JPH02122540A - ウェハ容器搬送用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ 拡散炉、ＣＶＤ炉中にウェハを収容した容器を搬入ある
いは搬出するための治具に関し、簡単なＷ４造で大気の
巻込みによる障害を防止することを目的とし、 ウェハ容器を覆うと同時に吊下支持可能とする本体に柄
を設け、その柄には本体内に不活性ガスを送るガス噴出
孔を備えた構成とする。

［産業上の利用分野］ この発明は拡散炉、ＣＶＤ炉中にウェハを収容した容器
を搬入あるいは搬出するための治具に間するものである
。

拡散炉やＣＶＤ炉ではその炉にウェハを搬入する際ある
いは炉からウェハを搬出する際には、炉内の高熱のガス
が炉外へ流出すると同時に炉外の大気が炉内へ吸い込ま
れて、いわゆる大気の巻込みが発生する。そして、ウェ
ハがこのような大気及び高熱ガスの流れの中に晒される
と、そのウェハに不要な酸化膜が形成され、この酸化膜
はそのウェハから製造されるチップの歩留りを低下させ
る原因となっている。

〔従来の技術〕

拡散炉やＣＶＤ炉ではウェハの搬入あるいは搬出時に取
り入れ孔付近に大気の巻込みが発生し、その巻込みに起
因してウェハに不要な酸化膜が生成される。そこで、こ
のような酸化膜の生成を防止するために、炉の取り入れ
孔に連なる独立した部屋に不活性ガスを満たすことによ
り大気の巻込みを防止するロードロック機構や、ウェハ
の容器を搬送するフォーク自身を不活性ガスで満たした
チャンバーとし、ウェハを収容した容器をそのチャンバ
ーで覆うことにより同ウェハが大気に晒されないように
したアトモスキャン等が提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記のようなロードロック機構又はアトモス
キャンを拡散炉あるいはＣＶＤ炉に備えると、各装置が
複雑かつ大型化するという問題点があった。この発明の
目的は、装置を大型化かつ複雑化させることなく簡単な
４１１遣で大気の巻込みによる障害を防止することを可
能としたウェハ搬送装置を提供するにある。

［課題を解決するための手段］ 第１図は本発明の治具を示す原理説明図である。

すなわち、本体５はウェハ容器１を覆うと同時に吊下支
持可能であり、その本体５には柄６が設けられている。

そして、その柄６には本体５内に不活性ガスを送るガス
噴出孔８が設けられている。

［作用コ 容器１を炉に対し搬入及び搬出する際にはつエバ２が不
活性ガス雰囲気中で容器１に支持され、大気の巻込みか
らは隔離される。

［実施例］ 以下、この発明を具体化した一実施例を第２図〜第５図
に従って説明すると、第２図に示すようにウェハ２を収
容する容器１は石英で前後両端を閉じた半円筒状に形成
され、その中に多数枚のウェハ２を収容可能となってい
る。そして、容器１の両側縁には側方に突出する係止片
３が形成されている。

この容器１を拡散炉やＣＶＤ炉に搬送するための治具４
は本体５の後端に柄６が形成されている。

その本体５は後端を閉じた半円筒状に形成され、その両
側縁には内側に突出する吊下片７が形成されている。そ
して、第４図に示すように本体５にはその先端部から前
記容器１の係止片３を挿入可能であり、その状態で治具
４を引上げれば第５図に示すように容器１上部が本体５
に覆われた状態で治具４に吊下支持されるようになって
いる。

第３図に示すように、柄６の内部にはその先端から本体
５に連通ずるガス噴出孔８が形成され、柄６先端には屈
曲自在な送気管９が連結されている。そして、ガス供給
装置（図示しない）から送気管９及び噴出孔８を介して
Ｎ２、Ａｒ等の不活性ガスが本体５と容器１とで覆われ
る空間Ｓに噴出されるとともに、この治具４はその柄６
が搬送アーム（図示しない）に把持されて往復動作する
ようになっている。

さて、上記のような治具４を使用して容器１を拡散炉あ
るいはＣＶＤ炉に対し搬入する場合には、搬送アームを
駆動することにより、ウェハ２を収容した容器１に対し
治具４を前進させて、第４図に示すように同容器１両側
の係止片３を治具４内に位置させた状態で治具４を持上
げると、第３図及び第５図に示すように係止片３が吊下
片７に係合して容器１が治具４に吊下支持され、容器１
上部はその先端側を除いて治具４の本体５で覆われる。

そして、ガス噴出孔８から不活性ガスを噴出して容器１
と本体５とで覆われる空間Ｓをその不活性ガスで充満さ
せるとともにその不活性ガスが本体５先端部から本体５
外へ流れる状態とし、この状態で容器１を炉内に搬入し
て所定位置で降ろし、治具４を炉内から引抜く。

また、容器１を炉内から搬出する場合には治具４を炉内
に前進させ、治具４の吊下片７を容器１の係止片３に係
合させて容器１を吊下支持し、ガス噴出孔８から不活性
ガスを流しながら炉外へ搬出する。

上記のようｆｔＭＩｋ人及び搬出動作の際には炉の取入
れ孔付近に大気の巻込みが発生するが、容器１及び治具
４で覆われた空間Ｓは不活性ガスで充満されていてその
空間Ｓには高熱ガス及び大気の流入が阻止される。従っ
て、ウェハ１は炉への搬入あるいは炉からの搬出時には
常に不活性ガス雰囲気中で容器１に支持されるので、同
ウェハ１への不要な酸化膜の付着が未然に防止される。

［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明は炉に対するウェハの搬
入及び搬出に際して発生する大気の巻込みからウェハを
隔離してその歩留りを向上させ得るウェハ容器搬送用治
具を簡単な構成で実現することができる優れた効果を発
揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の原理説明図、第２図はこの発明を具
体化した治具及び容器の斜視図、第３図は容器を吊下支
持した治具の縦断面図、第４図及び第５図は治具で容器
を吊下げる過程を示す側面図である。図中、１は容器、
２はウェハ、４は治具、６は柄、８はガス噴出孔である
。 代　理　人　　　弁理士　　　井桁　貞−第１図 この発明の原理説［ｌＩ１図 一 ／

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ウェハ容器（１）を覆うと同時に吊下支持可能とす
   る本体（５）に柄（６）を設け、その柄（６）には本体
   （５）内に不活性ガスを送るガス噴出孔（８）を備えた
   ことを特徴とするウェハ容器搬送用治具。