JPH02124135U - - Google Patents

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JPH02124135U
JPH02124135U JP3268389U JP3268389U JPH02124135U JP H02124135 U JPH02124135 U JP H02124135U JP 3268389 U JP3268389 U JP 3268389U JP 3268389 U JP3268389 U JP 3268389U JP H02124135 U JPH02124135 U JP H02124135U
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JP
Japan
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radiation
stamper
glass plate
substrate
resin
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JP3268389U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で、
第１図はガラス板のズレを防止するためのストツ
パをスタンパ上面の周縁部に、また第２図はスタ
ンパの外周側面に取り付けた例、第３図はスタン
パを固定するためのテーブル上面に取り付けた溝
付基板製造用装置の例であり、それぞれａは上面
図で、ｂは側面の断面図である。また、第４図は
従来の溝付基板製造装置の構成を示す図で、第５
図は従来のガラス板のズレ防止方法の一例を示す
図である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 微細な溝を有したスタンパ表面に放射線硬
    化樹脂を塗布し、その上に透明なプラスチツク又
    はガラス製の円形基板を載置し、更に該基板の上
    面に放射線硬化樹脂を塗布し、次いで前記基板の
    寸法と同じか、または大きな径を有するガラス板
    を載置し、押圧して放射線硬化樹脂を一様に圧延
    すると共に、ガラス板を通して放射線を照射し、
    樹脂を硬化させてスタンパ表面の溝を転写させる
    溝付基板の製造装置において、前記ガラス板のズ
    レを防止するために、スタンパの上面周縁部もし
    くは外周側面に少なくとも３個のストツパを取り
    付けた事を特長とする溝付基板製造用スタンパ。 (2) 請求項(1)記載のガラス板のズレ防止用スト
    ツパが、スタンパを固定するためのテーブル上面
    の、前記ガラス板を取り囲む位置に取り付けられ
    ていることを特徴とする溝付基板製造用装置。
JP3268389U 1989-03-24 1989-03-24 Pending JPH02124135U (ja)

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JP3268389U JPH02124135U (ja) 1989-03-24 1989-03-24

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JPH02124135U true JPH02124135U (ja) 1990-10-12

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ID=31535798

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