JPH02123807A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH02123807A JPH02123807A JP63276695A JP27669588A JPH02123807A JP H02123807 A JPH02123807 A JP H02123807A JP 63276695 A JP63276695 A JP 63276695A JP 27669588 A JP27669588 A JP 27669588A JP H02123807 A JPH02123807 A JP H02123807A
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- JP
- Japan
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- case
- crystal resonator
- glass
- cover
- vacuum
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
る。
従来の技術
近年、水晶振動子はＶＴＲ１時計、通信機、電話機など
のほとんどすべての電気製品に用いられている。第１図
に従来の水晶振動子の分解斜視図、また第２図に水晶振
動子の水晶板の周りの分解斜視図を示す。１は水晶板で
あり、その表裏両面には金属蒸着膜より成る励振用電極
２ ａｌ ２ ｂを有し、これらの電極に接続するリ
ード線３ａ＋ ３ｂを導電性接着剤により固着してい
る。４は水晶板１を納める箱型のケース、５はその開口
を封じる蓋であり、ケースと蓋との接合面にはあらかじ
め封着用組成物６を塗着しである。
のほとんどすべての電気製品に用いられている。第１図
に従来の水晶振動子の分解斜視図、また第２図に水晶振
動子の水晶板の周りの分解斜視図を示す。１は水晶板で
あり、その表裏両面には金属蒸着膜より成る励振用電極
２ ａｌ ２ ｂを有し、これらの電極に接続するリ
ード線３ａ＋ ３ｂを導電性接着剤により固着してい
る。４は水晶板１を納める箱型のケース、５はその開口
を封じる蓋であり、ケースと蓋との接合面にはあらかじ
め封着用組成物６を塗着しである。
水晶板１をケース４に納め、リード線３ａ、３ｂを第２
図のようにケース外に引き出した状態で蓋５をかぶせ、
真空加熱炉内で封着用組成物を軟剤、バインダーととも
に混合してペースト状にして用いられる。
図のようにケース外に引き出した状態で蓋５をかぶせ、
真空加熱炉内で封着用組成物を軟剤、バインダーととも
に混合してペースト状にして用いられる。
発明が解決しようとする課題
従来のようにして構成された水晶振動子はしばしば振動
数の大幅な変化（ΔＦ）を生じることがあり、この傾向
は特に高い振動数の水晶振動子（たとえば２０ＭＨｚ、
３０ＭＨｚの振動子）に顕著で、しばしばΔＦ−が±２
０ｐｐｍを逸脱することがあった。この原、因は明確で
はないが、水晶板上に導電性接着剤や封着用組成物の揮
発物が付着したり、水晶板に応力がかかったりすること
が考えられている。
数の大幅な変化（ΔＦ）を生じることがあり、この傾向
は特に高い振動数の水晶振動子（たとえば２０ＭＨｚ、
３０ＭＨｚの振動子）に顕著で、しばしばΔＦ−が±２
０ｐｐｍを逸脱することがあった。この原、因は明確で
はないが、水晶板上に導電性接着剤や封着用組成物の揮
発物が付着したり、水晶板に応力がかかったりすること
が考えられている。
そこで封着後、振動数が調整できれば上記課題が解決で
きると考えられる。すなわち一方法として、蓋として内
側に金属コート膜を施した透明ガラス製蓋を用い、封着
後蓋を通してレーザにより金属コート膜を蒸発させ、振
動数の微調整を行うという方法が挙げられる。このため
にはケース内を１０−’Ｔｏｒｒ以下の真空状態にして
おく必要があるが、従来真空中で封着すると封着用組成
物に非常に多くの気泡を生じ、その結果封着部の厚みが
薄くなって封着が不完全になることがしばしばあった。
きると考えられる。すなわち一方法として、蓋として内
側に金属コート膜を施した透明ガラス製蓋を用い、封着
後蓋を通してレーザにより金属コート膜を蒸発させ、振
動数の微調整を行うという方法が挙げられる。このため
にはケース内を１０−’Ｔｏｒｒ以下の真空状態にして
おく必要があるが、従来真空中で封着すると封着用組成
物に非常に多くの気泡を生じ、その結果封着部の厚みが
薄くなって封着が不完全になることがしばしばあった。
この気泡が生じるのは、真空状態におかれたことによっ
て、封着用組成物中のガラス粉末やバインダ中に含まれ
ている空気が出てくることによるものである。
て、封着用組成物中のガラス粉末やバインダ中に含まれ
ている空気が出てくることによるものである。
特に、従来の封着用組成物用ガラス粉末は主としてはう
けい酸鉛系ガラス、あるいはほうけい酸鉛タリウム系ガ
ラス、あるいはこれらにセラミック粉末を混合したもの
が多かったが、これらのガラスはガラスが易流動化する
温度である作業温度における流動性に乏しいため空気が
抜けにくかったり、ガラス中のタリウムが揮発して水晶
板に付着しΔＦを大きくする等の問題点を有していた。
けい酸鉛系ガラス、あるいはほうけい酸鉛タリウム系ガ
ラス、あるいはこれらにセラミック粉末を混合したもの
が多かったが、これらのガラスはガラスが易流動化する
温度である作業温度における流動性に乏しいため空気が
抜けにくかったり、ガラス中のタリウムが揮発して水晶
板に付着しΔＦを大きくする等の問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、封着が完全で気密性の高い
水晶振動子の製造方法を提供するものである。
水晶振動子の製造方法を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明では、ケースと蓋を
、それらの接合面に介在させた低軟化点ガラスより成る
シートを軟化させることにより封着するものである。
、それらの接合面に介在させた低軟化点ガラスより成る
シートを軟化させることにより封着するものである。
作用
本発明は、上述の構成とすることにより、中に気泡を殆
ど含まないガラスシートを軟化させて封着を行なうため
、水晶振動子内部を高い真空に保つことが可能となり、
金属コート膜を水晶振動子内部で蒸発させる等の方法に
より、封着後に水晶振動子の振動数の微調整を行なうこ
とができる。
ど含まないガラスシートを軟化させて封着を行なうため
、水晶振動子内部を高い真空に保つことが可能となり、
金属コート膜を水晶振動子内部で蒸発させる等の方法に
より、封着後に水晶振動子の振動数の微調整を行なうこ
とができる。
実施例
以下、本発明の実施例について説明する。但し、３０〜
２５０℃における熱膨張係数の平均値を以下αと略す。
２５０℃における熱膨張係数の平均値を以下αと略す。
実施例１
ここで構成した水晶振動子の構造は従来例と同じである
。但し、リード線３ａ、３ｂには５０合金（α：９５Ｘ
１０−７／’Ｃ） 、 ケース４にはフォルステラ
イト（α＝ １００Ｘ １０−７／’Ｃ）、蓋５として
ソーダガラス（α：９３ＸＩＯ−７／”Ｃ）をそれぞれ
用いた。
。但し、リード線３ａ、３ｂには５０合金（α：９５Ｘ
１０−７／’Ｃ） 、 ケース４にはフォルステラ
イト（α＝ １００Ｘ １０−７／’Ｃ）、蓋５として
ソーダガラス（α：９３ＸＩＯ−７／”Ｃ）をそれぞれ
用いた。
また、ガラスシート６として、シロット日本（株）製の
一酸化鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末
ＧＯＩ７−３４０ （２０〜２５０℃における熱膨張
係数： ７０Ｘ １０−７／”Ｃ１軟化点３８０℃）を
加工して用いた。すなわち上記のガラス粉末を白金ルツ
ボにて９００℃で溶融し、厚さ０．２ｍｍの板に成形し
、徐冷した後、超音波加工機（日本電子工業（株）製）
により、ケース４の大きさの長方形の枠型のガラスシー
トに加工して使用した。
一酸化鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末
ＧＯＩ７−３４０ （２０〜２５０℃における熱膨張
係数： ７０Ｘ １０−７／”Ｃ１軟化点３８０℃）を
加工して用いた。すなわち上記のガラス粉末を白金ルツ
ボにて９００℃で溶融し、厚さ０．２ｍｍの板に成形し
、徐冷した後、超音波加工機（日本電子工業（株）製）
により、ケース４の大きさの長方形の枠型のガラスシー
トに加工して使用した。
本実施例の水晶振動子の製造方法は以下の通りである。
まず水晶板１の表裏両面に励振用電極２ａ、２ｂとして
銀を蒸着し、これらに導電性接着剤を用いてリード線３
ａ、３ｂの保持部７に固着させる。これらをケース４に
納め、ケース４の縁に前記ガラスシート６を置き、４２
０℃まで加熱してリード線３ ａｔ ３ ｂを仮接着
する。一方蓋５は周囲の縁にガラスシート６を置き、４
２０℃まで加熱して仮接着する。次に、前記ケース４と
蓋５とを対向させて真空加熱炉に設置し、真空度ｌ０−
６Ｔｏｒｒまで排気することにより、ケース４内部の空
気を、ケース４と蓋５の隙間より排気させる。さらに真
空に保ったまま４３０℃まで加熱し、ガラスシート６を
軟化させて封着を完了する。封打完了後、封着部を観察
したところ、気泡は認められなかった。また、Ｈｅリー
クテストにより水晶振動子の気密性を確認したところ、
リーク量は５Ｘ １Ｇ−１ａｔｍ 、ｃｃ／ｓｅｃ以下
であり、リークはなく、気密性は充分であると判断した
。
銀を蒸着し、これらに導電性接着剤を用いてリード線３
ａ、３ｂの保持部７に固着させる。これらをケース４に
納め、ケース４の縁に前記ガラスシート６を置き、４２
０℃まで加熱してリード線３ ａｔ ３ ｂを仮接着
する。一方蓋５は周囲の縁にガラスシート６を置き、４
２０℃まで加熱して仮接着する。次に、前記ケース４と
蓋５とを対向させて真空加熱炉に設置し、真空度ｌ０−
６Ｔｏｒｒまで排気することにより、ケース４内部の空
気を、ケース４と蓋５の隙間より排気させる。さらに真
空に保ったまま４３０℃まで加熱し、ガラスシート６を
軟化させて封着を完了する。封打完了後、封着部を観察
したところ、気泡は認められなかった。また、Ｈｅリー
クテストにより水晶振動子の気密性を確認したところ、
リーク量は５Ｘ １Ｇ−１ａｔｍ 、ｃｃ／ｓｅｃ以下
であり、リークはなく、気密性は充分であると判断した
。
実施例２
ガラスシート６として、日本電気硝子（株）製の一酸化
鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末ＬＳ−
０８０２（α＝ １８×１０−７／”Ｃ１軟化点３８０
℃）を用い、これ以外は実施例１と同様にして水晶振動
子を作成した。Ｈｅリークテストにより水晶振動子の気
密性を確認したところ、リークは認められなかった。
鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末ＬＳ−
０８０２（α＝ １８×１０−７／”Ｃ１軟化点３８０
℃）を用い、これ以外は実施例１と同様にして水晶振動
子を作成した。Ｈｅリークテストにより水晶振動子の気
密性を確認したところ、リークは認められなかった。
実施例３
リード線３ａ＋３ｂとして４２６合金（α＝８０Ｘ １
０−”／”Ｃ） 、ケース４としてアルミナ （α＝７
０Ｘ １０−’／’Ｃ） 、 蓋５として実施例１と
は別種のソーダガラス（α＝ ８０Ｘ １０−７／”Ｃ
）を用い、 ガラスシート６として、日本電気硝子（株
）製の一酸化鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラ
ス粉末ＬＳ−２００１Ｂ （α＝８７．５Ｘ皿０−７／
”Ｃ１軟化点３８０℃）を用いた。これら以外は実施例
１と同様にして水晶振動子を作成した。Ｈｅリークテス
トにより水晶振動子の気密性を確認したところ、リーク
は認められず、気密性は充分であることが確認された。
０−”／”Ｃ） 、ケース４としてアルミナ （α＝７
０Ｘ １０−’／’Ｃ） 、 蓋５として実施例１と
は別種のソーダガラス（α＝ ８０Ｘ １０−７／”Ｃ
）を用い、 ガラスシート６として、日本電気硝子（株
）製の一酸化鉛と三酸化ニホウ素とを主成分とするガラ
ス粉末ＬＳ−２００１Ｂ （α＝８７．５Ｘ皿０−７／
”Ｃ１軟化点３８０℃）を用いた。これら以外は実施例
１と同様にして水晶振動子を作成した。Ｈｅリークテス
トにより水晶振動子の気密性を確認したところ、リーク
は認められず、気密性は充分であることが確認された。
なお、蓋５としてソーダガラスの代わりに、はうけい酸
ガラス（α＝ ＄５Ｘ ｔｏ−ｖ／’Ｃ）を使用しても
同様な効果が得られる。
ガラス（α＝ ＄５Ｘ ｔｏ−ｖ／’Ｃ）を使用しても
同様な効果が得られる。
実施例４
ガラスシートとして、日本電気硝子（株）製の一酸化鉛
と二酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末ＬＳ−０
８０３（α＝ ８７．５Ｘ １Ｇ−７／”Ｃ１軟化点３
５０℃）を用い、これ以外は実施例１と同様にして水晶
振動子を作成した。Ｈｅリークテストにより水晶振動子
の気密性を確認したところ、リークは認められなかった
。
と二酸化ニホウ素とを主成分とするガラス粉末ＬＳ−０
８０３（α＝ ８７．５Ｘ １Ｇ−７／”Ｃ１軟化点３
５０℃）を用い、これ以外は実施例１と同様にして水晶
振動子を作成した。Ｈｅリークテストにより水晶振動子
の気密性を確認したところ、リークは認められなかった
。
比較例
実施例１と同様に一対の励振用電極及びリード線を設け
た水晶板１をケース４に納める。次にケース４の縁に、
ガラス粉末ＬＳ−２００１Ｂ １００重量部、アクリル
樹脂１重量部及びターピネオール１０重量部よりなるペ
ーストを塗布し、４２０℃まで加熱してリード線３ａｓ
３ｂを仮接着する。一方、蓋５は周囲の縁に前記と同様
のペーストを塗布し、４２θ°Ｃまで加熱して仮接着す
る。次に、前記ケース４と蓋５とを対向させて、真空加
熱炉中に設置し、真空度１０−’ＴｏｒｒまでｊＪＶ気
する。しかるのち４３０℃まで加熱し、封着を完了する
。封着完了後、封着部を観察したところ、多数の気泡が
認められた。また、Ｈｅリークテストにより水晶振動子
の気密性を確認したところ、リークが発生し、気密性が
不充分であることが確認された。
た水晶板１をケース４に納める。次にケース４の縁に、
ガラス粉末ＬＳ−２００１Ｂ １００重量部、アクリル
樹脂１重量部及びターピネオール１０重量部よりなるペ
ーストを塗布し、４２０℃まで加熱してリード線３ａｓ
３ｂを仮接着する。一方、蓋５は周囲の縁に前記と同様
のペーストを塗布し、４２θ°Ｃまで加熱して仮接着す
る。次に、前記ケース４と蓋５とを対向させて、真空加
熱炉中に設置し、真空度１０−’ＴｏｒｒまでｊＪＶ気
する。しかるのち４３０℃まで加熱し、封着を完了する
。封着完了後、封着部を観察したところ、多数の気泡が
認められた。また、Ｈｅリークテストにより水晶振動子
の気密性を確認したところ、リークが発生し、気密性が
不充分であることが確認された。
発明の効果
以上のように本発明によれば、封着部の気密性に優れた
水晶振動子を得ることができる。従って、真空中での封
着後、予め内部に設けておいた金属コート膜を蒸発させ
る等の方法により、封着後に水晶振動子の振動数の微調
整を行なうことが可能である。
水晶振動子を得ることができる。従って、真空中での封
着後、予め内部に設けておいた金属コート膜を蒸発させ
る等の方法により、封着後に水晶振動子の振動数の微調
整を行なうことが可能である。
第１図は本発明の実施例に用いた水晶振動子の分解斜視
図、第２図はその水晶板の周りの分解斜視図である。 ｌ・・・水晶板、２ａ＋２ｂ・・・励振用電極、３ ａ
ｌ ３ ｂ・・・リード線、 ４・・・ケース、５・
・・蓋、６・・φガラスシート、７・・・保持部。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか１名ｒ−−一水
Ｂ抜 ２α−−−１力猥ｙＲｔａ ４−ｍ−り−ス ７−一一水昌板 ２ａ−−一励猥肩電む直） ｅ６−−−Ｈ３：眼肩電拉（！Ｋ） ３α−ｍ−す−ド譚 ３（、−−−リーＦ′諌 ７−−−保ｊ＃部
図、第２図はその水晶板の周りの分解斜視図である。 ｌ・・・水晶板、２ａ＋２ｂ・・・励振用電極、３ ａ
ｌ ３ ｂ・・・リード線、 ４・・・ケース、５・
・・蓋、６・・φガラスシート、７・・・保持部。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか１名ｒ−−一水
Ｂ抜 ２α−−−１力猥ｙＲｔａ ４−ｍ−り−ス ７−一一水昌板 ２ａ−−一励猥肩電む直） ｅ６−−−Ｈ３：眼肩電拉（！Ｋ） ３α−ｍ−す−ド譚 ３（、−−−リーＦ′諌 ７−−−保ｊ＃部
Claims (2)
- （１）一対の励振用電極及び各電極に接続したリード線
を備える水晶板をケース内に入れ、前記ケースと蓋との
接合面に低軟化点ガラスより成るシートを介在させ、前
記シートを軟化させて前記蓋とケースを接合することを
特徴とする水晶振動子の製造法。 - （２）ガラスシートを構成する低軟化点ガラスが少なく
とも一酸化鉛と三酸化ニホウ素とを含有してなり、その
軟化点が３８０℃以下である請求項１に記載の水晶振動
子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63276695A JPH02123807A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63276695A JPH02123807A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02123807A true JPH02123807A (ja) | 1990-05-11 |
Family
ID=17573037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63276695A Pending JPH02123807A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02123807A (ja) |
-
1988
- 1988-11-01 JP JP63276695A patent/JPH02123807A/ja active Pending
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