JPH02121843A - 液体噴射記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 未発明は、液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法に関
し、詳しくは吐出口から吐出させた液滴により記録がな
される液体噴射記録装置に用いられる液体噴射記録ヘッ
ドおよびその製造方法に関する。

［従来の技術］ 従来のこの種液体噴射記録装置としては、圧電素子の変
形により液流路内に圧力変化を発生させて微小液滴を吐
出させるもの、あるいはさらに−対の電極を設けて、こ
れにより液滴を偏向して配設した発熱素子を急激に発熱
させることによって気泡を生ぜしめ、その気泡の発生に
よって吐出口から液滴を吐出させるもの等が種々提案さ
れてきた。

これらの中でも、熱エネルギを利用して記９１　？＆を
吐出する方式に係る液体噴射記録ヘッドは、記録用の液
滴を吐出して飛翔用液滴を形成するためのオリフィス等
の液体吐出口（以下オリフィスともいう）を高密度に配
列することができるために高解像力の記録をすることが
可能であること、記録ヘッドとして全体的なコンパクト
化も容易であること、最近の半導体分野における技術の
進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技
術の長所を十二分に活用でき、長尺化および面状化（２
次元化）が容易であること等により、マルチノズル化お
よび高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生産性
が良く製造費用も廉価にできるものとして特に注目され
ている。

第９図（Ａ）および（Ｂ）は従来はこの種液体噴射記録
ヘッドの一例を示す。

これら図において、１はＳｉ等からなる第１基板であり
、その上面に吐出エネルギ発生素子としての電気熱変換
体やその配線部の群が設けられている。８はガラスや金
属等からなる第２基板であり、切削やエツチング等によ
り、インク等の記録用液体（以下単にインクという）の
導入口９、電気熱変換体に対応してインク流路１１を形
成するための溝１１＾、インク流路壁ｌＯおよび導入さ
れたインクを貯留するとともに各流路に連通させる共通
液室となる凹部１２が形成されている。

そして、同図（八）に示すように、第１および第２基板
が接着剤１３により互いに接着固定され、同図（Ｂ）　
に示すように記録ヘッドが組立てられる。

しかし、叙上の方法により得られるヘッドには、吐出す
るインク滴の直進性が損なわれることが多いと言う欠点
があった。これは、とりわけ、ヘッドのオリフィスが異
質の素材から形成されるために、オリフィス周縁におい
てインクに対する濡れ性の差が生じていることに起因し
ている。従来、このような欠点を除く目的で、金属板や
感光性ガラス板をエツチングしてオリフィスを成形して
なるオリフィスプレート、あるいは樹脂フィルムなどに
穴加工してオリフィスを形成しなるオリフィスプレート
を別途作成して、それをヘッド本体に貼り付けてインク
ジェットヘッドを作成することが提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、かかる構成の液体噴射記録ヘッド（以下
インクジェット記録ヘッドまたは単に記録ヘッドともい
う）においては、以下のような問題点が生じていた。

上記したインクジェット記録ヘッドには、その製造に際
してオリフィスプレートを接合する工程が含まれ、当該
接合に際してはオリフィスと流路部とを厳密に位置合わ
せする必要もある。また、第１および第２基板のオリフ
ィスプレートが接合されるべき端面が面一でない場合に
当該接合が困難となるので、このためにも両基板の接着
時に困難が生じ得る。

加えて、オリフィスプレートも接着剤を用いて固定され
るが、流路１１のピッチや流路壁ｌＯの高さは数ｌＯμ
ｍ程度と微小であるので、接着剤１３の塗布量（厚み）
を数μｍ程度に制御しないと、接合時に加えられる圧力
などのため接着剤が流路側にはみ出し、流路径ないし吐
出口径がばらついたり、閉塞されてしまうおそれも生じ
る。また、その接着力が充分でない場合にはオリフィス
プレートの剥れも生じるおそれがある。

さらに、樹脂フィルムを用いたオリフィスプレートでは
、樹脂フィルムが一般に２０〜５０μｍ程度の厚みしか
有していないため、取扱いの煩雑さが生じるのみならず
、貼着時にしわができたり、気泡が入ってしまって良好
な貼着が行えないことも考えられる。

以上のような製造工程の複雑さや工程数の多さは、記録
ヘッド製造費用の増大をもたらすものであり、このこと
は上述のような記録ヘッド、ないしはこれにインク供給
源たるインクタンク等を一体として構成した記録ヘッド
をディスポーザブル化する上での問題点ともなっていた
。

本発明は、以上のような問題点を解決して、製造工程が
簡素かつ工数が少なくてすみ、しかも信頼性の高い廉価
なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供
することにある。

［課題を解決するための手段］ そのため、本発明の第１の形態に係る液体噴射記録ヘッ
ドは、吐出エネルギ発生素子を形成した第１基板と、樹
脂の成型により形成され、第１基板と接合される第２基
板であって、当該接合時に吐出エネルギ発生素子の配設
部位に対応して記録用液体の流路を形成するための溝を
有するとともに、溝の前方に記録用液体の吐出口が形成
され、少くとも吐出口の形成部分において厚みが薄くさ
れた吐出口形成部材を一体に有してなる当該第２基板と
を具えたことを特徴とする。

また、本発明の第２の形態に係る液体噴射記録ヘッドの
製造方法では、吐出エネルギ発生素子を形成した第１基
板と、吐出エネルギ発生素子の配設部位に対応して記録
用液体の流路を形成するための第２基板とを接合させて
成る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、記録用液
体の吐出口を形成するための板状部材が一体に成型され
てなる樹脂製の第２基板素材に対し、エキシマレーザ光
を照射して吐出口を形成することを特徴とする。

さらに、本発明の第３の形態に係る液体噴射記録ヘッド
の製造方法では、吐出エネルギ発生素子を形成した第１
基板と、吐出エネルギ発生素子の配設部位に対応して記
録用液体の流路を形成するための第２基板とを接合させ
て成る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、記録用
液体の吐出口を形成するための板状部材が一体に成型さ
れてなる樹脂製の第２基板素材に対し、エキシマレーザ
光を照射して少くとも吐出口が形成されるべき範囲にわ
たって板状部材を薄くする第１工程と、当該薄くされた
部分にエキシマレーザ光を照射して吐出口を形成する第
２工程とを含むことを特徴とする。

［作　用］ 本発明によれば、記録ヘッドの組立工程においてオリフ
ィスプレートたる吐出口形成部材を別途貼着する工程が
含まれないので、貼着時の位置決めが全く不要となるの
みならず、この部分に接着剤は使用されないため、その
使用に関連した流路の目詰り等の不都合を解消できる。

すなわち、本発明によれば、全体としての記録ヘッド製
造工程が簡略化されることになる。

また、吐出口形成部材を部分的に薄くシ、そこに吐出口
が形成されるようにすれば、吐出エネルギ発生素子の前
方の流路長を短縮することができる。

［実施例］ 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の一実施例に係る
インクジェット記録ヘッドを示し、インク供給源たるイ
ンク収容部を一体としたディスポーザブルタイプのもの
としである。

同図（Ａ）　において、１００はＳｉ基板上に電気熱変
換体（吐出ヒータ）と、これに電力を供給する１等の配
線とが成膜技術により形成されて成るヒータボードであ
り、第９図における第１基板１に対応する。この詳細な
構成については第２図につき後述する。２００はヒータ
ボード１００に対する配線基板であり、対応する配線は
例えばワイヤボンディングにより接続される。

４００はインク流路を限界するための隔壁や共通液室等
を設けた天板であり、第９図における第２基板８に対応
するが、本例においてはオリフィスプレート部を一体に
有した樹脂材料で成る。この天板４００の詳細な形成態
様については第３図ないし第５図について後述する。

３００は例えば金属製の支持体、５００は押えばねであ
り、両者間にヒータボード１００および天板４００を挟
み込んだ状態で両者を係合させることにより、押えばね
５００の付勢力によってヒータボード１００と天板４０
０とを圧着固定する。この態様については第６図および
第７図について述べる。なお、支持体３００は、配線基
板２００も貼着等により設けられるとともに、ヘッドの
走査を行うためのキャリッジへの取付は基準を有するも
のとすることができる。また、支持体３００は駆動に伴
って生じるヒータボード１００の熱を放熱冷却する部材
としても機能する。

６００は供給タンクであり、インク供給源をなすインク
貯留部からインク供給を受け、ヒータボード１００と天
板４００との接合により形成される共通液室にインクを
導くサブタンクとして機能する。

７００は共通液室へのインク供給口付近の供給タンク６
００内の部位に配置されるフィルタ、８００は供給タン
ク６００の蓋部材である。

９００はインクを含浸させるための吸収体であり、カー
トリッジ本体１０００内に配置される。１２００は上記
各部１００〜８００から？７るユニットに対してインク
を供給するための供給口であり、当該ユニットをカート
リッジ本体１０００の部分１０１０に配置する前の工程
で供給口１２００よりインクを注入することにより吸収
体９００のインク含浸を行わせることができる。

１１００はカートリッジ本体の蓋部材、１４００はカー
トリッジ内部を大気に連通ずるために蓋部材に設けた大
気連通口である。１３００は大気連通口１４００の内方
に配置される１８液材であり、これにより大気連通口１
４００からのインク漏洩が防止される。

供給口１２００を介してのインク充填が終了すると、各
部１００〜８００よりなるユニットを部分１０１０に位
置付けて配設する。このときの位置決めないし固定は、
例えばカートリッジ本体１０００に設けた突起１０１２
と、これに対応して支持体３００に設けた穴３１２とを
嵌合させることにより行うことができ、これによって第
１図（Ｂ）のカートリッジが完成する。

そして、インクはカートリッジ内部より供給口１２００
、支持体３００に設けた穴３２０および供給タンク６０
０の第１図（Ａ）中実面側に設けた導入口を介して供給
タンク６００内に供給され、その内部を通った後、導出
口より適宜の供給管および天板４００のインク導入口４
２０を介して共通液室内へと流入する。以上におけるイ
ンク連通用の接続部には、例えばシリコンゴムやブチル
ゴム等のパツキンが配設され、これによって封止が行わ
れてインク供給路が確保される。

第２図（Ａ）および（Ｂ）は本実施例に係るヒータボー
ド１００の平面図およびその部分拡大図である。

同図（八）において１０１は本例に係るヒータボード基
体、１０３は吐出ヒータ部である。１０４は端子であり
、ワイヤボンディングにより外部と接続される。１０２
は温度センサであり、吐出ヒータ部１０３等と同じ成膜
プロセスにより吐出ヒータ部３に形成しである。同図（
Ｂ）は同図（Ａ）におけるセンナ１０２を含む部分Ｂの
拡大図であり、１０５および１０６は、それぞれ、吐出
ヒータおよび配線である。また、１０８はヘッドを加熱
するための保温ヒータである。

センサ１０２は、他の部分と同様に、半導体同様の成膜
プロセスによって形成しであるため極めて高精度であり
、他の部分の構成材料であるアルミニウム、チタン、タ
ンタル、５酸化タンタル、ニオブ等、温度に応じて導電
率が変化する材料で作成できる。例えば、これらのうち
、チタンは電気熱変換素子を構成する発熱抵抗層と電極
との接着性を高めるために両者間に配置可能な材料、タ
ンタルは発熱抵抗層上の保護層の耐キャビテーション性
を高めるためにその上部に配置可能な材料である。また
、プロセスのバラズキを小とするために線幅を太くし、
配線抵抗等の影響を少なくするために蛇行形状として高
抵抗化を図っている。

また、同様に保温ヒータ１０８は、吐出ヒータ１０５の
発熱抵抗層と同一材料（例えばＨｆＢｚ）を用いて形成
できるが、ヒータボードを構成する他の材料、例えばア
ルミニウム、タンタル、チタン等を用いて形成しても良
い。

第３図は本例に係る天板４００を形成するための天板素
材の構成例を示す。

天板素材４００′は、インク流路溝４１１，４１２．・
・・を所望の個数（図においては簡略のために２個）有
し、オリフィスプレート部４０４を一体に設けた構成と
しである。

そして、第３図示の構成例においては、天板素材４００
′　は耐インク性に優れたポリサルフォン。

ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、
ポリプロピレンなどの樹脂を用い、オリフィスプレート
部４０４と共に金型内で一体に同時成型しである。なお
、オリフィスプレート部４０４を天板素材４００′の本
体部分と同一樹脂材料でなるもの、あるいは別種樹脂材
料でなるものとし、これを天板素材４００′の本体部分
とは別に製作しておき、金型内に挿入してインサート成
形してもよい。

インク流路溝については、それと逆パターンの微細溝を
切削等の手法により形成した型により樹脂を成型し、こ
れによって天板４００に流路溝４１１゜４１２を形成す
ることができる。

このように一体成形されたオリフィスプレート部４０４
は、成形上、厚みが約５０〜１００μｍ程度ある。この
状態でオリフィスを形成することもできるが、実際には
その部分の流路長は２０μｍ以下であることが望ましい
。吐出ヒータ１０５からの流路長が大であると吐出性能
に影響があるからである。そこで本例ではオリフィスプ
レート部４０４の特に溝４１１，４１２に対応して形成
すべきオリフィスの配列範囲にわたった部分を加工して
薄くした後にオリフィスを形成する。本実施例において
は、加工のためにエキシマレーザを用いた。

このエキシマレーザは紫外光を発振可能なレーザであり
、高強度である、単色性が良い、指向性がある、短パル
ス発振できる、レンズで集光することでエネルギ密度を
非常に大きくできるなどの利点を有する。

エキシマレーザ発振器は希ガスとハロゲンの混合気体を
放電励起することで、短パルス（１５〜３ｓｎｓ）の紫
外光を発振できる装置であり、にｒ−Ｆ。

Ｘｅ−Ｃ１、Ａｒ−Ｆレーザがよく用いられる。これら
の発振エネルギは数１０１００ｌ／パルス、パルス繰返
し周波数は３０〜１０００Ｈｚである。

このエキシマレーザ光のような高輝度の短パルス紫外光
をポリマー樹脂表面に照射すると、照射部分が瞬間的に
プラズマ発光と衝軍音を伴って分解、飛散するＡｂｌａ
ｔｉｖｅ　Ｐｈｏｔｏｄｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ（Ａ
ＰＤ）過程が生じ、この過程によってポリマー樹脂の加
工が可能となる。

このようにエキシマレーザによる加工精度と他のレーザ
によるそれとを比較した場合、例えばポリイミド（ＰＩ
）フィルムにエキシマレーザとしてのレーザと、他のＹ
ＡＧレーザおよびＣＯ□レーザを照射すると、ＰＩの光
を吸収する波長がｕｖ領領域あるために「Ｆレーザによ
ってきれいな穴が開くが、Ｕｖ領領域ないＹＡＧレーザ
では穴が開くもののエツジ面が荒れ、赤外線であるＣＯ
□レーザでは穴の周囲にクレータを生じてしまう。

また、ＳＵＳ等の金属、不透明なセラミックス。

Ｓｌ等は大気のτ囲気において、エキシマレーザ光の照
射によって影響を受けないため、エキシマレーザによる
加工におけるマスク材として用いることができる。

第４図はかかるエキシマレーザを用いて加工を行う装置
の模式図である。ここで、４５０はエキシマレーザ発振
器（本例ではにｒ−Ｆエキシマレーザ発振器とした）　
、　４５１はレーザビーム４５２を集光するための例え
ばｆ値５００ｍｍのレンズである。

４５３は加工部分の形状に対応した穴パターンを形成し
た例えば厚さ１ｍｍのＡ４２等の板でなるマスクである
。そして、天板素材４００′　はその被加工面がレンズ
４５１およびマスク４５３を介してレーザビームによっ
て照射されるように適切に配置される。

オリフィスプレート部４０４を薄くする工程においては
、にｒ−Ｆエキシマレーザ−発振器４５０から出射され
るレーザ光を、例えば長方形状の穴を形成したマスク４
５３を介してオリフィスプレート部４０４に照射する。

オリフィスプレート部４０４は、エキシマレーザが照射
された部分のみ加工されて薄くなる。

第５図（＾）はその状態を示すもので、４６５が当該加
工により薄くされた溝状の部分である。このとぎ、レー
ザの強度および加工時間を適切に制御することにより、
その部分の厚さを約ｌθ〜２０μｍ程度とすることがで
きた。

次に、オリフィスプレート部４０４は、その表面が撥液
性を有する方が不要なインクのぬれ等に対して効果があ
るので、撥液処理を行なった。木実施例においては、撥
液剤として大日本インキ社によるＤＥＦＥＮＳＡを、ダ
イキン社によるダイフロンＳ−３にて、１％に希釈した
ものを、塗布した。次に、撥液剤を硬化させるために、
紫外線照射を行なった。

次に、流路に対応したオリフィスをエキシマレーザで加
工して形成する。これは第４図において、オリフィスに
対応した穴のあいたマスクを、上記マスクととりかえる
ことにより行なうことができる。そして、マスクをとり
かえた後、位置合せを行ない、レーザを照射し、オリフ
ィス４０６を形成する。かくして、第５図（ｎ）に示す
ような天板４００を受けることができる。なお、第５図
（Ｂ）なお、流路形成用の溝４１１．４１２や共通液室
部分についても、これらをエキシマレーザにより加工し
てもよく、また、これらは吐出口（オリフィス）部分の
形成後に加工されてもよい。また、吐出ヒータ前方の流
路長の長さが問題とならない場合等、構成によっては必
ずしもオリフィスプレート部４０４を部分的に薄くしな
くてもよい。

そして、同図中−点鎖線に示すようにヒータボード＋０
０をオリフィスプレート部４０４に突き当てて接合し、
記録ヘッド本体を得る。

以上の如き構成では、従来のように天板とオリフィスプ
レートとの位置合わせや接着が不要であるので、位置合
わせ誤差や接着時の位置ずれ等が全く無くなり、不良品
の低減および工程の短縮によって、記録ヘッドの量産性
並びに低廉化に責することができた。また、従来のよう
な天板とオリフィスプレートとの接着工程が存在しない
ので、接着剤が流れ込むことによるオリフィスやインク
流路の閉塞の恐れがない。さらに、ヒータボード１００
　とオリフィスプレート部４０４を一体とした天板４０
０との接合時に、オリフィスプレート部４０４の吐出側
端面と逆側の端面にヒータボード１００を突き当てるこ
とにより流路方向の位置決めができるので、全体的な位
置決め工程や組み立て工程が容易となる。加えて、従来
のようなオリフィスブレートの剥離のおそれも全く生じ
ない。

第６図はヒータボード１００　と天板４００とを接合な
いし固定する一態様を示す。なお、図では簡略化のため
に天板４００のオリフィスプレート部４０４は一点鎖線
で示し、ヒータボード１００上の配線パターンの図示を
省略しである。

上述のように、ヒータボード１００と天板４００との位
置決めは、ヒータボード１００の端面をオリフィスプレ
ート部４０４に突き当てて行うが、これらの接合にあた
って天板４ＱＱの外周部の３辺に沿って接着剤４０５を
塗布した。これによってインク流路への接着剤の流れ込
みを抑えることが可能となる。さらに、ヒータボード１
００　とオリフィスプレート部４０４との接合面に必要
かつ十分な量だけ適宜の範囲にわたって接着剤を存在さ
せることもできる。

本例では、この接着剤４０５として、光硬化型の接着剤
１１Ｖ−２０１（グレースジャバン■）を用い、位置決
めを行った後に例えば１０〜３０Ｊ／ｃｏ＋２の紫外線
を照射し、硬化させて両者を固定した。ここで、接着剤
４０５の存在部分は流路ないし吐出口から離隔している
ので、位置決めにあたっての試行回数の許容値は増大す
る。

次に、このように天板４００およびヒータボード１０（
ｌを一体化して得た記録ヘッド本体を支持体３００上に
接着剤３０６を用いて固定する。この接着剤３０６　と
しては、例えばキャノンケミカル■によるｌ！Ｐ２Ｒ／
２）１を用いることができる。

この状態では、前述のように両基板（ヒータボード１θ
０および天板４００）は流路部以外の外周部で接着させ
られているだけで充分な密着が得られていない。そこで
、天板４００の上部側より押えばね５００の付勢力を作
用させる。この押えばね５００としては、例えばばね用
のリン青銅やステンレスを用いて形成することができる
。そして、その両端下部に設けた爪５０７を支持体３０
０に設けた穴部３０７に嵌入させ、両者を係合させるこ
とで天板４００の上部から機械的圧力が加わるようにな
る。

これによって、両基板の十分な密着状態が得られる。な
お、この押えばね５００において、５２０は穴であり、
天板４００のインク導入口４２０と供給タンク６００側
のインク供給口とを接続する供給管の挿通を受容する。

本例においては、天板４００とヒータボード＋００との
接合にあたって光硬化型の接着剤を用いたが、その形態
はいかなるものであってもよく、あるいは押えばね５０
０で十分な固定力ないし密看力が得られるのであれば必
ずしも接着剤を用いる必要はない。例えば液封性を高め
ることの゛みを目的として、適宜の封止材、すなわち封
止剤やゴムパツキン等の封止部材を用いることができる
。また、同様にして、押えばね５００の爪５０フ　と支
持体３００の穴部３０７との係合によりヘッド本体の十
分な固定力が得られるのであれば、接着剤３０６を用い
なくてもよい。

本例によれば、天板４００の流路壁の面に接着剤を塗布
することなく充分な接合状態が得られるので、接着剤の
塗布工程が簡略化できる。また、従来位置合わせでずわ
が生じた場合には流路部に接着剤がヒータボード１００
の吐出ヒータ１０５等に付着したり、流路ないし吐出口
を間奏して不良品が生じるおそれがあったが、本例では
そのようなことがなく、何度でも位置合わせができるこ
とにもなる。さらに、樹脂材料を用いた天板に変形や反
り、あるいは製造上のばらつきが多少あっても許される
ので、その製造工程も簡単になる。

第７図は第６図示の構成の変形例を示す。なお、図では
天板４００におけるオリフィスプレート部４０４の図示
を省略しである。

本例では、第６図示の例と同じく、支持体３００にヒー
タボード１００および天板４００から成る記録ヘッド本
体が接合された状態で、天板４００の上面から平面状と
した板ばね５００で圧力を加えることにより充分な密着
を得る構造とした。そして、板ばね５００はさらに上部
の別部材（例えば第１図における供給タンク６００）に
より加圧されるものである。

本例によっても、第６図示の構成と同様の効果を得るこ
とができた。

以上のような構成の各部を、第１図（Ａ）　につき前述
した工程で組立て、同図（Ｂ）に示すようなカートリッ
ジが得ることができ、さらにこれを用いて第８図のよう
なインクジェットプリンタ、すなわち、ディスポーザブ
ルのカートリッジを用いるインクジェットプリンタを構
成することができる。

なお、第８図において１４は第１図（八）および（Ｂ）
　　に示したカートリッジであり、このカートリッジ１
４は、押え部材４１によりキャリッジ１５の上に固定さ
れており、これらはシャフト２１に沿って長手方向に往
復動可能となっている。また、キャリッジ１５に対する
位置決めは、例えば支持体３００に設けた穴と、キャリ
ッジ１５側に設けたダボ等により行うことができる。さ
らに、電気的接続は配線基板２００に設けた接続バット
に、キャリッジ１５上のコネクタを結合させればよい。

記録ヘッドにより吐出されたインクは１、記録ヘッドと
微少間隔をおいて、プラテン１９に記録面を規制された
記録媒体１８に到達し、記録媒体１８上に画像を形成す
る。

記録ヘットには、ケーブル１６およびこれに結合する端
子を介して適宜のデータ供給源より画像データに応した
吐出信号が供給される。カートリッジ１４は、用いるイ
ンク色等に応じて、１ないし複数個（図では２個）を設
けることができる。

また、第８図において、１７はキャリッジ１５をシャフ
ト２１に沿って走査させるためのキャリッジモータ、２
２はモータ１７の駆動力をキャリッジ１５に伝達するワ
イヤである。また、２０はプラテンローラ１９に結合し
て記録媒体１８を搬送させるためのフィードモータであ
る。

このようなディスポーザブルのカートリッジ１４を用い
るインクジェットプリンタでは、吸収体９００に含浸さ
せたインクが無くなったとき等にカートリッジ１４が変
換されるが、そのためにカートリッジ１４は廉価である
ことが望ましい。以上の実施例で述べたカートリッジ１
４は、上述のように、製造工程が簡素で工数も少ないこ
とからこれを廉価に構成できるので、ディスポーザブル
化にも極めて適している。さらに、記録ヘット本体を組
立てる際の位置合わせを正確に行うことかてぎ、しかも
接着剤の流れ込みによる流路等の寸法のばらつきや閉塞
が生じないことから、信頼性も非常に高く、かつ歩留り
も向上することになる。

なお、本発明は上述した実施例にのみ限らイすることな
く、種々の構成を採ることかできるのは勿論である。

例えば、上側では記録ヘッド本体とインク供給源等とを
一体としてこれをディスポーザブルとしたか、両者は別
体であってもよく、それぞれについて必ずしもディスポ
ーザブルとしなくてもよい。すなわち、記録ヘッド本体
が固定型で簡単な交換を前提としないものであフても、
上述のように簡単かつ廉価にこれを構成することは、プ
リンタ本体の低廉化にも資するからである。

また、ヒータボード１００　と天板４００　とから成る
記録・＼ラド本体について、上側では天板側にのみイン
ク流路や共通液室の形成用凹部を設けたが、これらを双
方に設ζづてもよい。また、この記録へラド本体に関し
て、上側では熱エネルギを吐出エネルギとすべく吐出ヒ
ータ１０５を用いたものとしたが、通電に応して変形す
る電気−機械変換素子を用い、その機械的振動を吐出エ
ネルギとする形態のものであってもよい。

さらに、上側ではオリフィスプレート部４０４自体がヒ
ータボードの突当て部分を有する構成としたが、その突
当て部の形状等はいかなるものであってもよい。例えば
、そのような突当て部を側面方向にも設けて横方向の位
置決めか行われるようにしても良く、あるいはそのよう
な突当て部を設ける代わりに、ダボと穴との組合わせに
より位置決めがなされるようにしてもよい。また、その
位置決めが問題とならないのであれば突当て部ないし位
置決め部材は不要である。すなわち、天板は溝部の前方
に接合面と面一の壁部分を有し、そこに吐出口が形成さ
れた形態であってもよい。

加えて、上側では押えばねにより天板とヒータボードと
を密着接合させたが、当該接合に際して接着剤のみの使
用が問題とならないのであれば、押えばねを用いない構
成とすることも可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、簡単な製造工程
でかつその工程数も少なく、しかも信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドを＠価に構成することができるよう
になった。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明の一実
施例に係る記録ヘッドを含むカートリッジの構成例を示
す分解斜視図および外観斜視図、第２図（Ａ）および（
Ｂ）は、それぞれ、本実施例に係る記録ヘッドに適用可
能なヒータボードの一例を示す平面図およびその部分拡
大図、第３図は本実施例において用いる天板素材の構成
例を示す斜視図、 第４図は本例に係るオリフィスプレート部を加工するた
めのエキシマレーザ装置の構成例を示す模式図、 第５図（Ａ）および（Ｂ）は第４図高置を用いて本例に
係る天板を加工する工程を説明するための説明図、 第６図および第７図は記録ヘッド本体の接合ないし組上
げの態様の２例を説明するための説明図、 第８図は第１図示のカートリッジを用いて構成したイン
クジェットプリンタの一例を示す斜視図、 第９図（＾）および（８）は従来の記録ヘッドの組立て
を説明するための説明図である。 １・・・第１基板、 ８・・・第２基板、 ｌＯ・・・流路壁、 １１・・・インク流路、 １２・・・共通液室形成用凹部、 １３・・・接着剤、 １４・・・カートリッジ、 １５・・・キャリッジ、 ４１・・・カートリッジ押え、 １００・・・ヒータボード、 １０５・・・吐出用ヒータ、 ２００・・・配線基板、 ３００・・・支持体、 ４００・・・天板、 ４００′　・・・天板素材、 ４０４・・・オリフィスプレート部、 ４０５・・・接着剤、 ４１１．４１２・・・インク流路形成用溝、４２０・・
・インク導入口、 ４２１．４２２・・・オリフィス、 ４３０・・・共通液室形成用凹部、 ４５０・・・Ｋｒ−Ｆエキシマレーザ発振器、４５１・
・・レンズ、 ４５３・・・マスク、 ４５５・・・溝部分、 ４５６・・・オリフィス、 ５００・・・押えばね、 ６００・・・供給タンク、 フ００・・・フィルタ、 ａＯＯ・・・蓋部材、 ９００・・・インク吸収体、 １０００・・・カートリッジ本体、 １１００・・・蓋部材、 １２００・・・インク供給口、 １３００・・・撥液材、 １４００・・・大気連通口。 第 図（Ａ　） 第 図（Ｂ） 第 図 第 図 第８図 第 図（Ａ） 第 図（Ｂ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）吐出エネルギ発生素子を形成した第１基板と、 樹脂の成型により形成され、該第１基板と接合される第
   ２基板であって、当該接合時に前記吐出エネルギ発生素
   子の配設部位に対応して記録用液体の流路を形成するた
   めの溝を有するとともに、該溝の前方に、前記記録用液
   体の吐出口が形成され、少くとも該吐出口の形成部分に
   おいて厚みが薄くされた吐出口形成部材を一体に有して
   なる当該第２基板と、 を具えたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）前記吐出口形成部材は前記接合時に前記第１基板を
   突き当てて位置決めを行うための板状部材の形態を有す
   ることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッ
   ド。 ３）前記吐出エネルギ発生素子は前記記録用液体を吐出
   させるための熱エネルギを発生する電気熱変換体の形態
   を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液
   体噴射記録ヘッド。 ４）吐出エネルギ発生素子を形成した第１基板と、前記
   吐出エネルギ発生素子の配設部位に対応して記録用液体
   の流路を形成するための第２基板とを接合させて成る液
   体噴射記録ヘッドの製造方法において、 前記記録用液体の吐出口を形成するための板状部材が一
   体に成型されてなる樹脂製の第２基板素材に対し、エキ
   シマレーザ光を照射して前記吐出口を形成することを特
   徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。 ５）吐出エネルギ発生素子を形成した第１基板と、前記
   吐出エネルギ発生素子の配設部位に対応して記録用液体
   の流路を形成するための第２基板とを接合させて成る液
   体噴射記録ヘッドの製造方法において、 前記記録用液体の吐出口を形成するための板状部材が一
   体に成型されてなる樹脂製の第２基板素材に対し、エキ
   シマレーザ光を照射して少くとも前記吐出口が形成され
   るべき範囲にわたって前記板状部材を薄くする第１工程
   と、 当該薄くされた部分にエキシマレーザ光を照射して前記
   吐出口を形成する第２工程と を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法
   。