JPH0212202A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JPH0212202A JPH0212202A JP16457088A JP16457088A JPH0212202A JP H0212202 A JPH0212202 A JP H0212202A JP 16457088 A JP16457088 A JP 16457088A JP 16457088 A JP16457088 A JP 16457088A JP H0212202 A JPH0212202 A JP H0212202A
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- Japan
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- liquid
- lens
- ultrasonic
- exhaust nozzle
- ultrasonic cleaning
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 4
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、液体を送る筐体の経路に気泡が溜まらないよ
うにした超音波洗浄装置に関する。
うにした超音波洗浄装置に関する。
［従来技術］
この種の超音波洗浄装置として、第９図に示すように筐
体１にレンズ２及び超音波発生装置３を設け、また筐体
１のレンズ２の対向面に噴出口１ａを設け、筐体１の側
面に液体注入口ｌｂを設け、被洗浄物４に筐体１の噴出
口１ａから超音波と液体とを噴出して洗浄するようにし
た装置を本発明者が提案した（特願昭１３２−２４７１
５３号参照）。
体１にレンズ２及び超音波発生装置３を設け、また筐体
１のレンズ２の対向面に噴出口１ａを設け、筐体１の側
面に液体注入口ｌｂを設け、被洗浄物４に筐体１の噴出
口１ａから超音波と液体とを噴出して洗浄するようにし
た装置を本発明者が提案した（特願昭１３２−２４７１
５３号参照）。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、この従来の超音波洗浄装置では、超音波
振動によって液体中に発生した気泡が筐体１の噴出口１
ａから抜けないで筐体の隅に残るため。
振動によって液体中に発生した気泡が筐体１の噴出口１
ａから抜けないで筐体の隅に残るため。
間欠的に超音波が発生したとき、気泡によって超音波の
圧力が相殺されてしまい、超音波及び液体が噴出口１か
ら勢いよく噴出されないという問題があった。
圧力が相殺されてしまい、超音波及び液体が噴出口１か
ら勢いよく噴出されないという問題があった。
本発明は、液体の経路に気泡が残留せず、噴出口から勢
いよく液体及び超音波が噴出され、洗浄効果のよい超音
波洗浄装置を提供することを目的とするものである。
いよく液体及び超音波が噴出され、洗浄効果のよい超音
波洗浄装置を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するために、本発明の超音波洗浄装置で
は、液体の注入口と噴出口とを有し、前記注入口に注入
された液体の流れ方向を９０’以上変更して噴出口に導
びく経路を設けた筐体を設け、前記噴出口に対向して超
音波振動を発生する励振手段及び前記超音波振動を放射
するレンズを前記筐体に設けたものである。
は、液体の注入口と噴出口とを有し、前記注入口に注入
された液体の流れ方向を９０’以上変更して噴出口に導
びく経路を設けた筐体を設け、前記噴出口に対向して超
音波振動を発生する励振手段及び前記超音波振動を放射
するレンズを前記筐体に設けたものである。
また、レンズは超音波振動を前記液中へ放射する面が中
央部分が平面で、円形周囲に球面の一部または平行部分
に円筒の一部を設けるか、中央部分が平面で、円形周囲
に傾斜部または平行部分に平行傾斜部を設けものである
。
央部分が平面で、円形周囲に球面の一部または平行部分
に円筒の一部を設けるか、中央部分が平面で、円形周囲
に傾斜部または平行部分に平行傾斜部を設けものである
。
さらに、レンズはステンレス、タンタルまたは水晶から
なるものである。
なるものである。
また、励振手段の振動子を冷却する送風手段を設けたも
のである。
のである。
さらに、レンズが水晶で、筐体の液体に接する部にテフ
ロンを設け、かつ噴出口の一部を水晶とするものである
。
ロンを設け、かつ噴出口の一部を水晶とするものである
。
［作用コ
本発明の超音波洗浄装置では、注入口から注入された液
体は側部に周り込んで水平方向に流れ。
体は側部に周り込んで水平方向に流れ。
噴出口に達すると、噴出口の前面の励振手段により発生
され、レンズより放射された超音波によって噴出口より
噴出されるが、超音波によって液体中に発生した気泡は
水平方向に流れる液体により押され、噴出口より排出さ
れる。従って、気泡が筐体の中に残らないので、発生す
る超音波及び液体の圧力は変化しない。
され、レンズより放射された超音波によって噴出口より
噴出されるが、超音波によって液体中に発生した気泡は
水平方向に流れる液体により押され、噴出口より排出さ
れる。従って、気泡が筐体の中に残らないので、発生す
る超音波及び液体の圧力は変化しない。
［実施例］
第１図、第２図及び第３図を参照すると５本発明の超音
波洗浄装置では、筐体５に液体の注入口６及び内側が傾
斜した細長い噴出ロアが設けられ、注入口６と噴出ロア
を接続する経路８は注入口６の接続部分８ａから縦部分
８ｂに周り込み、水平部分８ｃから噴出ロアに接続され
ている。そして、筐体５に直方体の励振袋［９が装着さ
れ、また励振袋＠９には、噴出ロアの対向部分にレンズ
１０を設け、レンズ１０の背後に超音波振動子１１が設
けられている。
波洗浄装置では、筐体５に液体の注入口６及び内側が傾
斜した細長い噴出ロアが設けられ、注入口６と噴出ロア
を接続する経路８は注入口６の接続部分８ａから縦部分
８ｂに周り込み、水平部分８ｃから噴出ロアに接続され
ている。そして、筐体５に直方体の励振袋［９が装着さ
れ、また励振袋＠９には、噴出ロアの対向部分にレンズ
１０を設け、レンズ１０の背後に超音波振動子１１が設
けられている。
このように構成した本実施例の超音波洗浄装置では、筺
体５の注入口６から注入された液体は経路８の接続部分
８ａから縦部分８ｂを通り、水平部分８ｃに送られ、噴
出ロアに達すると、励振装置９の超音波振動子１１で発
生した超音波はレンズ１０から液体中に照射され、それ
によって噴出口から液体と共に超音波が噴出される。こ
こで、超音波によって発生した気泡は経路８の水平部分
８Ｃを流れる液体によって溜まることなく排出される。
体５の注入口６から注入された液体は経路８の接続部分
８ａから縦部分８ｂを通り、水平部分８ｃに送られ、噴
出ロアに達すると、励振装置９の超音波振動子１１で発
生した超音波はレンズ１０から液体中に照射され、それ
によって噴出口から液体と共に超音波が噴出される。こ
こで、超音波によって発生した気泡は経路８の水平部分
８Ｃを流れる液体によって溜まることなく排出される。
第４図を参照すると１本発明の他の実施例の超音波洗浄
装置では、筐体５に液体の注入口６及び注入口６と噴出
ロアを接続する経路８をテフロンで構成するか、テフロ
ンコーティングする。さらに、噴出ロアの一部７ａを水
晶とし、さらにレンズ１０を水晶で構成する。
装置では、筐体５に液体の注入口６及び注入口６と噴出
ロアを接続する経路８をテフロンで構成するか、テフロ
ンコーティングする。さらに、噴出ロアの一部７ａを水
晶とし、さらにレンズ１０を水晶で構成する。
第５図を参照すると、本発明の実施例の励振装置９では
、超音波振動子１１にステンレス、タンタルまたは水晶
のような部材からなる平板のレンズ１２が固着され、超
音波振動子１１には電極１１ａ、回り込み電極１１ｂ、
モニター電極ｌｉｅが設けられている。
、超音波振動子１１にステンレス、タンタルまたは水晶
のような部材からなる平板のレンズ１２が固着され、超
音波振動子１１には電極１１ａ、回り込み電極１１ｂ、
モニター電極ｌｉｅが設けられている。
この実施例では、超音波が平行に発生するが、噴出ロア
の内側が傾斜していることにより１発生した超音波は傾
斜面によって絞られて噴出ロアより放出される。
の内側が傾斜していることにより１発生した超音波は傾
斜面によって絞られて噴出ロアより放出される。
第６図を参照すると、励振装置９は超音波振動子１１が
固着された平板レンズ１２の放射面の側部に傾斜した傾
斜面１３が設けられている。この傾斜面１３は円筒の一
部でもよい。
固着された平板レンズ１２の放射面の側部に傾斜した傾
斜面１３が設けられている。この傾斜面１３は円筒の一
部でもよい。
この実施例では、発生した超音波は広い範囲で焦点を結
ぶので、さらに噴出ロアの傾斜面により絞られて液体と
共に放出される。
ぶので、さらに噴出ロアの傾斜面により絞られて液体と
共に放出される。
第７図を参照すると、円板状のレンズ１４に円板状の振
動子１５が固着され１円板状のレンズ１４の周囲に傾斜
部１６が設けられている。
動子１５が固着され１円板状のレンズ１４の周囲に傾斜
部１６が設けられている。
この実施例では、第１図の励振装置９の装着部及び噴出
口も円形に構成される。
口も円形に構成される。
第８図を参照すると、本発明の他の実施例では、平板レ
ンズ１２の背後に超音波振動子１１が固着され、この超
音波振動子１１にモニター用のリード線１７及び駆動用
のリード線１８が設けられ、また超音波振動子１１を囲
むように筐体１９が設けられ、さらに筐体１９に空気流
入口２０．空気排出口２１が設けられている。
ンズ１２の背後に超音波振動子１１が固着され、この超
音波振動子１１にモニター用のリード線１７及び駆動用
のリード線１８が設けられ、また超音波振動子１１を囲
むように筐体１９が設けられ、さらに筐体１９に空気流
入口２０．空気排出口２１が設けられている。
この実施例では、空気流入口２０より空気を流入し、空
気排出口２１より空気を排出することにより超音波振動
子１１を強制空冷することができる。
気排出口２１より空気を排出することにより超音波振動
子１１を強制空冷することができる。
［発明の効果］
本発明は、以上のように構成されているので。
筐体の経路に気泡が溜まることなく排出され、また励振
装置に空気を送ることにより超音波振動子を強制空冷す
ることができるという利点がある。
装置に空気を送ることにより超音波振動子を強制空冷す
ることができるという利点がある。
第１−図は本考案の１実施例の超音波洗浄装置のｉｐ面
図、第２図は第１図の装置のＡ−Ａ断面図、第３図は第
１図の裏面図、第４図は本考案の他の実施例の超音波洗
浄装置の平面図、第５図は本発明の他の実施例の励振装
置の一部の側面図及び平面図、第６図は本発明のさらに
他の実施例の励振装置の一部の側面図及び平面図、第７
図は本発明のまた他の実施例の励振装置の一部の側面図
及び平面図、第８図は本発明の他の実施例の励振装置の
側面図、第９図は従来の超音波洗浄装置の側面断面図で
ある。 ５・・・筐体、６・・・注入口、７・・・噴出口、８・
・・経路、９・・・励振装置、ｌＯ・・・レンズ、１１
・・・超音波振動子７１２・・・平板のレンズ、１３・
・・傾斜面、１４・・・円板状のレンズ、１５・・・円
板状の振動子、１６・・・円形の傾斜部、１７・・・モ
ニター用のリード線、１８・・°駆動用のリード線、１
９・・・筐体、２０・・・空気流入口、２１・・・空気
排出口。 第１図 第３図
図、第２図は第１図の装置のＡ−Ａ断面図、第３図は第
１図の裏面図、第４図は本考案の他の実施例の超音波洗
浄装置の平面図、第５図は本発明の他の実施例の励振装
置の一部の側面図及び平面図、第６図は本発明のさらに
他の実施例の励振装置の一部の側面図及び平面図、第７
図は本発明のまた他の実施例の励振装置の一部の側面図
及び平面図、第８図は本発明の他の実施例の励振装置の
側面図、第９図は従来の超音波洗浄装置の側面断面図で
ある。 ５・・・筐体、６・・・注入口、７・・・噴出口、８・
・・経路、９・・・励振装置、ｌＯ・・・レンズ、１１
・・・超音波振動子７１２・・・平板のレンズ、１３・
・・傾斜面、１４・・・円板状のレンズ、１５・・・円
板状の振動子、１６・・・円形の傾斜部、１７・・・モ
ニター用のリード線、１８・・°駆動用のリード線、１
９・・・筐体、２０・・・空気流入口、２１・・・空気
排出口。 第１図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、液体の注入口と噴出口とを有し、前記注入口に注入
された液体の流れ方向を９０°以上変更して噴出口に導
びく経路を設けた筐体を設け前記噴出口に対向して超音
波振動を発生する励振手段及び前記超音波振動を放射す
るレンズを前記筐体に設けたことを特徴とする超音波洗
浄装置。 ２、前記レンズは超音波振動を前記液中へ放射する面が
平面または中央部分が平面で、円形周囲に球面の一部ま
たは平行部分に円筒の一部を設けるか、前記中央部分が
平面で、円形周囲に傾斜部または平行部に平行傾斜部を
設けたことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置
。 ３、前記レンズはステンレス、タンタルまたは水晶から
なることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。 ４、前記励振手段の振動子を冷却する送風手段を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。 ５、前記レンズが水晶で、筐体の液体に接する部にテフ
ロンを設け、かつ噴出口の一部を水晶とすることを特徴
とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164570A JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164570A JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212202A true JPH0212202A (ja) | 1990-01-17 |
| JP2759127B2 JP2759127B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=15795681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164570A Expired - Fee Related JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759127B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09192618A (ja) * | 1996-01-17 | 1997-07-29 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
| JP2010005582A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Toray Eng Co Ltd | マイクロ流路の閉塞防止装置及び閉塞防止方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS41128Y1 (ja) * | 1964-06-29 | 1966-01-07 | ||
| JPS51162675U (ja) * | 1975-06-18 | 1976-12-24 | ||
| JPS54110175U (ja) * | 1978-01-23 | 1979-08-02 | ||
| JPS5946824A (ja) * | 1982-09-11 | 1984-03-16 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面弾性波の音速測定法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63164570A patent/JP2759127B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS41128Y1 (ja) * | 1964-06-29 | 1966-01-07 | ||
| JPS51162675U (ja) * | 1975-06-18 | 1976-12-24 | ||
| JPS54110175U (ja) * | 1978-01-23 | 1979-08-02 | ||
| JPS5946824A (ja) * | 1982-09-11 | 1984-03-16 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面弾性波の音速測定法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09192618A (ja) * | 1996-01-17 | 1997-07-29 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
| JP2010005582A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Toray Eng Co Ltd | マイクロ流路の閉塞防止装置及び閉塞防止方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2759127B2 (ja) | 1998-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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