko) | 탄화규소 분말, 이의 제조방법 및 탄화규소 단결정 | |
| EP0449312A2 (en) | Process for preparing a graphite film or block from polyamido acid films | |
| WO1989007577A1 (fr) | Procede de production de graphite fortement oriente | |
| EP4481093A1 (en) | Preparation method for large crystal region high crystallinity carbonaceous fiber | |
| KR102413929B1 (ko) | 탄화규소 분말, 이의 제조방법 및 탄화규소 단결정 | |
| JP2002018267A (ja) | 半導体ダイヤモンド合成用黒鉛材及びそれを用いて製造される半導体ダイヤモンド | |
| JP4208218B2 (ja) | 高熱膨張係数を有する等方性黒鉛材の製造方法および該等方性黒鉛材からなる黒鉛製治具ならびに黒鉛製基材 | |
| Hishiyama et al. | Magnetoresistance and microtexture of carbon films prepared from polyimide film LARC-TPI | |
| Kim et al. | Mechanical properties of pyrolytic graphite flakes | |
| KR20170086982A (ko) | 탄화규소 분말, 이의 제조방법 및 탄화규소 단결정 | |
| JP2000239079A (ja) | 表面を緻密化した炭素材料 | |
| JPH0283208A (ja) | グラファイトの製造方法 | |
| JPH0283207A (ja) | グラファイトの製造方法 | |
| JP3648865B2 (ja) | 炭素繊維の製造方法 |