JPH02124424A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- JPH02124424A JPH02124424A JP24467789A JP24467789A JPH02124424A JP H02124424 A JPH02124424 A JP H02124424A JP 24467789 A JP24467789 A JP 24467789A JP 24467789 A JP24467789 A JP 24467789A JP H02124424 A JPH02124424 A JP H02124424A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はけ歪現象を用いて物体のR械的変位や液面の変
位などを検出する変位検出装置に関するものである。
位などを検出する変位検出装置に関するものである。
従来、物体の機械的変位や液面の変位などを検出する変
位検出装置としては差動変圧器やポテンン式メータ、静
電容量式変位検出器など種々のものが知られており、そ
の中でも磁歪現象を応用した変位検出器が特に線形性、
分解能に優れている。
位検出装置としては差動変圧器やポテンン式メータ、静
電容量式変位検出器など種々のものが知られており、そ
の中でも磁歪現象を応用した変位検出器が特に線形性、
分解能に優れている。
この種の磁歪式変位検出装置として、米国特許第3,8
98.555号公報に記載のように、円管状の磁歪綿の
中心に導線を挿通するとともに、磁歪綿の外側に移動可
能な永久ぢ2石を配置したものが知られている。そして
、導線に電流パルスを流すことにより永久磁石の近接す
る磁歪線の近接する部位で捩り歪を発生させ、この涙り
歪を磁歪線の一端部に設けた歪検出装置で電気信号に変
換し、捩り歪の化1時間を計測することにより永久磁石
に与えられる機械的変位を検出している。
98.555号公報に記載のように、円管状の磁歪綿の
中心に導線を挿通するとともに、磁歪綿の外側に移動可
能な永久ぢ2石を配置したものが知られている。そして
、導線に電流パルスを流すことにより永久磁石の近接す
る磁歪線の近接する部位で捩り歪を発生させ、この涙り
歪を磁歪線の一端部に設けた歪検出装置で電気信号に変
換し、捩り歪の化1時間を計測することにより永久磁石
に与えられる機械的変位を検出している。
L記の磁歪式変位検出装置を例えば液面検出のように装
置の一端を液中に浸漬して用いる場合、46!l 蔭aの一端に電流パルス供給用導線を接続するとともに
、電流パルスのもどり線を磁歪線と平行に配線する必要
がある6よころが、十分な有効測定長を確保するために
611歪線を長くすると、もどり綿も長くしなければな
らず、磁歪線と干渉せずに配線するのは非常に難しい、
また、この種の変位検出装置は機械の内部や液中等の電
気的ノイズの存在する部位で用いられることが多く、こ
のような外部の電気的ノイズカ書荘歪線に加わると、検
出波形に乱れが出ることになり、精密な変位検出ができ
ないという問題もある。
置の一端を液中に浸漬して用いる場合、46!l 蔭aの一端に電流パルス供給用導線を接続するとともに
、電流パルスのもどり線を磁歪線と平行に配線する必要
がある6よころが、十分な有効測定長を確保するために
611歪線を長くすると、もどり綿も長くしなければな
らず、磁歪線と干渉せずに配線するのは非常に難しい、
また、この種の変位検出装置は機械の内部や液中等の電
気的ノイズの存在する部位で用いられることが多く、こ
のような外部の電気的ノイズカ書荘歪線に加わると、検
出波形に乱れが出ることになり、精密な変位検出ができ
ないという問題もある。
そこで、本発明の目的は、上記の問題点を解消した変位
検出装置を提供することにある。
検出装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、磁歪線に電流パ
ルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接
する磁歪線の部位で捩り歪を発生させ、!ff歪線の特
定部位までの捩り歪の伝播時間を計測することにより、
永久磁石に与えられる機械的変位を検出する変位検出装
置において、磁歪線の外周を非磁性でかつ導電性の筒体
で取り囲ろ、該筒体の内部に磁歪線を張力をもたせて保
持する一方、電流パルス供給用導線を磁歪線の一端部に
接続し、アース用導線を筒体の一端部に接続するととも
に、磁歪線の他端部を筒体の他端部に接続したことを特
徴とするものである。
ルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接
する磁歪線の部位で捩り歪を発生させ、!ff歪線の特
定部位までの捩り歪の伝播時間を計測することにより、
永久磁石に与えられる機械的変位を検出する変位検出装
置において、磁歪線の外周を非磁性でかつ導電性の筒体
で取り囲ろ、該筒体の内部に磁歪線を張力をもたせて保
持する一方、電流パルス供給用導線を磁歪線の一端部に
接続し、アース用導線を筒体の一端部に接続するととも
に、磁歪線の他端部を筒体の他端部に接続したことを特
徴とするものである。
(作用〕
磁歪線の外周を取り囲む磁歪線保護用の筒体を導電体で
構成すれば、電流パルスのもどり線を別に設けなくても
、筒体で兼用できる。また、もどり線はアースされるの
で、磁歪線を取り囲んでいる筒体がシールド8g能を持
ち、外部の電気的ノイズが6ft歪線に加わるのを防止
でき、精密な変位検出が可能となる。なお、筒体を非磁
性体で構成したのは、筒体の外部に配置される永久磁石
の磁歪線に対する磁束を阻害しないようにするためであ
る。
構成すれば、電流パルスのもどり線を別に設けなくても
、筒体で兼用できる。また、もどり線はアースされるの
で、磁歪線を取り囲んでいる筒体がシールド8g能を持
ち、外部の電気的ノイズが6ft歪線に加わるのを防止
でき、精密な変位検出が可能となる。なお、筒体を非磁
性体で構成したのは、筒体の外部に配置される永久磁石
の磁歪線に対する磁束を阻害しないようにするためであ
る。
第1図は本発明にかかる変位検出装置の具体例を示す。
図面において、磁歪綿lは非磁性で導電性の中筒7の中
に挿通され、この中筒7の両端部内部には中心を磁歪線
lが貫通するゴムなどの弾性体8が組み込まれている。
に挿通され、この中筒7の両端部内部には中心を磁歪線
lが貫通するゴムなどの弾性体8が組み込まれている。
そして、磁歪線lに張力を持たせた後、中筒7の両端部
を圧縮して絞り部9を形成することにより、磁歪線Iと
弾性体8とを同時に押圧し、磁歪線lは中筒7の中に装
備される。
を圧縮して絞り部9を形成することにより、磁歪線Iと
弾性体8とを同時に押圧し、磁歪線lは中筒7の中に装
備される。
上記絞り部9では弾性体8が磁歪線1の外周に密着する
ので、磁歪線lの両端まで伝播した超音波が弾性体8で
効果的に吸収される。したがって、永久磁石2で生した
1戻り歪による超音波のみを、中筒7に形成した開口部
25を経て歪検出装置4で検出することが可能となる。
ので、磁歪線lの両端まで伝播した超音波が弾性体8で
効果的に吸収される。したがって、永久磁石2で生した
1戻り歪による超音波のみを、中筒7に形成した開口部
25を経て歪検出装置4で検出することが可能となる。
磁歪線lの始端は電流パルス供給用導線12に接続され
、後端は導線lOによって中筒7の右端に電気的に接続
され、さらに中筒7の左端はアース用導線11に接続さ
れている。そのため、多心ケーブル+5により供給され
る電流パルスが磁歪線lに流れる。
、後端は導線lOによって中筒7の右端に電気的に接続
され、さらに中筒7の左端はアース用導線11に接続さ
れている。そのため、多心ケーブル+5により供給され
る電流パルスが磁歪線lに流れる。
磁歪線lを装備した中筒7は非磁性の外筒I7の中に挿
入され、この外筒17と中筒7との間に形成される環状
空間に、例えばスポンジなどからなる振動吸収材23が
配置されている。この振動吸収材23は、外筒17や、
外筒17に溶接あるいは他の機械的方法で接合固定され
たケース20などに作用する外部からの機械的な振動や
衝撃を吸収、減衰させ、不必要な外乱が歪検出装置4で
検出されないようにしている。
入され、この外筒17と中筒7との間に形成される環状
空間に、例えばスポンジなどからなる振動吸収材23が
配置されている。この振動吸収材23は、外筒17や、
外筒17に溶接あるいは他の機械的方法で接合固定され
たケース20などに作用する外部からの機械的な振動や
衝撃を吸収、減衰させ、不必要な外乱が歪検出装置4で
検出されないようにしている。
外筒17の右端にはエンドキャップ18が圧入もしくは
他の機械的方法で密封固定されており、例えば外筒17
が液中にあっても、液体が外筒17の内部に浸入するこ
となく、永久磁石2の位置を検出することが可能となる
。
他の機械的方法で密封固定されており、例えば外筒17
が液中にあっても、液体が外筒17の内部に浸入するこ
となく、永久磁石2の位置を検出することが可能となる
。
ケース20の左端にはケースカバーI9が挿入固定され
、このケースカバー19を貫通して多心ケーブル15が
ケース20内に導入されている。多心ケーブル15は磁
歪線lへの電流パルスの供給を行うとともに、歪検出装
置4の検出信号を導線13.14を介して取り出すこと
ができる。また、多心ケープル15としてシールド線を
使用すれば、シールド導線16をケース20の内面に電
気的に接続し、ケース20および外筒17を磁歪線lお
よび歪検出装置4の電気的シールドとして使用すること
もできる。
、このケースカバー19を貫通して多心ケーブル15が
ケース20内に導入されている。多心ケーブル15は磁
歪線lへの電流パルスの供給を行うとともに、歪検出装
置4の検出信号を導線13.14を介して取り出すこと
ができる。また、多心ケープル15としてシールド線を
使用すれば、シールド導線16をケース20の内面に電
気的に接続し、ケース20および外筒17を磁歪線lお
よび歪検出装置4の電気的シールドとして使用すること
もできる。
上記構成の変位検出装置は、変位を検出すべき機械など
の固定部24にケース20のネジ部21を挿入してナン
ド22で締め付は固定し、機械などの可動部(図示せず
)に永久磁石2を固定すれば容易に設置でき、機械など
の可動部の変位を検出することができる。
の固定部24にケース20のネジ部21を挿入してナン
ド22で締め付は固定し、機械などの可動部(図示せず
)に永久磁石2を固定すれば容易に設置でき、機械など
の可動部の変位を検出することができる。
なお、本発明において、外筒17を省略し、中筒7で外
筒17を兼用することも可能であるが、この場合には外
部の機械類等の漏れ電流等が中筒7に流れることがあり
、電流パルス以外の電流が磁歪線に流れることになる。
筒17を兼用することも可能であるが、この場合には外
部の機械類等の漏れ電流等が中筒7に流れることがあり
、電流パルス以外の電流が磁歪線に流れることになる。
この場合には、誤差信号が歪検出装置4で検出されるこ
とになり、望ましくない。これに対し、上記のように内
筒7の外側を電気絶縁性の振動吸収材23を介して外筒
17で覆えば、外部の電流は外筒17を流れるのみであ
り、内筒7は電気的に保護されるので、誤差信号が検出
されるおそれがない。
とになり、望ましくない。これに対し、上記のように内
筒7の外側を電気絶縁性の振動吸収材23を介して外筒
17で覆えば、外部の電流は外筒17を流れるのみであ
り、内筒7は電気的に保護されるので、誤差信号が検出
されるおそれがない。
第2図は歪検出装置4の一例を示す。
左端に受信器の一例である圧電素子27が接着されたプ
ローブ26は磁歪線lに対し角度をもって接触しており
、コ字形の押え金具29がゴム等の弾性体2日を介して
磁歪線lとプローブ26との接触を保持している。そし
て、押え金具29の左端部をネジ30で締め付けること
により、磁歪線lとプローブ26との接触をより確実な
ものとしている。
ローブ26は磁歪線lに対し角度をもって接触しており
、コ字形の押え金具29がゴム等の弾性体2日を介して
磁歪線lとプローブ26との接触を保持している。そし
て、押え金具29の左端部をネジ30で締め付けること
により、磁歪線lとプローブ26との接触をより確実な
ものとしている。
磁歪線1上の永久磁石2の近接する位1で生じた捩り歪
がプローブ26と接触しているζイl歪線lの部分に到
達すれば、この捩り歪31によってプローブ26の軸方
向に歪32が生じ、圧電素子27の両極板に接続された
導線13.14間に歪32の大きさに応じた電気信号が
得られる。このように、磁歪線lとプローブ26とが角
度をもって点接触しているので、プローブ2Gの接触に
よる捩り歪の反射の影響を最少限にとどめることができ
、高精度の検出が可能である。
がプローブ26と接触しているζイl歪線lの部分に到
達すれば、この捩り歪31によってプローブ26の軸方
向に歪32が生じ、圧電素子27の両極板に接続された
導線13.14間に歪32の大きさに応じた電気信号が
得られる。このように、磁歪線lとプローブ26とが角
度をもって点接触しているので、プローブ2Gの接触に
よる捩り歪の反射の影響を最少限にとどめることができ
、高精度の検出が可能である。
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、磁歪線
の外周を取り囲む磁歪線保護用の筒体が電流パルスのも
どり線を兼用したので、もどり用導線を別途設ける必要
がなくなり、構造を簡素化でき、製造が容易となる。ま
た、磁歪線を取り囲んでいる筒体はアースされるので、
この筒体がシールド機能を持ち、外部の電気的ノイズが
磁歪線に加わるのを防止でき、精密な変位検出が可能と
なる。
の外周を取り囲む磁歪線保護用の筒体が電流パルスのも
どり線を兼用したので、もどり用導線を別途設ける必要
がなくなり、構造を簡素化でき、製造が容易となる。ま
た、磁歪線を取り囲んでいる筒体はアースされるので、
この筒体がシールド機能を持ち、外部の電気的ノイズが
磁歪線に加わるのを防止でき、精密な変位検出が可能と
なる。
第1図は本発明にかかる変位検出装置の一実施例の断面
図、第2図はその歪検出装置の磁歪線の軸方向から見た
拡大断面図である。 l・・・磁歪線、2・・・永久磁石、4・・・歪検出装
置、7・・・中筒(筒体)、11・・・アース用導線、
12・・・電流パルス供給用導線。 出 別 人 三京貿易株式会社 代 理 人
図、第2図はその歪検出装置の磁歪線の軸方向から見た
拡大断面図である。 l・・・磁歪線、2・・・永久磁石、4・・・歪検出装
置、7・・・中筒(筒体)、11・・・アース用導線、
12・・・電流パルス供給用導線。 出 別 人 三京貿易株式会社 代 理 人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁歪線に電流パルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な
永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩り歪を発生させ、
磁歪線の特定部位までの捩り歪の伝播時間を計測するこ
とにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検出する
変位検出装置において、 磁歪線の外周を非磁性でかつ導電性の筒体で取り囲み、
該筒体の内部に磁歪線を張力をもたせて保持する一方、
電流パルス供給用導線を磁歪線の一端部に接続し、アー
ス用導線を筒体の一端部に接続するとともに、磁歪線の
他端部を筒体の他端部に接続したことを特徴とする変位
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467789A JPH02124424A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467789A JPH02124424A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 変位検出装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59234735A Division JPH0690053B2 (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | 変位検出器の歪検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124424A true JPH02124424A (ja) | 1990-05-11 |
| JPH0346763B2 JPH0346763B2 (ja) | 1991-07-17 |
Family
ID=17122307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24467789A Granted JPH02124424A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02124424A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5257845A (en) * | 1975-11-03 | 1977-05-12 | Combustion Eng | Apparatus for indicating and method of detecting position of moving body |
| JPS5486366A (en) * | 1977-12-22 | 1979-07-09 | Mitsubishi Precision Co Ltd | Nonncontact type displacement measuring instrument |
| JPS5885104A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-21 | マーク―ツアーンレーダー・ウント―マシーネン・アクチェンゲゼルシャフト | 超音波測距装置からの信号の評価処理方法および装置 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24467789A patent/JPH02124424A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5257845A (en) * | 1975-11-03 | 1977-05-12 | Combustion Eng | Apparatus for indicating and method of detecting position of moving body |
| JPS5486366A (en) * | 1977-12-22 | 1979-07-09 | Mitsubishi Precision Co Ltd | Nonncontact type displacement measuring instrument |
| JPS5885104A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-21 | マーク―ツアーンレーダー・ウント―マシーネン・アクチェンゲゼルシャフト | 超音波測距装置からの信号の評価処理方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0346763B2 (ja) | 1991-07-17 |
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