JPH10294587A - 電磁波ノイズ対策装置 - Google Patents
電磁波ノイズ対策装置Info
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- JPH10294587A JPH10294587A JP9101671A JP10167197A JPH10294587A JP H10294587 A JPH10294587 A JP H10294587A JP 9101671 A JP9101671 A JP 9101671A JP 10167197 A JP10167197 A JP 10167197A JP H10294587 A JPH10294587 A JP H10294587A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/648—Protective earth or shield arrangements on coupling devices, e.g. anti-static shielding
- H01R13/655—Protective earth or shield arrangements on coupling devices, e.g. anti-static shielding with earth brace
Landscapes
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Insulated Conductors (AREA)
- Removal Of Insulation Or Armoring From Wires Or Cables (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、簡単な構成で、しかも可動自在と
なる構造で、ケーブル束のシールドが確実にでき、外来
ノイズの影響を受けにくい電磁波ノイズ対策装置を提供
する。 【解決手段】 電子機器の本体と周辺装置間を接続して
いるケーブル束の電磁波ノイズ対策装置において、前記
電子機器の本体のグランドに接続されて、前記電子機器
の本体の周辺に配置されたグランドプレートと、前記ケ
ーブル束を被覆してシールドする導電性布と、該導電性
布を前記グランドプレートに接地し、前記ケーブル束と
ともに前記グランドプレートに固定するクランプ手段と
を具備した解決手段。
なる構造で、ケーブル束のシールドが確実にでき、外来
ノイズの影響を受けにくい電磁波ノイズ対策装置を提供
する。 【解決手段】 電子機器の本体と周辺装置間を接続して
いるケーブル束の電磁波ノイズ対策装置において、前記
電子機器の本体のグランドに接続されて、前記電子機器
の本体の周辺に配置されたグランドプレートと、前記ケ
ーブル束を被覆してシールドする導電性布と、該導電性
布を前記グランドプレートに接地し、前記ケーブル束と
ともに前記グランドプレートに固定するクランプ手段と
を具備した解決手段。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子装置、とくに
半導体試験装置と周辺装置とを接続するケーブル束に対
する電磁波ノイズ対策装置に関する。
半導体試験装置と周辺装置とを接続するケーブル束に対
する電磁波ノイズ対策装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例について、図６〜図９を参
照して説明する。最初に、電子機器、特に半導体試験装
置において電磁波ノイズに対する対策装置の必要となる
環境について説明する。図７と図８とに示すように、半
導体試験装置の１例は、オペレーションのインタフェー
スとなるワークステーション１０と、試験信号の発生と
試験をおこなう各ユニットおよび装置の電源部とを内蔵
する半導体試験装置本体１１と、被試験デバイス１４、
１５とのインタフェースとなる電子回路を内蔵するテス
トヘッド１２、１３とで構成される。
照して説明する。最初に、電子機器、特に半導体試験装
置において電磁波ノイズに対する対策装置の必要となる
環境について説明する。図７と図８とに示すように、半
導体試験装置の１例は、オペレーションのインタフェー
スとなるワークステーション１０と、試験信号の発生と
試験をおこなう各ユニットおよび装置の電源部とを内蔵
する半導体試験装置本体１１と、被試験デバイス１４、
１５とのインタフェースとなる電子回路を内蔵するテス
トヘッド１２、１３とで構成される。
【０００３】半導体試験装置本体１１とワークステーシ
ョン１０との間、また半導体試験装置本体１１とテスト
ヘッド１２、１３との間は、それぞれ多種類の電圧電源
と信号との授受に必要なケーブルを束ねた複数のケーブ
ル束４０で接続され、また設置位置がケーブル束４０の
長さの範囲で可動自在となるようになっている。
ョン１０との間、また半導体試験装置本体１１とテスト
ヘッド１２、１３との間は、それぞれ多種類の電圧電源
と信号との授受に必要なケーブルを束ねた複数のケーブ
ル束４０で接続され、また設置位置がケーブル束４０の
長さの範囲で可動自在となるようになっている。
【０００４】例えば、半導体試験装置本体１１とテスト
ヘッド１２、１３との間は、それぞれ４束〜１０束のケ
ーブル束が約３ｍの長さで接続されている。そして、各
ケーブル束は、例えば図６に示すように信号用の同軸ケ
ーブル４３の束や、電源のケーブルの束で、ジッパチュ
ーブ４１で外側を被覆して保護している。また、ジッパ
チューブ４１は、ジッパにより簡単に筒状に被覆できる
ビニール製の保護用チューブである。
ヘッド１２、１３との間は、それぞれ４束〜１０束のケ
ーブル束が約３ｍの長さで接続されている。そして、各
ケーブル束は、例えば図６に示すように信号用の同軸ケ
ーブル４３の束や、電源のケーブルの束で、ジッパチュ
ーブ４１で外側を被覆して保護している。また、ジッパ
チューブ４１は、ジッパにより簡単に筒状に被覆できる
ビニール製の保護用チューブである。
【０００５】また、各ケーブルで伝送される信号は、テ
ストパターンや、信号の基準となるクロック信号があ
る。これらの信号は、高速化に伴い、また信号レベルの
振幅も小さくなってきているので、外部環境からの電磁
波ノイズの影響をケーブル束で受けやすい。
ストパターンや、信号の基準となるクロック信号があ
る。これらの信号は、高速化に伴い、また信号レベルの
振幅も小さくなってきているので、外部環境からの電磁
波ノイズの影響をケーブル束で受けやすい。
【０００６】さらに、半導体試験装置の設置される使用
環境が工業環境であるため、電磁波ノイズを受けやすい
として、半導体試験装置に対する試験規格も一般の軽工
業機器に比較して厳しくなっている。
環境が工業環境であるため、電磁波ノイズを受けやすい
として、半導体試験装置に対する試験規格も一般の軽工
業機器に比較して厳しくなっている。
【０００７】例えば、試験パルスとして、立ち上がりが
２ｎｓで１ｋＶ以上の電圧が印加された線を、ケーブル
束４０と平行に容量結合させて、誤動作しないかどうか
試験している。その為、電磁波ノイズの影響を受けない
ようにする必要があり、その対策について以下説明す
る。
２ｎｓで１ｋＶ以上の電圧が印加された線を、ケーブル
束４０と平行に容量結合させて、誤動作しないかどうか
試験している。その為、電磁波ノイズの影響を受けない
ようにする必要があり、その対策について以下説明す
る。
【０００８】図９に示すように、従来はケーブル束４０
を構成している各同軸ケーブル４３端末毎にフェライト
コア６０により、また電源ケーブル４４の端末毎にフェ
ライトコア６１により電磁波ノイズの対策をしていた。
しかし、上記試験方法によるノイズに対しては充分な防
止効果が得られなかった。
を構成している各同軸ケーブル４３端末毎にフェライト
コア６０により、また電源ケーブル４４の端末毎にフェ
ライトコア６１により電磁波ノイズの対策をしていた。
しかし、上記試験方法によるノイズに対しては充分な防
止効果が得られなかった。
【０００９】尚、周辺機器のワークステーション１０
や、テストヘッドは、設置位置が任意にできる必要があ
るため、ケーブル束４０の全長すべてをシールド板で固
定して遮蔽する構造の装置や方法は実施できない。
や、テストヘッドは、設置位置が任意にできる必要があ
るため、ケーブル束４０の全長すべてをシールド板で固
定して遮蔽する構造の装置や方法は実施できない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、半
導体試験装置本体とワークステーション間、また半導体
試験装置本体とテストヘッド間は、多種類の電源と信号
の授受に必要な複数のケーブル束で接続され、電磁波ノ
イズの影響を受けやすいが、フェライトコアによる対策
は、その電磁波ノイズ防止効果は充分でなく実用上の難
点があった。そこで、本発明は、こうした問題に鑑みな
されたもので、その目的は、簡単な構成で、しかも可動
自在となる構造で、ケーブル束のシールドが容易にで
き、外来ノイズの影響を受けにくい電磁波ノイズ対策装
置を提供することにある。
導体試験装置本体とワークステーション間、また半導体
試験装置本体とテストヘッド間は、多種類の電源と信号
の授受に必要な複数のケーブル束で接続され、電磁波ノ
イズの影響を受けやすいが、フェライトコアによる対策
は、その電磁波ノイズ防止効果は充分でなく実用上の難
点があった。そこで、本発明は、こうした問題に鑑みな
されたもので、その目的は、簡単な構成で、しかも可動
自在となる構造で、ケーブル束のシールドが容易にで
き、外来ノイズの影響を受けにくい電磁波ノイズ対策装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決する為の手段】即ち、上記目的を達成する
ためになされた本発明の第１は、電子機器の本体と周辺
装置間を接続しているケーブル束の電磁波ノイズ対策装
置において、前記電子機器の本体のグランドに接続され
て、前記電子機器の本体の周辺に配置されたグランドプ
レートと、前記ケーブル束を被覆してシールドする導電
性布と、該導電性布を前記グランドプレートに接地し、
前記ケーブル束とともに前記グランドプレートに固定す
るクランプ手段と、を具備して電磁波ノイズの影響を防
止していることを特徴とした電磁波ノイズ対策装置を要
旨としている。
ためになされた本発明の第１は、電子機器の本体と周辺
装置間を接続しているケーブル束の電磁波ノイズ対策装
置において、前記電子機器の本体のグランドに接続され
て、前記電子機器の本体の周辺に配置されたグランドプ
レートと、前記ケーブル束を被覆してシールドする導電
性布と、該導電性布を前記グランドプレートに接地し、
前記ケーブル束とともに前記グランドプレートに固定す
るクランプ手段と、を具備して電磁波ノイズの影響を防
止していることを特徴とした電磁波ノイズ対策装置を要
旨としている。
【００１２】また、上記目的を達成するためになされた
本発明の第２は、電子機器は半導体試験装置である本発
明の第１に記載の電磁波ノイズ対策装置を要旨としてい
る。
本発明の第２は、電子機器は半導体試験装置である本発
明の第１に記載の電磁波ノイズ対策装置を要旨としてい
る。
【００１３】さらに、上記目的を達成するためになされ
た本発明の第３は、シールド手段は導電性布である本発
明の第１または２に記載の電磁波ノイズ対策装置。
た本発明の第３は、シールド手段は導電性布である本発
明の第１または２に記載の電磁波ノイズ対策装置。
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
施例において説明する。
【００１４】
【実施例】本発明の半導体試験装置における実施例につ
いて、図１〜図５を参照して説明する。図２に示すよう
に、電磁波ノイズ対策装置の要部構成は、半導体試験装
置本体１１とグランド接地ケーブル５０で接続されたグ
ランドプレート２０と、図１に示すように、ケーブルの
束を被覆してシールドする導電性布４２と、ケーブル束
４０を固定するクランプ本体３１と、導電性布４２をグ
ランドプレート２０に接地させるクランプ金具３３とで
構成される。以下、各構成要素と構造について説明す
る。
いて、図１〜図５を参照して説明する。図２に示すよう
に、電磁波ノイズ対策装置の要部構成は、半導体試験装
置本体１１とグランド接地ケーブル５０で接続されたグ
ランドプレート２０と、図１に示すように、ケーブルの
束を被覆してシールドする導電性布４２と、ケーブル束
４０を固定するクランプ本体３１と、導電性布４２をグ
ランドプレート２０に接地させるクランプ金具３３とで
構成される。以下、各構成要素と構造について説明す
る。
【００１５】グランドプレート２０は、例えば３００×
９００ｍｍの単位長さの厚さ３ｍｍのアルミ板で、図３
に示すようにアルミ板の連結バー２２で連結して、長さ
と直角方向に自在に延長できるよう周辺にネジ孔を設け
てある。
９００ｍｍの単位長さの厚さ３ｍｍのアルミ板で、図３
に示すようにアルミ板の連結バー２２で連結して、長さ
と直角方向に自在に延長できるよう周辺にネジ孔を設け
てある。
【００１６】このグランドプレート２０と、半導体試験
装置本体１１のグランドとは、グランド接地ケーブル５
０により接続され、また板状の平面であるために、全体
はインピーダンスの低いグランド電位に保たれている。
装置本体１１のグランドとは、グランド接地ケーブル５
０により接続され、また板状の平面であるために、全体
はインピーダンスの低いグランド電位に保たれている。
【００１７】また、図１に示すように、クランプ本体３
１をネジ３５で固定しやすいようにアルミ板の補助バー
２１をグランドプレート２０にネジ止めしている。
１をネジ３５で固定しやすいようにアルミ板の補助バー
２１をグランドプレート２０にネジ止めしている。
【００１８】ケーブルの束を被覆してシールドするシー
ルド手段の導電性布４２は、アクリル繊維の基布にニッ
ケルのメッキを施して導電性をもたせた厚さ０．２ｍｍ
程度の布である。 また、導電性布４２は、ケーブルの
束の外周を被覆して、表面積が大きくなるので導電性布
自体の持つ単位長さあたりのインピーダンスが低くなっ
てシールド効果が大きくなっている。図５に示すよう
に、この導電性布４２により、例えば同軸ケーブル４３
の束を被覆してシールドし、さらにジッパチューブ４１
を被せて保護している。
ルド手段の導電性布４２は、アクリル繊維の基布にニッ
ケルのメッキを施して導電性をもたせた厚さ０．２ｍｍ
程度の布である。 また、導電性布４２は、ケーブルの
束の外周を被覆して、表面積が大きくなるので導電性布
自体の持つ単位長さあたりのインピーダンスが低くなっ
てシールド効果が大きくなっている。図５に示すよう
に、この導電性布４２により、例えば同軸ケーブル４３
の束を被覆してシールドし、さらにジッパチューブ４１
を被せて保護している。
【００１９】クランプ手段は、図４に示すように、例え
ばクランプ本体３１と、クランプ金具３３で構成され、
クランプツメ３２とクランプ溝３４とで係止できる構造
としている。このクランプ手段の材質は、導電性布４２
をグランドプレートへ接地する必要があるので導電性と
強度のある金属、たとえば板圧１．５ｍｍのステンレス
板を使用する。また、クランプ手段の構造は、係止がワ
ンタッチで簡単におこなえる構造で示したが、半円形の
板状の金具を２個使用してネジ止め固定する簡易な構造
としてもよい。そして、図１に示すように、ケーブル束
をクランプ本体３１で固定して、導電性布４２をクラン
プ金具３３とで挟み込んで係止し、補助バー２１を介し
てグランドプレート２０に接地されるようにしている。
ばクランプ本体３１と、クランプ金具３３で構成され、
クランプツメ３２とクランプ溝３４とで係止できる構造
としている。このクランプ手段の材質は、導電性布４２
をグランドプレートへ接地する必要があるので導電性と
強度のある金属、たとえば板圧１．５ｍｍのステンレス
板を使用する。また、クランプ手段の構造は、係止がワ
ンタッチで簡単におこなえる構造で示したが、半円形の
板状の金具を２個使用してネジ止め固定する簡易な構造
としてもよい。そして、図１に示すように、ケーブル束
をクランプ本体３１で固定して、導電性布４２をクラン
プ金具３３とで挟み込んで係止し、補助バー２１を介し
てグランドプレート２０に接地されるようにしている。
【００２０】次に、本実施例の電磁波ノイズ対策装置の
動作について説明する。外部からの電磁波ノイズは、導
電性布４２に誘導され、クランプ手段から補助バー２１
を介して、グランドプレート２０にバイパスして逃がし
ている。バイパスされた電磁波ノイズのエネルギーは、
グランドプレート２０が大きな板であり半導体試験装置
本体１１のグランドと同電位になっているので吸収され
て他に影響を与えにくくなっている。
動作について説明する。外部からの電磁波ノイズは、導
電性布４２に誘導され、クランプ手段から補助バー２１
を介して、グランドプレート２０にバイパスして逃がし
ている。バイパスされた電磁波ノイズのエネルギーは、
グランドプレート２０が大きな板であり半導体試験装置
本体１１のグランドと同電位になっているので吸収され
て他に影響を与えにくくなっている。
【００２１】この結果、従来技術で説明した試験方法に
より、試験パルスの試験電圧を印加してノイズの相対的
防止効果を測定すると、フェライトコアによる電磁波ノ
イズ対策した場合は１．３ｋＶで、本発明の電磁波ノイ
ズ対策装置の有る場合は２ｋＶ以上となって、電磁波ノ
イズの防止効果が大幅に増大した。
より、試験パルスの試験電圧を印加してノイズの相対的
防止効果を測定すると、フェライトコアによる電磁波ノ
イズ対策した場合は１．３ｋＶで、本発明の電磁波ノイ
ズ対策装置の有る場合は２ｋＶ以上となって、電磁波ノ
イズの防止効果が大幅に増大した。
【００２２】ところで、本実施例のケーブルの束として
は、同軸ケーブルの場合を図示したが、電源ケーブル
や、フラットケーブル、ツイスト線、編線等のケーブル
自体にシールドがない場合でも同様に実施できる。ま
た、ケーブル束を固定するクランプ本体は補助バーにネ
ジ止めしているが、直接グランドプレートにネジ止めす
る構造としても同様に実施できる。そして、導電性布は
クランプ本体と、クランプ金具とで挟み込んで係止する
方法で説明したが、クランプ手段で導電性布をグランド
プレートに直接接地する方法でも同様に実施できる。さ
らに、シールド手段として導電性布を使用した例で説明
したが、可撓性のあるメッシュ状の金属としても同様に
実施できる。
は、同軸ケーブルの場合を図示したが、電源ケーブル
や、フラットケーブル、ツイスト線、編線等のケーブル
自体にシールドがない場合でも同様に実施できる。ま
た、ケーブル束を固定するクランプ本体は補助バーにネ
ジ止めしているが、直接グランドプレートにネジ止めす
る構造としても同様に実施できる。そして、導電性布は
クランプ本体と、クランプ金具とで挟み込んで係止する
方法で説明したが、クランプ手段で導電性布をグランド
プレートに直接接地する方法でも同様に実施できる。さ
らに、シールド手段として導電性布を使用した例で説明
したが、可撓性のあるメッシュ状の金属としても同様に
実施できる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
導電性のある導電性布でケーブル束を被覆して、クラン
プでグランドプレートに電線を用いないで直接接地する
ようにしたので、低インピーダンスで接地されたことと
なり、電磁波ノイズをグランドプレートへ逃がしやす
く、シールドの効果が大きくなる。従って、簡単な構成
で、しかも周辺装置の設置が可動自在となる構造で、ケ
ーブル束のシールドが確実にでき、外来ノイズの影響を
受けにくい効果がある。また、本実施例の電磁波ノイズ
対策装置は外部からの電磁波ノイズに対して影響を受け
ないので、反対にケーブル束から放射する電磁波ノイズ
が減少する効果もある。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
導電性のある導電性布でケーブル束を被覆して、クラン
プでグランドプレートに電線を用いないで直接接地する
ようにしたので、低インピーダンスで接地されたことと
なり、電磁波ノイズをグランドプレートへ逃がしやす
く、シールドの効果が大きくなる。従って、簡単な構成
で、しかも周辺装置の設置が可動自在となる構造で、ケ
ーブル束のシールドが確実にでき、外来ノイズの影響を
受けにくい効果がある。また、本実施例の電磁波ノイズ
対策装置は外部からの電磁波ノイズに対して影響を受け
ないので、反対にケーブル束から放射する電磁波ノイズ
が減少する効果もある。
【図１】本発明の電磁波対策装置の要部斜視図である。
【図２】本発明の電磁波対策装置を半導体試験装置に用
いた平面図である。
いた平面図である。
【図３】クランプ本体をグランドプレートに取り付けた
図である。
図である。
【図４】クランプの一例を示す図である。
【図５】ケーブル束にシールド布でシールドした一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図６】ケーブル束の一例を示す斜視図である。
【図７】半導体試験装置の一例を示す斜視図である。
【図８】半導体試験装置の一例を示す平面図である。
【図９】従来の電磁波対策した要部斜視図である。
１０ ワークステーション １１ 半導体試験装置本体 １２、１３ テストヘッド １４、１５ 被試験デバイス ２０ グランドプレート ２１ 補助バー ２２ 連結バー ３１ クランプ本体 ３２ クランプツメ ３３ クランプ金具 ３４ クランプ溝 ３５ ネジ ４０ ケーブル束 ４１ ジッパチューブ ４２ 導電性布 ４３ 同軸ケーブル ４４ 電源ケーブル ５０ グランド接地ケーブル
Claims (3)
- 【請求項１】 電子機器の本体と周辺装置間を接続して
いるケーブル束の電磁波ノイズ対策装置において、 前記電子機器の本体のグランドと接続されて、前記電子
機器の本体の周辺に配置されたグランドプレートと、 前記ケーブル束を被覆してシールドするシールド手段
と、 該シールド手段を前記グランドプレートに接地し、前記
ケーブル束とともに前記グランドプレートに固定するク
ランプ手段と、 を具備していることを特徴とした電磁波ノイズ対策装
置。 - 【請求項２】 電子機器は半導体試験装置である請求項
１記載の電磁波ノイズ対策装置。 - 【請求項３】 シールド手段は導電性布である請求項１
または２記載の電磁波ノイズ対策装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9101671A JPH10294587A (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 電磁波ノイズ対策装置 |
| GB9807314A GB2326773B (en) | 1997-04-18 | 1998-04-07 | Electromagnetic shielding apparatus for cables |
| DE1998117152 DE19817152C2 (de) | 1997-04-18 | 1998-04-17 | Elektromagnetische Abschirmvorrichtung und Verfahren zum Abschirmen eines Kabelbündels |
| IT98TO000330A ITTO980330A1 (it) | 1997-04-18 | 1998-04-17 | Apparecchio per la schermatura elettromagnetica di cavi e relativo pro cedimento. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9101671A JPH10294587A (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 電磁波ノイズ対策装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10294587A true JPH10294587A (ja) | 1998-11-04 |
Family
ID=14306841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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