JPH0242749A - 封口方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は水晶振動子など真空封着が必要な電子部品にお
ける真空気密容器の封口方法に関する。

従来の技術 最近の電子部品の小型化、高、性能化にともない真空封
着が必要な、あるいは有効なデバイスが増加している。

以下では従来技術の０例として水晶振動子を取り上げて
説寺明する。

近年、水晶振動子はＶＴＲ１時計、通信機、電話機など
のほとんどすべての電気製品に用いられている。第１図
に従来の水晶振、動子の・横、成また第多回に水晶板２
の周りの拡大図を示す。１はり−ド線、２は水晶、板、
３はケース、４は上蓋、５は導電性接着剤、８は封１着
ガラスよりなる耐着部分である。ここで封着ガラスは一
般、にを機溶剤、バインダーとともにペーストにして用
・いられる。７は２の表裏に蒸着された拳振用、電、、
極を示している。

発明が解決しようとする課題 従来のようにして横、成された水晶振動子はしばしば振
動数の大幅な変化（ΔＦ）を生じることがあり、この類
１向、は特に高い振動数の水晶、振動子（たとえば２０
ＭＨｚ、３０．ＭＨｚの振、動子）に顕著で、しばしば
ΔＦが±２０ｐｐｍを逸、脱することがあった。この原
因は明確ではないが、水晶板２上に５や６の揮発物が付
着したり、水晶板２に応力がかかったりすることが考え
られている。

そこで封口後、振動、数が醐整できれば上記課題が解決
できると考えられる。すなわち上蓋として内側に金属コ
ート膜を施した透、明ガラス４を用い、封口後４を通し
てレーザーにより金属コート膜を蒸発させ、振−動、数
の微調、整を行うものである。このためにはケース内を
１０−’Ｔｏｒｒ以下の真空状態にしておく必要がある
が、従来真空中で封口すると封着部分６に非常に多くの
気泡、を生じ、封口が不完全になることがしばしばあっ
た。これは真空状態におかれたことによって、封着ガラ
スやバインダー中に含まれている空気が出てきたもので
ある。

課題を解決するための手段 本発明は、ケースと上蓋を、封着ガラスで封着したのち
、作業温度が封着ガラスより低いガラ・スフアイバーを
排気用の穴に挿入した後、以下真空中で内部を真空にし
、ガラスファイバーの作業温度まで加熱して穴を閉じる
ことにより、上記問題を解決しようとするものである。

ここで前記穴は封着ガラスよりなる封着部分、または前
記ケース、または前記上蓋に設けられている。

作用 本発明の封口方法によれば、内１部が高い真空度に保た
れ、その結果封口後に振、動、数のＩＩ整の可能な水晶
振動子が得られる。

実施例 〈実施例１〉 ガラスファイバーを挿入するための穴が封着ガラスより
なる封着部分に設けられた場合の実施例を第１図に示す
。なお第１図に於ては簡単のためリード線および内１部
・は省、略した。　１は４２６１合金、　３はアルミナ
ケース、４はほうけい酸ガラス、５はシリコン系導電ペ
ースト、６は作系温度が４・３０℃の封着ガラス１００
部とアクリル樹脂１部とターピネオール１０部よりなる
ペースト、８は作業温度が４・１０℃のガラスファイバ
ー　９は８を挿入する穴である。

ここで４と６と８は、その熱膨張係数が３に近接したも
のを用いた。たとえば封着ガラス６とガラスファイバー
８の組合せは、ＬＳ　−２，００１，Ｂ　（熱、膨張係
数Ｂ７．５Ｘ　ＩＰ？／”Ｃ、軟化点３８０℃、以下間
・様）とＬＳ−０８０３（８７，５Ｘ　１０−？／”Ｃ
，３５０℃）（以上日本電気硝子（株）製）　、Ｔ１５
０（Ｇ９Ｘ　１０−７／”Ｃ，３８２℃）と７．１．８
，７　（、Ｇ　８　Ｘ　１０−７／”Ｃ，３４２°Ｃ）
（以上岩城、硝子（株）製）を、はうけい酸ガラス４は
ＨＤ−８５（熱膨張係数、６５．５Ｘ　１．０−”／”
Ｃ）（日本電気硝子（株）製）を用いた。

まず水晶板２の上に励Ｉ振用電極として銀を蒸着し、こ
れを５を用いて１に固着させた。これらを３に納め、９
を設ける部分を除き、３の縁に６を塗布し４２０℃で１
を仮、接着した。これらと、９を設ける部分を除き周、
囲に６を塗布し４２．０　：Ｃで仮接着した４とを対向
させ、ガラスファイバー８の直径よりやや大きめの穴を
封着部分に残して４，３ｏ、℃で封着した。このとき封
着１部分には気泡等の発生はみられなかった。ここでガ
ラスファイバー８の形状は円柱よりも円錐型あるいは角
形あるいは角錘型がよく、その長さは封着部分の奥行き
に等しいことが望ましい。また穴の形状は必ずしも真円
である必要はない。８を９に軽く挿入し、以下これらを
真空加熱炉に設、置し、真空度１Ｇ−’Ｔｏｒｒまで排
気した。ここでケース内２部の空気は、穴とガラスファ
イバーの隙間より排気された。さらに真空のまま４１０
℃まで加熱し、ガラスファイバーを軟化させて穴を封口
した。こ、のとき封着部分６のゆるみはみられなかった
。Ｈｅリークテストにより振動子の気密性を確認したと
ころ、リークはなかった。

〈実施例２〉 ガラスファイバーを挿入するための穴９がケース３に設
けられている場合を第２図に示す。この場合（ａ）また
は（ｂ）の２通りが可能である。そして穴の形状はたと
えば第３図のような断面、形状であれば、ガラスファイ
バーはその径が穴の小さい方の径よりやや大きめの角１
柱、円柱、球形（ビーズ）などが望ましい。それ以外は
実施５例１と同様にして水晶振動子を組み立てた。Ｈｅ
Ｕ−クチストにより振動子の気密性を確認したところ、
リークはなかった。

〈実施例３〉 ガラスファイバーを挿入するための穴９が上蓋４に設け
られている場合を第４図に示す。この場合も（ａ）また
は（ｂ）の２通りが可１能である。それ以外は実施例１
と同・様にして水晶振動子を組み立てた。Ｈｅ１Ｊ−ク
チストにより振動子の気密性を確認したところ、リーク
はなかった。

〈従来例〉 従来例の封口方法により水晶振動子を組み立てた。すな
わち、まず水晶板２の上に励９振用電極として銀を蒸着
し、５を用いて１に固着させた。これらを３に納め、３
の縁に６を塗布し１を４・２０℃で仮接着した。これら
と、４の周、＠、に６を塗布し４．２０℃で仮接着した
ものとを対向させ、以下これらを真空加熱炉に設置し、
真空度ＬＯ−６Ｔｏｒ、ｒまで排気した。しかるのち４
，３０　：Ｃまで加熱し、封１口を完了した。

このとき封着部分には多数の泡がみられた。Ｈｅリーク
テストにより振２動子の気密、性を確認したところ、リ
ークが発生し、気密性が不十分であることがわかった。

発明の効果 以上のように本発・明の封口方法は気密性に優れたもの
であり、これを用いた水晶振動子は封口後の振動数の微
調、整が可能である。また本封口方法は真空封口が必要
なあらゆる製３品、特に電子部品等に適用範囲が広い。

工程図、第５図〜第６図は従来例、の封口方法による水
晶振動子の構・成１図である。

１・・リード線、　２・・水晶板、　３・・ケース、　
４・・上蓋、５・・導電、外接着剤、６・・封着部分、
７・・励振用電極、８・・ガラスファイバー　９・・穴
。

代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１８第 １図 第４図 ＼ ３ｕ：は４ （ａ） 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケースと上蓋を、封着部分に設けられた穴を除い
   て封着ガラスで封着したのち、封着ガラス以下の作業温
   度を有するガラスファイバーを前記穴に挿入した後、以
   下真空中で内部を排気し、前記ガラスファイバーの作業
   温度まで加熱して穴を閉じることを特徴とする封口方法
   。
2. （２）穴が設けられたケースまたは上蓋を封着ガラスで
   封着したのち、封着ガラス以下の作業温度を有するガラ
   スファイバーを前記穴に挿入した後、以下真空中で内部
   を排気し、前記ガラスファイバーの作業温度まで加熱し
   て穴を閉じることを特徴とする封口方法。